CN115144734A - 一种摆动调节装置及具有其的芯片测试机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种摆动调节装置及具有其的芯片测试机。一种摆动调节装置，适于芯片测试机或测试平台，包括：接收块，设有接收面、以及轴线垂直接收面的接收器；摆动结构，包括第一调节座和第二调节座，第一调节座设有弧形导轨或导槽、第二调节座设有导槽或弧形导轨，第一调节座和第二调节座通过弧形导轨和导槽滑动连接，第一调节座和第二调节座间设有连接块，第一调节座设有第一旋紧件，第一旋紧件与连接块抵接，第二调节座上设有接收块，驱动第二调节座相对第一调节座摆动，旋紧第一旋紧件，使接收面与芯片正光端横截面平行。本发明解决接收块因误差导致接收块安装光纤(或PD)接收面与正光端横截面无法平行。

Description

一种摆动调节装置及具有其的芯片测试机

技术领域

本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种摆动调节装置及具有其的芯片测试机。

背景技术

芯片生产过程中，裂片机通过解理技术将Wafer(中文名为晶圆)裂片为一根根Bar条，或是将单根Bar条裂解为一颗颗chip(中文名为芯片)。具体的，Bar条可以看做为多个chip并排形成的单条，称之为一个Bar。

在生产为单颗芯片前，厂家会用芯片测试机检测Bar条上排列的单颗芯片的性能。测试过程中，芯片测试机的测试平台上设置的探针通电后接通设于芯片上的通电端进行通电，芯片内会出现发光条，发光条的两端发出光信号，再由光纤(接收光信号)或PD(将接收到的光信号转换为电信号)接收光信号，根据光信号判断是否符合标准。

近些年，随着高速率/大功率芯片的出现，出现了带有倾斜角度光波导的特殊芯片(如：带有SOA放大功能的拐向光波导芯片)，发光条两端发出的光信号的角度会发生变化(背光端仍为垂直光波导，而正光端设计成带有固定角度的光波导)，这就需要芯片测试机上的光纤或PD的角度应随着光信号的角度的变化而变化。现有芯片测试机生产过程中，由于加工精度、安装中存在的误差，安装光纤或PD的接收块、测试平台分别与水平面存在不同的夹角，即，导致接收块上安装光纤(或PD)的接收面与正光端的横截面无法平行设置，从而使得光纤或PD无法有效接收光信号，使得检测结果存在误差。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的接收块因加工和安装误差导致接收块上安装光纤(或PD)的接收面与正光端的横截面无法平行设置，使得光纤或PD无法有效接收光信号，从而提供一种摆动调节装置及具有其的芯片测试机。

为了解决上述问题，本发明提供了一种摆动调节装置，包括：

接收块，所述接收块设有接收面、以及轴线垂直于所述接收面的接收器；

摆动结构，所述摆动结构包括第一调节座和第二调节座，所述第一调节座设有弧形导轨或导槽、所述第二调节座设有导槽或弧形导轨，所述第一调节座和第二调节座间通过弧形导轨和导槽滑动连接，所述第一调节座和第二调节座间设有连接块，所述第一调节座上设有第一旋紧件，第一旋紧件与连接块抵接设置，所述第二调节座上设有所述接收块，驱动所述第二调节座相对所述第一调节座摆动至预定位置，旋紧第一旋紧件使第一调节座和第二调节座固定，以使所述接收面与待检测芯片的正光端的横截面平行。

可选地，所述第一调节座包括穿设在所述弧形导轨或导槽中的调节杆，所述调节杆设有转动手柄和螺杆端，所述第二调节座朝向第一调节座的端面上设置有调节端，所述螺杆端与所述调节端啮合设置，转动所述转动手柄，所述调节端相对所述螺杆端运动。

可选地，所述连接块为弧形设置。

可选地，所述接收器为PD接收器或光纤接收器，所述光纤接收器连接有光谱仪、所述PD接收器连接有信号放大采集板。

可选地，还包括转动结构，所述转动结构沿高度方向自下而上依次设有转动座、第一转动盘和第二转动盘，所述第一转动盘和第二转动盘转动连接、所述第一转动盘与转动座转动连接，所述转动座与所述第二调节座固定连接，所述接收块设于所述第二转动盘上。

可选地，所述第一转动盘和第二转动盘间设有轴承，所述第一转动盘的固定端上转动设有第二旋紧件，所述第二旋紧件与第二转动盘抵接。

可选地，所述转动座内设有滑槽，所述滑槽内露出有至少三颗滚珠，所述第一转动盘与滚珠点接触，所述转动座的微调端设有角度调节件，所述第一转动盘上设有角度调节杆，所述角度调节件与所述角度调节杆抵接。

可选地，还包括沿高度方向自下而上依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水平调节板，所述高度调节座设于第二转动盘上，且设有高度调节件，所述第一水平调节板上设有第一水平调节件，所述第二水平调节板上设有第二水平调节件，所述第一水平调节件的轴线与第二水平调节件的轴线垂直设置，所述接收块固定设于所述第二水平调节板上。

一种芯片测试机，包括上述的摆动调节装置，还包括底板，所述底板上设有所述摆动调节装置。

可选地，还包括测试平台，所述测试平台上放置有待检测Bar条，以及与所述待检测Bar条对应设置的探针结构。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的摆动调节装置，包括：接收块，设有接收面、以及轴线垂直于接收面的接收器；摆动结构，设有第一调节座和第二调节座，第一调节座设有弧形导轨或导槽，第二调节座设有导槽或弧形导轨，第一调节座和第二调节座通过弧形导轨和导槽滑动连接，第一调节座和第二调节座间设有连接块，第一调节座上设有旋紧件，第一旋紧件和连接块抵接设置，第二调节座上设有接收块，驱动第二调节座相对第一调节座摆动至预定位置，旋紧第一旋紧件使第一调节座和第二调节座固定，以使接收面与待检测芯片的正光端的横截面平行。第一调节座和第二调节座通过弧形导轨和导槽滑动连接，以实现二者间的相对移动，驱动第二调节座相对第一调节座摆动带动接收块的接收面进行摆动，通过摆动使接收块的接收面与待检测芯片的正光端的横截面平行，便于轴线垂直于接收面的接收器有效地接收自正光端发出的光信号，从而减小因加工、安装出现的误差，还可消除温度等其它环境因素的不良影响，提升检测结果的精度。当调整好第一调节座和第二调节座位置后，朝向第一调节座方向旋转旋紧件，旋紧件使连接块紧紧抵接在第一调节座上，以实现第一调节座和第二调节座的固定，避免二者间出现相对滑动。

2.本发明提供的摆动调节装置，第一调节座包括穿设在弧形导轨或导槽中的调节杆，调节杆设有转动手柄和螺杆端，第二调节座的导槽或弧形导轨朝向第一调节座的端面上设置有调节端，螺杆端与调节端啮合设置，转动调节端相对螺杆端运动。调节杆的螺杆端与第二调节座的调节端啮合设置以形成蜗轮蜗杆结构，通过啮合实现第一调节座和第二调节座间的相对移动。

3.本发明提供的摆动调节装置，连接块为弧形设置，以更加适应第一调节座的形状。

4.本发明提供的摆动调节装置，接收器为PD接收器或光纤接收器，光纤接收器连接有光谱仪，光纤接收器将接收到的光谱曲线数据送入到光谱仪中进行光谱信号分析，根据光谱测试数据的结果判定是否满足产品的品质要求，进行产品等级分类；PD接收器连接有信号放大采集板，PD接收器将光信号转换为电信号传送到信号放大采集板进行数据采集，进行电特性数据计算处理并根据判定条件进行电特性等级分类。

5.本发明提供的摆动调节装置，还包括转动结构，转动结构沿高度方向自下而上依次设有转动座，第一转动盘和第二转动盘，第一转动盘和第二转动盘转动连接、第一转动盘与转动座转动连接，转动座与第二调节座固定连接，接收块设有第二转动盘上。当待检测的芯片规格、材质等发生变化后，待检测芯片的正光端的角度会出现变化，需要通过转动结构调整接收块的角度，使接收面的角度与正光端的角度一致。

6.本发明提供的摆动调节装置，第一转动盘和第二转动盘间设有轴承，所述第一转动盘的固定端上转动设有第二旋紧件，所述第二旋紧件与第二转动盘抵接，以通过转动旋紧件固定第二转动盘。

7.本发明提供的摆动调节装置，转动座内设有滑槽，滑槽内露出有至少三颗滚珠，第一转动盘与滚珠点接触，转动座的微调端设有角度调节件，第一转动杆上设有角度调节杆，角度调节件与角度调节杆抵接。第一转动盘与滚珠点接触以实现第一转动盘与转动座间的相对转动，旋转角度调节件带动角度调节杆进行转动，带动第一转动盘相对于转动座进行转动。

8.本发明提供的摆动调节装置，还包括沿高度方向自下而上依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水平调节板，高度调节座设于第二转动盘上，且设有高度调节件，高度调节件调节高度调节座的高度。第一水平调节板上设有第一水平调节件，第二水平调节板上设有第二水平调节件，第一水平调节件的轴线与第二水平调节件的轴线垂直设置，以实现水平面的不同方向的调节，接收块固定设于第二水平调节板上。

9.本发明提供的芯片测试机，由于采用了上述任一项所述的摆动调节装置，因此具有上述任一项所述的优点。还包括底板和测试平台，底板上设于摆动调节装置，测试平台上放置有待检测Bar条，以及与待检测Bar条对应设置的探针结构，当探针结构通电后与待检测Bar条接触，待检测Bar条上的芯片会形成发光条，发光条正光端和背光端分别发出光信号，底板上设置的摆动调节装置的接收器接收自正光端发出的光信号。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的实施方式中提供的摆动调节装置的结构示意图；

图2为本发明的实施方式中提供的摆动结构的结构示意图；

图3为本发明的实施方式中提供的第一调节座的结构示意图；

图4为本发明的实施方式中提供的第二调节座的结构示意图；

图5为本发明的实施方式中提供的摆动结构的结构示意图；

图6为本发明的实施方式中提供的转动结构的结构示意图；

图7为本发明的实施方式中提供的摆动结构的第一转动盘和第二转盘的剖视示意图；

图8为本发明的实施方式中提供的高度调节座、第一水平调节板和第二水平调节板的结构示意图；

图9为本发明的实施方式中提供的转动块与PD接收器连接的结构示意图；

图10为本发明的实施方式中提供的测试平台的结构示意图；

图11为本发明的实施方式中提供的待检测Bar条的结构示意图。

附图标记说明：1、光纤接收器；2、接收面；3、PD接收器；4、接收块；5、第二水平调节板；6、第一水平调节板；7、摆动结构；8、转动结构；9、高度调节座；10、转动手柄；11、第一调节座；12、第二调节座；13、螺杆端；14、弧形导轨；15、导槽；16、调节端；17、连接块；18、第一旋紧件；19、转动座；20、第一转动盘；21、第二转动盘；22、第二旋紧件；23、角度调节杆；24、微调端；25、角度调节件；26、第三旋紧件；27、轴承；28、高度调节件；29、支撑座；30、活动座；31、紧固件；32、第二水平调节件；33、第二固定板；34、第二活动板；35、第一活动板；36、第一水平调节件；37、伸出端；38、第一固定板；39、固定孔；40、放置板；41、探针结构；42、底板；43、背光端；44、通电端；45、待检测芯片；46、发光条；47、待检测Bar条；48、正光端。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1－图11所示的摆动调节装置的一种具体实施方式，包括：沿高度方向自下而上依次设置的摆动结构7、转动结构8，转动结构8上并排设有两个高度调节座9，每一高度调节座9沿高度方向自下而上设置有第一水平调节板6、第二水平调节板5和接收块4。其中，一个接收块4的接收面2设有PD接收器3、另一个接收块4的接收面2设有光纤接收器1。

如图1、图2、图3、图4和图5所示，摆动结构7包括第一调节座11和第二调节座12，第一调节座11设有弧形导轨14、以及穿设于弧形导轨14中的调节杆，其中，调节杆设有转动手柄10和螺杆端13，螺杆端13露出于弧形导轨14的表面；第二调节座12设有导槽15、以及朝向第一调节座11的端面上设有调节端16，调节端16为弧形结构、且设有齿，第一调节座11和第二调节座12通过弧形导轨14和导槽15滑动连接，螺杆端13与调节端16啮合设置形成有蜗轮蜗杆结构。为便于调整完的第一调节座11和第二调节座12的固定，如图4和图5所示，第一调节座11和第二调节座12间还设有弧形的连接块17，第一调节座11上还设有第一旋紧件18，第一旋紧件18的轴线方向与连接块17的长度方向垂直、且第一旋紧件18与连接块17抵接设置，朝向连接块17方向旋转第一旋紧件18以通过连接块17实现第一调节座11和第二调节座12间的固定。具体的，第一旋紧件18为螺栓。

如图1、图6和图7所示，转动结构8沿高度方向自下而上依次设有转动座19、第一转动盘20和第二转动盘21，转动座19与第二调节座12固定连接，第一转动盘20和第二转动盘21转动连接、第一转动盘20与转动座19转动连接，其中，转动座19与第二调节座12固定连接，第二转动盘21与高度调节座9固定连接。为便于第一转动盘20和第二转动盘21的转动，如图7所示，第一转动盘20和第二转动盘21间设有轴承27，通过轴承27的转动实现第一转动盘20和第二转动盘21间相对转动。为固定第二转动盘21，第一转动盘20的固定端上转动设有第二旋紧件22，第二旋紧件22与第二转动盘21抵接，旋转第二旋紧件22以实现对第二转动盘21的固定。具体的，第二旋紧件22为螺栓。

为便于第一转动盘20与转动座19的转动，转动座19内设有环形的滑槽，滑槽内露出有三颗滚珠，第一转动盘20与滚珠点接触以通过滚珠与转动座19实现相对转动。为实现第一转动盘20与转动座19间的微转动，如图6所示，转动座19固定设有微调端24，微调端24上设有角度调节件25，第一转动盘20设有角度调节杆23，角度调节件25与角度调节杆23抵接，转动角度调节件25以使角度调节杆23带动第一转动盘20进行小角度转动，实现第一转动盘20与转动座19间的小角度相对转动。具体的，角度调节件25为微分头。为实现第一转动盘20和转动座19间的固定，第一转动盘20上设有第三旋紧件26，第三旋紧件26穿过第一转动盘20与旋转座抵接，转动第三旋紧件26以实现第一转动盘20与旋转座的固定。具体的，第三旋紧件26为螺栓。

如图8所示，高度调节座9包括活动座30、支撑座29和高度调节件28，支撑座29与第二转动盘21固定连接，其中，高度调节件28设于支撑座29上，且高度调节件28抵接在活动座30的斜面上，通过转动高度调节件28的伸进或伸出与活动座30斜面的不同位置接触，以调节活动座30的高度，改变接收块4的高度。具体的，高度调节件28为微分头。

如图8所示，第一水平调节板6包括滑动连接的第一固定板38和第一活动板35，第一固定板38与活动座30固定连接，其中，第一固定板38上设有“L”形的伸出端37，伸出端37上设有第一水平调节件36，第一水平调节件36与第一活动板35的侧面抵接，转动第一水平调节件36的调节杆推动第一活动板35相对于第一固定板38的移动。具体的，第一水平调节件36为微分头。为固定调节后的第一活动板35和第一固定板38，第一水平调节板6上还设有紧固件31，转动紧固件31与第一活动板35进行固定。

如图8所示，第二水平调节板5包括滑动连接的第二固定板33和第二活动板34，第二固定板33与第一活动板35固定连接，其中，第二固定板33上设有“L”形的伸出端37，伸出端37上设有第二水平调节件32，第二水平调节件32的轴线与第一水平调节件36的轴线垂直设置，第二水平调节件32与第二活动板34的侧面抵接，转动第二水平调节件32的调节杆推动第二活动板34相对于第二固定板33的移动。具体的，第二水平调节件32为微分头。为固定调节后的第二活动板34和第二固定板33，第二水平调节板5上还设有紧固件31，转动紧固件31与第二活动板34进行固定。

如图9所示，接收块4设有四个固定孔39，四个固定孔39内穿设有螺栓以与第二水平调节板5的第二活动板34固定连接。为便于固定光纤接收器1或PD接收器3，接收块4的截面为“L”形结构，接收块4上卡设有轴线垂直于接收面2设置的光纤接收器1或PD接收器3。为便于分析光信号是否符合要求，PD接收器3连接有信号放大采集板、光纤接收器1连接有光谱仪对采集到的电特性曲线和光谱曲线进行分析和判断。

一种芯片测试机，如图10、图11所示，包括上述的摆动调节装置，还包括底板42，底板42上设有摆动调节装置，以及与摆动调节装置对应设置的测试平台，以及驱动测试平台进行移动的动力机构，其中，测试平台上设有放置板40，放置板40上设有待检测Bar条47、以及设于待检测Bar条47正上方的探针结构41，具体的，待检测Bar条47设有两个间隔设置的芯片，每一芯片设有三个通电端44，每一通电端44对应探针结构41的一根探针。

具体实施过程中，由于待检测芯片45的不同规格(如，厚度、高度、尺寸等)、材质不同，根据正光端48的倾斜光波导角度设置第二转动盘21的转动角度，使垂直于接收块4的接收面2的接收器的轴线与正光端48的轴线平行，即，PD接收器3或光纤接收器1轴线与待检测芯片45的正光端48的横截面垂直(PD或光纤探头与待检测芯片45的光波导角度一致)。紧接着，驱动第二调节座12相对于第一调节座11摆动，使接收面2与待检测芯片45的正光端48的横截面平行。当发现待检测芯片45的正光端48的轴线与接收器的中心轴线有偏移时(两条轴线平行但不重合)，现场人员通过高度调节件28对高度进行微调节，第一水平调节件36、第二水平调节件32在水平面内沿垂直设置的两个方向进行微调节，PD接收器3的中心轴线与发光条46的正光端48的中心轴线重合。待全部位置调整完成后，探针下降、通电使同一芯片的发光条46发光，发光条46的正光端48和背光端43分别发出光信号，光谱耦合峰值最高最佳，PD接收器3以最大效率地接收正光端48传出的光信号。当PD接收器3接收完光信号后，测试平台移动至光纤接收器1的光信号接收区域，进行高度和水平方向微调、以最大效率接收光信号。

作为替代的实施方式，第一调节座11还可设有导槽15，第二调节座12还可设有弧形导轨14。

作为替代的实施方式，第二调节座12的调节端16还可为螺母，即，第一调节座11的调节杆的螺杆穿入螺母中，以实现第一调节座11和第二调节座12间的相对移动。

作为替代的实施方式，滚珠的数量还可为4颗、5颗甚至更多颗。

作为替代的实施方式，高度调节件28、第一水平调节件36、第二水平调节件32还可为螺栓等。

作为替代的实施方式，待检测Bar条47还可设置有3个、4个甚至更多个间隔设置的待检测芯片45。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种摆动调节装置，其特征在于，适用于芯片测试机或测试平台，包括：

接收块(4)，所述接收块(4)设有接收面(2)、以及轴线垂直于所述接收面(2)的接收器；

摆动结构(7)，所述摆动结构(7)包括第一调节座(11)和第二调节座(12)，所述第一调节座(11)设有弧形导轨(14)或导槽(15)、所述第二调节座(12)设有导槽(15)或弧形导轨(14)，所述第一调节座(11)和第二调节座(12)间通过弧形导轨(14)和导槽(15)滑动连接，所述第一调节座(11)和第二调节座(12)间设有连接块(17)，所述第一调节座(11)上设有第一旋紧件(18)，第一旋紧件(18)与连接块(17)抵接设置，所述第二调节座(12)上设有所述接收块(4)，驱动所述第二调节座(12)相对所述第一调节座(11)摆动至预定位置，旋紧第一旋紧件(18)使第一调节座(11)和第二调节座(12)固定，以使所述接收面(2)与待检测芯片(45)的正光端(48)的横截面平行。

2.根据权利要求1所述的摆动调节装置，其特征在于，所述第一调节座(11)包括穿设在所述弧形导轨(14)或导槽(15)中的调节杆，所述调节杆设有转动手柄(10)和螺杆端(13)，所述第二调节座(12)朝向第一调节座(11)的端面上设置有调节端(16)，所述螺杆端(13)与所述调节端(16)啮合设置，转动所述转动手柄(10)，所述调节端(16)相对所述螺杆端(13)运动。

3.根据权利要求1所述的摆动调节装置，其特征在于，所述连接块(17)为弧形设置。

4.根据权利要求1所述的摆动调节装置，其特征在于，所述接收器为PD接收器(3)或光纤接收器(1)，所述光纤接收器(1)连接有光谱仪、所述PD接收器(3)连接有信号放大采集板。

5.根据权利要求1－4任一项所述的摆动调节装置，其特征在于，还包括转动结构(8)，所述转动结构(8)沿高度方向自下而上依次设有转动座(19)、第一转动盘(20)和第二转动盘(21)，所述第一转动盘(20)和第二转动盘(21)转动连接、所述第一转动盘(20)与转动座(19)转动连接，所述转动座(19)与所述第二调节座(12)固定连接，所述接收块(4)设于所述第二转动盘(21)上。

6.根据权利要求5所述的摆动调节装置，其特征在于，所述第一转动盘(20)和第二转动盘(21)间设有轴承(27)，所述第一转动盘(20)的固定端上转动设有第二旋紧件(22)，所述第二旋紧件(22)与第二转动盘(21)抵接。

7.根据权利要求6所述的摆动调节装置，其特征在于，所述转动座(19)内设有滑槽，所述滑槽内露出有至少三颗滚珠，所述第一转动盘(20)与滚珠点接触，所述转动座(19)的微调端(24)设有角度调节件(25)，所述第一转动盘(20)上设有角度调节杆(23)，所述角度调节件(25)与所述角度调节杆(23)抵接。

8.根据权利要求5所述的摆动调节装置，其特征在于，还包括沿高度方向自下而上依次设置的高度调节座(9)、第一水平调节板(6)、第二水平调节板(5)，所述高度调节座(9)设于第二转动盘(21)上，且设有高度调节件(28)，所述第一水平调节板(6)上设有第一水平调节件(36)，所述第二水平调节板(5)上设有第二水平调节件(32)，所述第一水平调节件(36)的轴线与第二水平调节件(32)的轴线垂直设置，所述接收块(4)固定设于所述第二水平调节板(5)上。

9.一种芯片测试机，其特征在于，包括权利要求1－8任一项所述的摆动调节装置，还包括底板(42)，所述底板(42)上设有所述摆动调节装置。

10.根据权利要求9所述的芯片测试机，其特征在于，还包括测试平台，所述测试平台上放置有待检测Bar条(47)，以及与所述待检测Bar条(47)对应设置的探针结构(41)。

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