CN115194271B - 一种面向3d打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置 - Google Patents
一种面向3d打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115194271B CN115194271B CN202211003857.XA CN202211003857A CN115194271B CN 115194271 B CN115194271 B CN 115194271B CN 202211003857 A CN202211003857 A CN 202211003857A CN 115194271 B CN115194271 B CN 115194271B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser
- metal
- electrochemical
- storage tank
- liquid storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 87
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 title abstract description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 9
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 abstract 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000010892 electric spark Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 239000002893 slag Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H5/00—Combined machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H11/00—Auxiliary apparatus or details, not otherwise provided for
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H5/00—Combined machining
- B23H5/14—Supply or regeneration of working media
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
本发明提供了一种面向3D打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置，包括光学单元、电化学反应单元和流体控制单元；所述光学单元包括纳秒绿光激光器、XY两轴激光扫描振镜，聚焦透镜和控制***；所述电化学反应单元包括金属阴极、金属阳极工件、机械臂、反应容器、电解液、电动移动平台、导线、直流电源、底座和储液槽；金属阴极上设置有一条或多条沿竖直方向排列的直通槽；反应容器和储液槽均为透明亚克力器皿，透光率大于90％。激光束经过XY两轴激光扫描振镜和聚焦透镜，透过金属阴极上的直通槽之后，聚焦于金属阳极工件的表面。本发明成功实现了激光与电化学抛光的有效结合，使得在电化学抛光的同时能够实现激光的快速大面积抛光。
Description
技术领域
本发明属于激光加工领域，具体涉及一种面向3D打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置。
背景技术
随着增材制造技术的快速发展，特别是选区激光熔化(Selective LaserMelting，SLM)技术的推广应用，3D打印金属构件越来越多地被应用到医疗、航空、磨具和汽车等行业。然而3D打印微米级的粉末原材料和其成形机理决定了打印后材料表面存在一定的粗糙度。为满足部分需求，必须对3D打印金属构件的表面进行抛光。目前SLM增材制造成形零件主要依靠手工打磨、喷砂、电解抛光等手段进行抛光，但这些方法存在效率低、复杂内表面难加工、污染环境等缺点。
激光抛光是一种新型的抛光技术，具有非接触性、无污染和高效率等众多优势。但是激光抛光过程中产生的热效应易导致重铸层和微裂纹的产生。且难以实现高精度高平整度的精细抛光。相比之下，电化学抛光通过阳极电化学溶解去除材料，可实现高精度抛光，然而电化学抛光的金属构件其表面粗糙度必须小于一定值，无法对粗糙度较高的材料进行抛光，且抛光过程中由于钝化膜的出现导致效率较低。由此可见，以上单一抛光工艺难以在加工能力、效率和表面质量等方面做到兼容。
激光与电化学复合加工技术综合了激光加工效率高、电化学加工表面质量好等优势，已成为国内外广泛关注的一种高表面质量精密加工技术，但是目前激光与电化学复合加工技术主要通过在直径为0.3-1mm的中空管电极中通入电解液和激光实现对微孔的加工，其加工面积小，效率低，柔性化程度低，无法实现3D打印金属构件表面大面积高效抛光。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足，提供了一种加工效率高、加工区域大的面向3D打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置。
本发明是通过如下技术方案实现的：
一种面向3D打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置，包括光学单元、电化学反应单元和流体控制单元；所述光学单元包括纳秒绿光激光器、XY两轴激光扫描振镜，聚焦透镜和控制***；所述电化学反应单元包括金属阴极、金属阳极工件、机械臂、反应容器、电解液、电动移动平台、导线、直流电源、底座和储液槽；
金属阴极上设置有一条或多条沿竖直方向的直通槽；反应容器和储液槽均为透明亚克力器皿，透光率大于90％；反应容器竖直固定放置在底座上方，反应容器与底座均设置在储液槽内；反应容器底部开有一个凹槽，金属阴极竖直放置在凹槽中并固定夹紧，金属阳极工件用机械臂夹持，与金属阴极位置相对并平行设置，金属阳极工件能够由电动移动平台带动其相对金属阴极左右移动；反应容器底部在金属阴极与金属阳极工件之间设置有一用于流入电解液的狭缝；金属阴极与金属阳极工件两者分别通过导线与直流电源的正负极相连；
所述纳秒绿光激光器输出的激光束经过XY两轴激光扫描振镜的反射和聚焦透镜的聚焦后，透过储液槽、反应容器和金属阴极上的直通槽，作用于金属阳极工件的表面。
进一步的，所述流体控制单元包括管路、止回阀、过滤器、微量泵、主容器和喷嘴；所述主容器用于盛放电解液，微量泵的进液端与主容器连通，出液端经过过滤器的过滤后，穿过储液槽的进液口和底座的进液口，注入设置在底座的内部空腔内的喷嘴内；所述喷嘴安装在底座的内部空腔内，喷嘴的出口与反应容器底部狭缝连通，用于将电解液喷入反应容器底部狭缝，使得电解液在金属阴极和金属阳极工件之间的细小的狭缝内快速流动；储液槽内的电解液经由其出液口和管路流回主容器内，所述管路上设置有用于防止溶液回流的止回阀。
进一步的，所述流体控制单元还包括超声波振动平台，超声波振动平台安装在储液槽底部，用于通过超声振动带走电化学反应产生的气泡、反应产物和杂质。
本发明具有如下有益效果：
1、本发明所述激光与电化学复合抛光装置通过在金属阴极上设置直通槽，以及通过电动移动平台带动金属阳极工件移动，成功实现了激光抛光与平板电极电化学抛光的有效结合。
2、在激光与电化学复合抛光过程中，可通过振镜驱动激光沿竖直方向垂直扫描，并通过电动移动平台带动金属阳极工件水平移动，从而实现激光对整个工件的作用，克服了传统基于管电极复合加工区域过小的问题，同时增加激光扫描速度可匹配较高的激光能量，从而实现材料的高效去除，克服了传统基于管电极复合加工效率过低的问题。
3、本发明所述激光与电化学复合抛光装置中的金属电极可根据聚焦激光光斑尺寸设计调节直通槽的宽度。在加工过程中，金属阳极工件左右移动，激光穿过直通槽在垂直方向上作快速扫描，一方面可采用一束激光在多个直通槽之间进行来回扫描，另一方面还可以根据电极上直通槽的数量，采用光学衍射器件对激光进行分束，例如当直通槽数量为10时，通过分束器将激光分成10束，10束激光同时对直通槽进行扫描，可明显提高加工效率，实现多光束并行抛光。
4、本发明所述激光与电化学复合抛光装置通过将待加工金属工件竖直放置，同时通过巧妙的机械结构设计，电解液从下往上仅在两电极之间细小的狭缝快速流动，可以有效避免电化学反应过程中因局部区域溶液浓度过高造成的抛光效率的波动；同时辅助超声振动，可加速加工过程中所产生气泡的运动，以及促进溶液的流动，避免加工过程附着在材料表面的气泡对入射激光的散射。
5、本发明所述激光与电化学复合抛光装置克服了原有电化学抛光无法对粗糙度较高的零件进行抛光的问题，当金属构件表面粗糙度较高时，采用以激光为主，电化学辅助加工的抛光方式，此时激光的能量密度较高，电化学电流密度相对较低，电化学反应可有效除去激光加工过程中产生的熔渣和重熔层，当粗糙度降低到2μm以下时，采用以电化学为主，激光辅助加工的抛光方式，此时需降低激光能量密度，提高电化学电流密度，激光可快速去除钝化膜，促进电化学反应的进行，从而实现高效抛光。
附图说明
图1为本发明所述激光与电化学复合抛光装置的结构示意图；
图2为喷嘴与底座的装配图；
图3为底座与反应容器的装配图；
图4为透明电极的结构图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步详细的说明。
如图1-4所示，本发明提供了一种面向3D打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置，包括光学单元、电化学反应单元和流体控制单元。
所述光学单元包括纳秒绿光激光器1、XY两轴激光扫描振镜2，聚焦透镜3和控制***21。
其中纳秒绿光激光器的波长为500～560nm，输出功率为10～80W，脉宽为1～15ns，频率为30kHz～500Hz，控制***21内置的加工软件控制纳秒绿光激光器1出光，激光束经过XY两轴激光扫描振镜2和聚焦透镜3的聚焦后输出。
所述电化学反应单元包括金属阴极4、金属阳极工件5、机械臂6、反应容器7、电解液8、电动移动平台9、导线10、直流电源11、底座19和储液槽20。
反应容器7和储液槽20均为透明亚克力器皿，能够透过高能量的激光束，透光率大于90％。反应容器7竖直固定放置在底座18上方，反应容器7与底座18均设置在储液槽20内。反应容器7底部开有一个凹槽，金属阴极4竖直放置在凹槽中并固定夹紧，金属阳极工件5用机械臂6夹持，与金属阴极4位置相对并平行设置，金属阳极工件5可由电动移动平台9带动其相对金属阴极4左右移动。反应容器7底部在金属阴极4与金属阳极工件5之间设置有一用于流入电解液的狭缝，狭缝宽度约为1～3mm。金属阴极4与金属阳极工件5两者分别通过导线10与直流电源11的正负极相连，直流电源11用于提供电子让电化学反应进行。
储液槽20的侧壁上设置有进液口和出液口，底座19的底部设置有进液口，内部有空腔，顶部设置有开口。
金属阴极4上设置有一条或多条沿竖直方向的直通槽41，直通槽41的宽度为0.2～1mm，直通槽41相互之间的间隔可以根据需要设定，所述直通槽41可以通过电火花切割机切割而成。
电解液8可采用中性盐溶液或酸性混合溶液。
所述纳秒绿光激光器1输出的激光束经过XY两轴激光扫描振镜2和聚焦透镜3后，透过透明的储液槽20、反应容器7和金属阴极4上的直通槽41之后，聚焦于金属阳极工件5的表面。
所述流体控制单元包括管路12、止回阀13、过滤器14、微量泵15、主容器16、喷嘴17和超声波振动平台18。
所述主容器16用于盛放电解液8，微量泵15的进液端与主容器16连通，出液端经过过滤器14的过滤后，穿过储液槽20的进液口和底座19的进液口，注入设置在底座19的内部空腔内的喷嘴17内。
所述喷嘴17安装在底座19的内部空腔内，喷嘴17的出口与反应容器7底部狭缝连通，进而可以实现将电解液8喷入反应容器7底部狭缝，使得电解液在金属阴极4和金属阳极工件5之间的细小的狭缝内快速流动，从而保证两电极之间的电解液的快速更新，减小浓差极化的影响。
储液槽20内的电解液经由其出液口和管路12流回主容器16内，所述管路12上设置有用于防止溶液回流的止回阀13。
超声波振动平台18安装在储液槽20底部，用于通过超声振动带走电化学反应产生的气泡、反应产物和杂质。
利用上述装置对金属工件抛光的具体步骤如下：
(1)将金属阴极4竖直固定放置在盛有电解质的透明亚克力反应容器7的凹槽中，金属阳极工件5用机械臂6夹持，通过移动平台9带动其相对金属阴极4左右移动；阳极和阴极分别连接直流电源11的正负极。
(2)调节激光焦点位置，将激光加工参数输入到计算机21内置的加工软件，通过软件控制纳秒绿光激光器1出光，并控制激光扫描振镜2进行扫描运动，加工过程中，激光在垂直方向上透过透明的储液槽20、反应容器7和金属阴极4上的直通槽41之后作快速上下扫描。扫描完成后，电动移动平台9控制金属阳极工件5移动，每次移动距离为激光扫描直通槽41的宽度，直至完成整个金属阳极工件5表面的扫描。同时开启超声波振动平台18、微量泵15和直流电源11，超声振动使加工过程产生的气泡以及电化学溶解杂质迅速上浮，避免其对激光光束的传导以及电化学反应产生不利影响，微量泵15可以实现电解液8的循环流动，保证电解液8的快速更新，直流电源11提供电子促使电化学反应的进行，对金属阳极工件5表面激光加工过程产生的熔融物进行融解，通过激光和电化学复合加工，最终实现对金属阳极工件表面大面积高效精细抛光。
本发明可改变为多种方式对本领域的技术人员是显而易见的，这样的改变不认为脱离本发明的范围。所有这样的对所述领域的技术人员显而易见的修改，将包括在本权利要求的范围之内。
Claims (2)
1.一种面向3D打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置，包括光学单元、电化学反应单元和流体控制单元；其特征在于，所述光学单元包括纳秒绿光激光器（1）、XY两轴激光扫描振镜（2），聚焦透镜（3）和控制***（21）；所述电化学反应单元包括金属阴极（4）、金属阳极工件（5）、机械臂（6）、反应容器（7）、电解液（8）、电动移动平台（9）、导线（10）、直流电源（11）、底座（19）和储液槽（20）；
所述金属阴极（4）上设置有一条或多条沿竖直方向的直通槽（41）；反应容器（7）和储液槽（20）均为透明亚克力器皿，透光率大于90%；反应容器（7）竖直固定放置在底座（18）上方，反应容器（7）与底座（18）均设置在储液槽（20）内；反应容器（7）底部开有一个凹槽，金属阴极（4）竖直放置在凹槽中并固定夹紧，金属阳极工件（5）用机械臂（6）夹持，与金属阴极（4）位置相对并平行设置，金属阳极工件（5）能够由电动移动平台（9）带动其相对金属阴极（4）左右移动；反应容器（7）底部在金属阴极（4）与金属阳极工件（5）之间设置有一用于流入电解液的狭缝；金属阴极（4）与金属阳极工件（5）两者分别通过导线（10）与直流电源（11）的正负极相连；
所述纳秒绿光激光器（1）输出的激光束经过XY两轴激光扫描振镜（2）的反射和聚焦透镜（3）的聚焦后，透过储液槽（20）、反应容器（7）和金属阴极（4）上的直通槽（41），作用于金属阳极工件（5）的表面；
所述流体控制单元包括管路（12）、止回阀（13）、过滤器（14）、微量泵（15）、主容器（16）和喷嘴（17）；所述主容器（16）用于盛放电解液（8），微量泵（15）的进液端与主容器（16）连通，出液端经过过滤器（14）的过滤后，穿过储液槽（20）的进液口和底座（19）的进液口，注入设置在底座（19）的内部空腔内的喷嘴（17）内；所述喷嘴（17）安装在底座（19）的内部空腔内，喷嘴（17）的出口与反应容器（7）底部狭缝连通，用于将电解液（8）喷入反应容器（7）底部狭缝，使得电解液在金属阴极（4）和金属阳极工件（5）之间的细小的狭缝内快速流动；储液槽（20）内的电解液经由其出液口和管路（12）流回主容器（16）内，所述管路（12）上设置有用于防止溶液回流的止回阀（13）。
2.根据权利要求1所述的面向3D打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置，其特征在于，所述流体控制单元还包括超声波振动平台（18），超声波振动平台（18）安装在储液槽（20）底部，用于通过超声振动带走电化学反应产生的气泡、反应产物和杂质。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211003857.XA CN115194271B (zh) | 2022-08-23 | 2022-08-23 | 一种面向3d打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211003857.XA CN115194271B (zh) | 2022-08-23 | 2022-08-23 | 一种面向3d打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115194271A CN115194271A (zh) | 2022-10-18 |
| CN115194271B true CN115194271B (zh) | 2024-05-03 |
Family
ID=83573318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211003857.XA Active CN115194271B (zh) | 2022-08-23 | 2022-08-23 | 一种面向3d打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115194271B (zh) |
Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1919514A (zh) * | 2006-09-18 | 2007-02-28 | 南京航空航天大学 | 喷射液束电解－激光复合加工方法及其装置 |
| CN102649186A (zh) * | 2012-05-07 | 2012-08-29 | 南京航空航天大学 | 激光辐照辅助的微细电解加工方法及装置 |
| CN103028798A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-04-10 | 桂林电子科技大学 | 连续激光电化学金属微成形加工方法及*** |
| WO2016201761A1 (zh) * | 2015-06-17 | 2016-12-22 | 江苏大学 | 电化学放电与激光复合加工材料的装置和方法 |
| CN106735866A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-31 | 江苏大学 | 背向多焦点激光和电化学复合加工半导体材料的装置和方法 |
| CN108526627A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-09-14 | 江苏大学 | 一种半导体材料激光电化学复合微加工方法及装置 |
| CN108655521A (zh) * | 2018-04-27 | 2018-10-16 | 江苏大学 | 一种压电陶瓷振动与电化学放电同步的加工装置及方法 |
| CN110280856A (zh) * | 2019-05-08 | 2019-09-27 | 江苏大学 | 一种利用超声振透镜的激光-电化学复合打孔装置及方法 |
| CN210231813U (zh) * | 2019-05-21 | 2020-04-03 | 苏州科技大学 | 一种球面超声能场辅助微细电解铣削加工装置 |
| CN111360345A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-07-03 | 苏州大学 | 一种在工件表面形成微结构的加工方法及控制*** |
| CN112207376A (zh) * | 2020-10-09 | 2021-01-12 | 江苏大学 | 一种基于可变电场的阵列管状阳极辅助激光电化学复合加工的方法及装置 |
| CN114523165A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-05-24 | 江苏大学 | 一种在半导体材料上制备阵列孔的激光增强超声电解复合加工方法及装置 |
| CN114713970A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-07-08 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种波导激光电解复合加工装置及方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101880907B (zh) * | 2010-07-07 | 2012-04-25 | 厦门大学 | 纳米精度的电化学整平和抛光加工方法及其装置 |
-
2022
- 2022-08-23 CN CN202211003857.XA patent/CN115194271B/zh active Active
Patent Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1919514A (zh) * | 2006-09-18 | 2007-02-28 | 南京航空航天大学 | 喷射液束电解－激光复合加工方法及其装置 |
| CN102649186A (zh) * | 2012-05-07 | 2012-08-29 | 南京航空航天大学 | 激光辐照辅助的微细电解加工方法及装置 |
| CN103028798A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-04-10 | 桂林电子科技大学 | 连续激光电化学金属微成形加工方法及*** |
| WO2016201761A1 (zh) * | 2015-06-17 | 2016-12-22 | 江苏大学 | 电化学放电与激光复合加工材料的装置和方法 |
| CN106735866A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-05-31 | 江苏大学 | 背向多焦点激光和电化学复合加工半导体材料的装置和方法 |
| CN108655521A (zh) * | 2018-04-27 | 2018-10-16 | 江苏大学 | 一种压电陶瓷振动与电化学放电同步的加工装置及方法 |
| CN108526627A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-09-14 | 江苏大学 | 一种半导体材料激光电化学复合微加工方法及装置 |
| CN110280856A (zh) * | 2019-05-08 | 2019-09-27 | 江苏大学 | 一种利用超声振透镜的激光-电化学复合打孔装置及方法 |
| CN210231813U (zh) * | 2019-05-21 | 2020-04-03 | 苏州科技大学 | 一种球面超声能场辅助微细电解铣削加工装置 |
| CN111360345A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-07-03 | 苏州大学 | 一种在工件表面形成微结构的加工方法及控制*** |
| CN112207376A (zh) * | 2020-10-09 | 2021-01-12 | 江苏大学 | 一种基于可变电场的阵列管状阳极辅助激光电化学复合加工的方法及装置 |
| CN114523165A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-05-24 | 江苏大学 | 一种在半导体材料上制备阵列孔的激光增强超声电解复合加工方法及装置 |
| CN114713970A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-07-08 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种波导激光电解复合加工装置及方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 预润湿对激光诱导铝基超疏/亲水表面润湿性的影响;郑志霞;杨焕;光电工程;20190815;第46卷(第8期);全文 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115194271A (zh) | 2022-10-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110640337B (zh) | 一种液态流动涂层辅助激光背向湿刻加工低锥度玻璃深孔的装置及方法 | |
| CN111360345B (zh) | 一种在工件表面形成微结构的加工方法及控制*** | |
| CN112176383B (zh) | 一种利用激光电沉积复合加工的装置及方法 | |
| US11992889B2 (en) | Method for preparing a cross-size micro-nano structure array | |
| CN115159828B (zh) | 一种毛玻璃的激光切割方法及*** | |
| KR101973636B1 (ko) | 초경합금 고품질 레이저 복합가공 장치 | |
| CN114523165B (zh) | 一种在半导体材料上制备阵列孔的激光增强超声电解复合加工方法及装置 | |
| CN109570151B (zh) | 液流超声复合辅助激光清洗光学元件的装置及清洗方法 | |
| CN115194271B (zh) | 一种面向3d打印金属构件的激光与电化学复合抛光装置 | |
| CN109048088B (zh) | 一种长脉冲激光与等离子体射流复合加工微孔的方法及装置 | |
| CN111940895A (zh) | 基于流动水层的激光诱导液体等离子体微加工的方法及装置 | |
| CN113681155B (zh) | 一种激光辅助电化学处理孔质量的方法及装置 | |
| CN114273790B (zh) | 一种用于氮化镓在液相中刻蚀的飞秒激光加工装置及方法 | |
| CN115007958B (zh) | 一种液导激光-电解复合加工工具电极***及铣削方法 | |
| CN113579380A (zh) | 一种光纤激光与电解同轴同步复合加工装置 | |
| CN108746895B (zh) | 一种激光电解的切割装置 | |
| CN115555665A (zh) | 一种激光与电化学复合加工装置 | |
| CN116038106A (zh) | 激光多光束加工装置和太阳能电池多光束加工方法 | |
| CN113118573A (zh) | 一种管电极电解铣削加工深窄槽的方法及装置 | |
| CN111940930A (zh) | 一种微孔激光加工方法及设备 | |
| CN110497086A (zh) | 一种基于激光放电改善制孔质量的激光打孔装置及方法 | |
| CN217193114U (zh) | 可一次进行群孔加工的*** | |
| CN116372293A (zh) | 一种基于可修复导电冰工具的超声振动与光控电解复合加工方法及装置 | |
| CN113512741B (zh) | 激光冲击波辅助的电化学加工装置 | |
| CN113510364B (zh) | 一种基于激光辅助溶解的三维空腔结构的成型方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |