CN115398126A - 密封部件 - Google Patents

Abstract

垫片(4)具有：圆筒状的主体部(10)，其具有将在2个流体设备(2、2)分别形成的流路孔(2c、2c)彼此连通的连通孔(10a)；以及环状的一次密封部(11)，其从主体部(10)的轴向外端部的径向内侧朝轴向外侧凸出，压入于在各流体设备(2)形成的环状的一次密封槽(2d)。在一次密封部(11)压入于一次密封槽(2d)之前的状态下，主体部(10)的整个内周面(10b)形成为从轴向两个外端趋向轴向内侧而逐渐缩径。

Description

密封部件

技术领域

本发明涉及一种密封部件。

背景技术

在半导体制造、医疗/医药品制造以及食品加工/化学工业等各种技术领域的制造工序中，在供药液、高纯度液体、超纯水或者清洗液等流体流动的配管路径中，作为将在2个流体设备形成的流路孔彼此连接的连接构造，例如采用防止流体泄漏的垫片(例如，参照专利文献1)。

图7是当前的垫片的轴向剖面图。当前的垫片100具有：圆筒状的主体部110；环状的一次密封部111，其在主体部110的轴向外端部的径向内侧形成为朝轴向外侧凸出；以及环状的二次密封部112，其在主体部110的轴向外端部的径向外侧形成为朝轴向外侧凸出。

图8是表示利用当前的垫片100将在2个流体设备150、150形成的流路孔153、153彼此连接的状态的轴向剖面图。主体部110的内部空间设为将两个流体设备150、150的流路孔153、153彼此连通的连通孔113。一次密封部111及二次密封部112压入于在各流体设备150形成的环状的一次密封槽151及二次密封槽152。由此，能够确保各流体设备150与垫片100之间的密封性能，防止流体向外部泄漏。

专利文献1：日本特开2019-173844号公报

发明内容

如图8所示，一次密封部111的剖面形状形成为从轴向内端趋向轴向外端而逐渐缩细。另外，一次密封槽151的剖面形状沿着一次密封部111的缩细形状倾斜。因此，在一次密封部111压入于一次密封槽151时，有时一次密封部111的轴向外端沿着一次密封槽151的斜度朝轴向外侧滑动。如果发生这种滑动，则产生主体部110的内周面110a朝径向外侧凹陷的挠曲变形而使得主体部110的内周侧屈曲。于是，一次密封部111的轴向外端与一次密封槽151的接触面压力降低，流体有可能浸入一次密封部111与一次密封槽151之间并滞留或向外部泄漏。

本发明就是鉴于这种情形而提出的，其目的在于提供能够抑制流体的泄漏的密封部件。

(1)本发明的密封部件将在2个流体设备分别形成的流路孔彼此密封连接，具有：圆筒状的主体部，其具有将所述流路孔彼此连通的连通孔；以及环状的密封部，其从所述主体部的轴向外端部的径向内侧朝轴向外侧凸出，压入于在一个所述流体设备的流路孔的连接端部形成的环状的密封槽，在所述密封部压入于所述密封槽之前的状态即压入前状态下，所述主体部的内周面以及所述密封部的内周面的除了轴向外端部以外的其他部分中的至少一部分形成为从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径。

根据本发明，在压入前状态下，主体部的内周面以及密封部的内周面的其他部分中的至少一部分形成为朝径向内侧凸出。由此，在密封部压入于密封槽时，即使密封部的轴向外端相对于密封槽滑动，也能够抑制主体部的内周面以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。其结果，能够抑制密封部的轴向外端与密封槽的接触面压力降低，因此能够抑制流体浸入密封部与密封槽之间而向外部泄漏。

(2)优选地，在所述压入前状态下，所述主体部的内周面的至少一部分形成为从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径。

在该情况下，在压入前状态下，主体部的内周面的至少一部分形成为朝径向内侧凸出。由此，在密封部压入于密封槽时，能够进一步抑制主体部的内周面以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。

(3)优选地，在所述压入前状态下，所述主体部的整个内周面形成为从轴向两个外端分别趋向轴向内侧而逐渐缩径。

在该情况下，在压入前状态下，主体部的整个内周面形成为朝径向内侧凸出。由此，在密封部压入于密封槽时，能够进一步抑制主体部的内周面以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。

(4)优选地，在所述压入前状态下，所述密封部的内周面的轴向外端部形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。

在该情况下，在压入前状态下，密封部的内周面的轴向外端部配置为比该内周面的其他部分更靠径向外侧。由此，在密封部压入于密封槽时，即使密封部的轴向外端相对于密封槽滑动，也能够抑制密封部的内周面的轴向外端部朝径向内侧过度凸出。由此，能够抑制主体部的连通孔的流体的流动由密封部的内周面阻碍。

(5)优选地，在所述压入前状态下，所述主体部的内周面的至少一部分形成为从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径，所述密封部的内周面的轴向外端部的缩径程度大于所述主体部的内周面的缩径程度。

在该情况下，密封部的内周面的轴向外端部的缩径程度大于主体部的内周面的缩径程度，因此与使得密封部的所述缩径程度与主体部的所述缩径程度相同的情况相比，能够加厚密封部的轴向外侧的径向厚度。由此，能够进一步抑制密封部的轴向外端与密封槽的接触面压力降低。

(6)优选地，在所述压入前状态下，所述密封部的整个内周面形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。

在该情况下，在压入前状态下，密封部的整个内周面形成为朝径向内侧凸出。由此，在密封部压入于密封槽时，能够进一步抑制密封部的内周面与主体部一起以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形，因此能够进一步抑制密封部的轴向外端与密封槽的接触面压力降低。

(7)优选地，在所述压入前状态下，所述主体部的整个内周面形成为在轴向的剖面观察时朝径向内侧凸出的曲线。

在该情况下，在压入前状态下，主体部的整个内周面形成为在轴向的剖面观察时朝径向内侧凸出的曲线。由此，在密封部压入于密封槽时，能够进一步抑制主体部的内周面以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。

(8)优选地，在所述密封部压入于所述密封槽的状态下，所述主体部的整个内周面形成为在轴向的剖面观察时不比沿轴向延伸的直线更朝径向外侧挠曲变形。

在该情况下，在密封部压入于密封槽的状态下，能够抑制主体部的内周面比沿轴向延伸的直线更朝径向外侧挠曲变形，因此能够进一步抑制密封部的轴向外端与密封槽的接触面压力降低。

发明的效果

根据本发明，能够抑制流体的泄漏。

附图说明

图1是使用本发明的第1实施方式所涉及的密封部件的流路连接构造的轴向剖面图。

图2是垫片的轴向剖面图。

图3是图2的要部放大剖面图。

图4是使用本发明的第2实施方式所涉及的密封部件的流路连接构造的轴向剖面图。

图5是内圈(inner ring)的轴向剖面图。

图6是图5的要部放大剖面图。

图7是当前的垫片的轴向剖面图。

图8是表示利用当前的垫片将2个流体设备的流路孔彼此连接的状态的轴向剖面图。

具体实施方式

[第1实施方式]

<流路连接构造的整体结构>

图1是使用本发明的第1实施方式所涉及的密封部件的流路连接构造的轴向剖面图。图1所示的流路连接构造1例如用作在半导体制造装置中使用的供药液流动的配管路径中，将在相邻的2个流体设备2、2分别形成的流路孔2c、2c彼此连接的连接构造。作为本实施方式的流体设备2，能举出泵、阀、积蓄器、过滤器、流量计、压力传感器、配管块以及使得这些器件实现单元化的集成组件、集成面板等。

流路连接构造1具有：在各流体设备2的端部分别形成的环状的一次密封槽(密封槽)2d及环状的二次密封槽2e；垫片4；以及夹持件5。垫片4是将2个流体设备2、2的流路孔2c、2c彼此密封连接的密封部件。下面，在本实施方式中，从垫片4的轴向中央朝向轴向两侧的方向称为轴向外侧，从垫片4的轴向两侧朝向轴向中央的方向称为轴向内侧。

各流体设备2的一次密封槽2d在流路孔2c的连接端部的周面处形成为以从轴向外端趋向轴向内端逐渐扩径的方式切割出的锥状。各流体设备2的二次密封槽2e在各流体设备2处位于比一次密封槽2d更靠径向外侧的位置，形成为圆筒环状。

垫片4由聚氯乙烯(PVC)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)或氟树脂(全氟烷氧基烷烃(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)或聚偏氟乙烯(PVDF)等)的合成树脂材料形成。垫片4具有：形成为圆筒状的主体部10；一对环状的一次密封部(密封部)11；以及一对环状的二次密封部12。在主体部10的内部形成有将2个流体设备2、2的流路孔2c、2c彼此连通的连通孔10a。

一对一次密封部11形成为从主体部10的轴向两侧的外端部的径向内侧分别朝轴向外侧凸出。各一次密封部11形成为在轴向的剖面观察时从轴向内端趋向轴向外端而缩细。各一次密封部11的外周面11a设为与一次密封槽2d的形状相应地以从轴向外端趋向轴向内端逐渐扩径的方式形成的锥面。由此，各一次密封部11压入于对应的流体设备2的一次密封槽2d。

一对二次密封部12形成为从主体部10的轴向两侧的外端部的径向外侧分别朝轴向外侧凸出。各二次密封部12形成为圆筒环状，压入于对应的流体设备2的二次密封槽2e。

根据以上结构，垫片4的一对一次密封部11及一对二次密封部12压入于各流体设备2的一次密封槽2d及二次密封槽2e，因此能够确保2个流体设备2、2的流路孔2c、2c彼此的连接部分的密封性能。

夹持件5例如形成为剖面大致呈C字状，在利用垫片4将两个流体设备2、2的流路孔2c、2c彼此连接的状态下，将两个流体设备2、2彼此连结。具体而言，夹持件5从轴向将在各流体设备2、2的端部形成的凸缘部2f、2f彼此夹入而进行紧固。由此，能够维持垫片4压入于各流体设备2的一次密封槽2d及二次密封槽2e的密封状态。此外，除了夹持件5以外，流路连接构造1可以具有螺栓与螺母等其他连结单元。

但是，在垫片4的一次密封部11及二次密封部12压入于各流体设备2的一次密封槽2d及二次密封槽2e时，有时一次密封部11的轴向外端沿着一次密封槽2d的斜度朝轴向外侧滑动。如果发生这种滑动，则主体部10的内周面10b朝径向外侧挠曲变形而使得主体部10的内周侧屈曲。在本实施方式中，在一次密封部11及二次密封部12压入于一次密封槽2d及二次密封槽2e的状态即压入状态下，主体部10的内周面10b形成为抑制以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形的形状。下面，对其详细的形状进行说明。

<垫片的内周侧的形状>

图2是垫片4的轴向剖面图，示出了一次密封部11及二次密封部12压入于一次密封槽2d及二次密封槽2e(参照图1)之前的状态即压入前状态。在图2中，垫片4的主体部10的整个内周面10b形成为从轴向两个外端分别趋向轴向内侧而逐渐缩径。

在本实施方式中，主体部10的整个内周面10b形成为在轴向上的剖面观察时在轴向中央处最朝径向内侧凸出的曲线10b1。内周面10b的曲线10b1在图1所示的压入状态下，朝径向外侧挠曲变形而成为沿轴向延伸的直线10b2。即，曲线10b1的曲率半径r1设定为使得朝所述径向外侧的挠曲变形之后的形状成为直线10b2。

图3是图2的要部放大剖面图。在图3中，垫片4的一次密封部11的整个内周面11b形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。在本实施方式中，一次密封部11的整个内周面11b形成为在轴向上的剖面观察时在轴向内端处最朝径向内侧凸出的曲线。

一次密封部11的内周面11b的轴向外端部11c的缩径程度大于主体部10的内周面10b的缩径程度。即，一次密封部11的内周面11b的轴向外端部11c的曲率半径r2小于主体部10的内周面10b的曲率半径r1。

一次密封部11的内周面11b的除了轴向外端部11c以外的其他部分11d整体形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。在本实施方式中，所述其他部分11d整体形成为在轴向上的剖面观察时在轴向内端处最朝径向内侧凸出的曲线11d1。曲线11d1的曲率半径r3与主体部10的内周面10b的曲率半径r1相同。因此，曲线11d1在图1所示的压入状态下朝径向外侧挠曲变形而成为沿轴向延伸的直线11d2。即，曲线11d1的曲率半径r3设定为使得朝所述径向外侧的挠曲变形之后的形状成为直线11d2。

<第1实施方式的作用效果>

根据本实施方式的垫片4，在压入前状态下，主体部10的整个内周面10b形成为从轴向两个外端分别趋向轴向内侧而逐渐缩径。即，在压入前状态下，主体部10的整个内周面10b形成为朝径向内侧凸出。由此，在一次密封部11压入于一次密封槽2d时，即使一次密封部11的轴向外端沿着一次密封槽2d的斜度而朝轴向外侧滑动，也能够抑制主体部10的内周面10b以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。其结果，能够抑制一次密封部11的轴向外端与一次密封槽2d的接触面压力降低，因此能够抑制流体浸入一次密封部11与一次密封槽2d之间而向外部泄漏。

另外，在压入前状态下，一次密封部11的整个内周面11b形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。即，在压入前状态下，一次密封部11的整个内周面11b形成为朝径向内侧凸出。由此，在一次密封部11压入于一次密封槽2d时，能够抑制一次密封部11的内周面11b与主体部10一起以朝径向外侧凹陷的方式进一步挠曲变形。其结果，能够进一步抑制一次密封部11的轴向外端与一次密封槽2d的接触面压力降低。

另外，在压入前状态下，一次密封部11的内周面11b的轴向外端部11c形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。即，在压入前状态下，一次密封部11的内周面11b的轴向外端部11c配置为比该内周面11b的其他部分11d更靠径向外侧。由此，在一次密封部11压入于一次密封槽2d时，即使一次密封部11的轴向外端相对于一次密封槽2d滑动，也能够抑制一次密封部11的内周面11b的轴向外端部11c朝径向内侧过度凸出。由此，能够抑制主体部10的连通孔10a的流体的流动由一次密封部11的内周面11b阻碍。

另外，一次密封部11的内周面11b的轴向外端部11c的缩径程度大于主体部10的内周面10b的缩径程度，因此与使得一次密封部11的所述缩径程度与主体部10的所述缩径程度相同的情况相比，能够加厚一次密封部11的轴向外侧的径向的厚度。由此，能够进一步抑制一次密封部11的轴向外端与一次密封槽2d的接触面压力降低。

另外，在压入前状态下，主体部10的整个内周面10b形成为朝径向内侧凸出的曲线10b1。由此，在一次密封部11压入于一次密封槽2d时，能够进一步抑制主体部10的内周面10b以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。

另外，主体部10的内周面10b的曲线10b1、以及一次密封部11的内周面11b的其他部分11d的曲线11d1形成为，在压入状态下朝径向外侧挠曲变形而成为直线10b2、11d2。由此，能够进一步抑制主体部10的内周面10b以在压入状态下朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。其结果，能够进一步抑制一次密封部11的轴向外端与一次密封槽2d的接触面压力降低。

[第2实施方式]

<流路连接构造的整体结构>

图4是使用本发明的第2实施方式所涉及的密封部件的流路连接构造的轴向剖面图。在图4中，本实施方式的流路连接构造20例如与第1实施方式相同地，用于供半导体制造装置中使用的药液(流体)流动的配管路径。流路连接构造20具有接头主体22、联结螺母23以及内圈24。下面，在本实施方式中，为了方便而将图4的右侧称为轴向外侧，将图4的左侧称为轴向内侧(图5、图6也一样)。

内圈24例如由聚氯乙烯(PVC)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)或氟树脂(全氟烷氧基烷烃(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)或聚偏氟乙烯(PVDF)等)的合成树脂材料形成为圆筒状。内圈24具有：主体部25，其形成为圆筒状；鼓出部26，其形成于主体部25的轴向内端部；以及连接部27，其形成于主体部25的轴向外端部。

鼓出部26在主体部25的轴向内端部处形成为朝径向外侧凸出。鼓出部26压入于由合成树脂材料(PFA等)构成的管28的前端部内而使得该前端部扩径。连接部27与接头主体22的端部连接，将该连接部分密封。此外，后文中对连接部27的结构进行叙述。在主体部25的内部形成有将形成于接头主体22的内部的流路孔22c、与形成于管28的内部的流路孔28a连通的连通孔25a。

接头主体22例如由PVC、PP、PE或氟树脂(PFA、PTFE等)的合成树脂材料形成为圆筒状。接头主体22的内径以不妨碍药液的移动的方式，设定为与内圈24的主体部25的内径大致相同的尺寸。在接头主体22的端部形成有承口部22a。压入于管28的前端部内的内圈24与承口部22a的内周嵌合。由此，接头主体22的端部安装于管28的前端部的外周。在承口部22a的外周形成有外螺纹部22b。

接头主体22具有形成为比承口部22a更靠径向内侧的环状的一次密封槽(密封槽)22d以及环状的二次密封槽22e。一次密封槽22d在流路孔22c的连接端部的周面处设为以从轴向外端趋向轴向内端逐渐扩径的方式切割的锥状。二次密封槽22e在接头主体22处，在比一次密封槽22d更靠径向外侧的位置形成为圆筒环状。

联结螺母23例如由PVC、PP、PE或氟树脂(PFA、PTFE等)的合成树脂材料形成为圆筒状。联结螺母23具有：内螺纹部23a，其形成于轴向外端部的内周；以及按压部23b，其在轴向内端部处形成为朝径向内侧凸出。内螺纹部23a紧固于接头主体22的外螺纹部22b。通过该紧固将联结螺母23安装于接头主体22，并且按压部23b的轴向内端部利用内圈24的鼓出部26对管28的外周面进行按压。

根据以上结构，通过将联结螺母23的内螺纹部23a紧固于接头主体22的外螺纹部22b，能够确保接头主体22的承口部22a与管28的前端部的安装部位处的密封性能，并且能够防止管28的拔出。

内圈24的连接部27具有环状的一次密封部(密封部)31以及环状的二次密封部32。

一次密封部31形成为从主体部25的轴向外端部的径向内侧朝轴向外侧凸出。另外，一次密封部31形成为在轴向的剖面观察时从轴向内端趋向轴向外端缩细。一次密封部31的外周面31a与一次密封槽22d的形状相应地，设为以从轴向外端趋向轴向内端逐渐扩径的方式形成的锥面。由此，一次密封部31压入于接头主体22的一次密封槽22d。

二次密封部32形成为从主体部25的轴向外端部的径向外侧朝轴向外侧凸出。二次密封部32形成为圆筒环状，压入于接头主体22的二次密封槽22e。

根据以上结构，如果对联结螺母23进行紧固，则内圈24的一次密封部31以及二次密封部32分别压入于接头主体22的一次密封槽22d以及二次密封槽22e。由此，能够确保内圈24与接头主体22的连接部分的密封性能。因此，内圈24作为将管(流体设备)28的流路孔28a与接头主体(流体设备)22的流路孔22c密封而连接的密封部件起作用。

但是，在通过联结螺母23的紧固而将内圈24的一次密封部31以及二次密封部32压入于接头主体22的一次密封槽22d以及二次密封槽22e时，有时一次密封部31的轴向外端沿着一次密封槽22d的斜度朝轴向外侧滑动。如果产生这种滑动，则主体部25的内周面25b以主体部25的内周侧屈曲的方式朝径向外侧挠曲变形。在本实施方式中，在一次密封部31以及二次密封部32压入于一次密封槽22d以及二次密封槽22e的状态即压入状态下，主体部25的内周面25b形成为抑制以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形的形状。下面，对其详细形状进行说明。

<内圈的内周侧的结构>

图5是内圈24的轴向剖面图，示出了一次密封部31以及二次密封部32压入于一次密封槽22d以及二次密封槽22e(参照图4)之前的状态即压入前状态。在图5中，内圈24的主体部25的整个内周面25b形成为分别从轴向两个外端朝向轴向内侧而逐渐缩径。

在本实施方式中，主体部25的整个内周面25b形成为在轴向的剖面观察时在轴向中央处最朝径向内侧凸出的曲线25b1。内周面25b的曲线25b1在图4所示的压入状态下朝径向外侧挠曲变形而成为沿轴向延伸的直线25b2。即，曲线25b1的曲率半径r11设定为使得朝所述径向外侧的挠曲变形之后的形状成为直线25b2。

图6是图5的要部放大剖面图。在图6中，内圈24的一次密封部31的整个内周面31b形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。在本实施方式中，一次密封部31的整个内周面31b在轴向的剖面观察时形成为在轴向外端处最朝径向内侧凸出的曲线。

一次密封部31的内周面31b的轴向外端部31c的缩径程度大于主体部25的内周面25b的缩径程度。即，一次密封部31的内周面31b的轴向外端部31c的曲率半径r12小于主体部25的内周面25b的曲率半径r11。

一次密封部31的内周面31b的除了轴向外端部31c以外的其他部分31d整体形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。在本实施方式中，所述其他部分31d整体形成为，在轴向的剖面观察时在轴向内端处最朝径向内侧凸出的曲线31d1。曲线31d1的曲率半径r13与主体部25的内周面25b的曲率半径r11相同。因此，曲线31d1在图4所示的压入状态下形成为朝径向外侧挠曲变形而成为沿轴向延伸的直线31d2。即，曲线31d1的曲率半径r13设定为使得朝所述径向外侧的挠曲变形之后的形状成为直线31d2。

<第2实施方式的作用效果>

根据本实施方式的内圈24，在压入前状态下，主体部25的整个内周面25b形成为分别从轴向两个外端趋向轴向内侧而逐渐缩径。即，在压入前状态下，主体部25的整个内周面25b形成为朝径向内侧凸出。由此，在一次密封部31压入于一次密封槽22d时，即使一次密封部31的轴向外端沿着一次密封槽22d的斜度朝轴向外侧滑动，也能够抑制主体部25的内周面25b以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。其结果，能够抑制一次密封部31的轴向外端与一次密封槽22d的接触面压力降低，因此能够抑制流体浸入一次密封部31与一次密封槽22d之间而向外部泄漏。

另外，在压入前状态下，一次密封部31的整个内周面31b形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。即，在压入前状态下，一次密封部31的整个内周面31b形成为朝径向内侧凸出。由此，在一次密封部31压入于一次密封槽22d时，能够进一步抑制一次密封部31的内周面31b与主体部25一起以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。其结果，能够进一步抑制一次密封部31的轴向外端与一次密封槽22d的接触面压力降低。

另外，在压入前状态下，一次密封部31的内周面31b的轴向外端部31c形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。即，在压入前状态下，一次密封部31的内周面31b的轴向外端部31c配置为该内周面31b的比其他部分31d更靠径向外侧。由此，在一次密封部31压入于一次密封槽22d时，即使一次密封部31的轴向外端相对于一次密封槽22d滑动，也能够抑制一次密封部31的内周面31b的轴向外端部31c朝径向内侧过度凸出。由此，能够抑制主体部25的连通孔25a处的流体的流动由一次密封部31的内周面31b阻碍。

另外，一次密封部31的内周面31b的轴向外端部31c的缩径程度大于主体部25的内周面25b的缩径程度，因此与将一次密封部31的所述缩径程度设为与主体部25的所述缩径程度相同的情况相比，能够加厚一次密封部31的轴向外侧的径向厚度。由此，能够进一步抑制一次密封部31的轴向外端与一次密封槽22d的接触面压力降低。

另外，在压入前状态下，主体部25的整个内周面25b形成为朝径向内侧凸出的曲线25b1。由此，在一次密封部31压入于一次密封槽22d时，能够进一步抑制主体部25的内周面25b以朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。

另外，主体部25的内周面25b的曲线25b1、以及一次密封部31的内周面31b的其他部分31d的曲线31d1形成为在压入状态下朝径向外侧挠曲变形而成为直线25b2、31d2。由此，能够进一步抑制主体部25的内周面25b以在压入状态下朝径向外侧凹陷的方式挠曲变形。其结果，能够进一步抑制一次密封部31的轴向外端与一次密封槽22d的接触面压力降低。

[其他]

除了半导体制造装置以外，本发明的密封部件(垫片4，内圈24)可以应用于液晶/有机EL领域、医疗/医药领域、或者汽车相关领域等。另外，本发明还可以应用于仅具有一次密封部的密封部件。

密封部件的主体部10、25的内周面10b、25b的曲线10b1、25b1只要形成为在所述压入状态下未比直线10b2、25b2更朝径向外侧挠曲变形即可。例如，内周面10b、25b的曲线10b1、25b1可以形成为在压入状态下成为朝径向内侧凸出的曲线。

在压入前状态下，主体部10、25的内周面10b、25b的曲线10b1、25b1形成为在轴向中央处最朝径向内侧凸出，但也可以形成为在除了轴向两个外端以外的任意位置处最朝径向内侧凸出。

在压入前状态下，只要主体部10、25的内周面10b、25b、以及一次密封部11、31的内周面11b、31b的其他部分11d、31d中的至少一部分形成为从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径即可。例如，可以形成为只有主体部10、25的内周面10b、25b的一部分从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径。另外，可以形成为只有一次密封部11、31的内周面11b、31b的其他部分11d、31d的一部分或者整体从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径。

在压入前状态下，一次密封部11、31的内周面11b、31b的轴向外端部11c、31c整体可以形成为在轴向的剖面观察时沿轴向延伸的直线。

另外，在压入前状态下，一次密封部11、31的内周面11b、31b可以形成为在轴向的剖面观察时遍及整个轴向地沿轴向延伸的直线。

在压入前状态下，如果主体部10、25的内周面10b、25b形成为从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径，则可以形成为除了曲线以外的形状(例如锥形线)。同样地，如果一次密封部11、31的内周面11b、31b形成为从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径，则可以形成为除了曲线以外的形状(例如锥形线)。

应当理解，此次公开的实施方式在所有方面都是示例而未受到限制。本发明的范围并不是指上述范围，由权利要求书表示，其意图在于还包含与权利要求书等同的范围、以及范围内的所有变更。

标号的说明

2 流体设备

2c 流路孔

2d 一次密封槽(密封槽)

4 垫片(密封部件)

10 主体部

10a 连通孔

10b 内周面

10b1 曲线

10b2 直线

11 一次密封部(密封部)

11b 内周面

11c 轴向外端部

11d 其他部分

22 接头主体(流体设备)

22c 流路孔

22d 一次密封槽(密封槽)

24 内圈(密封部件)

25 主体部

25a 连通孔

25b 内周面

25b1 曲线

25b2 直线

28 管(流体设备)

28a 流路孔

31 一次密封部(密封部)

31b 内周面

31c 轴向外端部

31d 其他部分

Claims (8)

1.一种密封部件，其将在2个流体设备分别形成的流路孔彼此密封而连接，其中，

所述密封部件具有：

圆筒状的主体部，其具有将所述流路孔彼此连通的连通孔；以及

环状的密封部，其从所述主体部的轴向外端部的径向内侧朝轴向外侧凸出，压入于在一个所述流体设备的流路孔的连接端部形成的环状的密封槽，

在所述密封部压入于所述密封槽之前的状态即压入前状态下，所述主体部的内周面以及所述密封部的内周面的除了轴向外端部以外的其他部分中的至少一部分形成为从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径。

2.根据权利要求1所述的密封部件，其中，

在所述压入前状态下，所述主体部的内周面的至少一部分形成为从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径。

3.根据权利要求2所述的密封部件，其中，

在所述压入前状态下，所述主体部的整个内周面形成为从轴向两个外端分别趋向轴向内侧而逐渐缩径。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的密封部件，其中，

在所述压入前状态下，所述密封部的内周面的轴向外端部形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。

5.根据权利要求4所述的密封部件，其中，

在所述压入前状态下，所述主体部的内周面的至少一部分形成为从轴向外侧趋向轴向内侧而逐渐缩径，

所述密封部的内周面的轴向外端部的缩径程度大于所述主体部的内周面的缩径程度。

6.根据权利要求3所述的密封部件，其中，

在所述压入前状态下，所述密封部的整个内周面形成为从轴向外端趋向轴向内端而逐渐缩径。

7.根据权利要求3或6所述的密封部件，其中，

在所述压入前状态下，所述主体部的整个内周面形成为在轴向的剖面观察时朝径向内侧凸出的曲线。

8.根据权利要求7所述的密封部件，其中，

在所述密封部压入于所述密封槽的状态下，所述主体部的整个内周面形成为在轴向的剖面观察时不比沿轴向延伸的直线更朝径向外侧挠曲变形。

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