CN114877429B - 一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间 - Google Patents
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Abstract
本发明属于工业技术领域,尤其是一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,针对不能净化空气的问题,现提出以下方案,包括车间本体、处理箱和设备箱,所述车间本体外部一侧开设有出风口,所述出风口上均转动连接有窗叶,所述车间本体外部一侧设有送风机构,所述设备箱内部设有启闭机构,所述处理箱内包括加热室、冷凝室、过滤室、储水室和沉降室,所述处理箱外部一侧安装有温度传感器,所述沉降室内设有喷水机构,所述沉降室外设有抽风机构,所述过滤室内设有过滤机构,所述加热室和冷凝室内分别设有加热机构和冷凝机构。本发明调温方式多样结合,可以根据车间本体内部的温度进行对应的温度调节,灰尘过滤效果更好,具有空气净化的功能。
Description
技术领域
本发明涉及工业技术领域,尤其涉及一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间。
背景技术
单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。单晶硅材料制造要经过如下过程:石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅-硅片切割,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。单晶硅需要在生产车间内完成各个生产流程。
现有的单晶硅生产用车间不具有空气净化功能,无法对空气中生产过程中产生的灰尘等杂质进行过滤净化,现有的单晶硅生产用车间不够智能化,无法根据车间内的温度不同对其进行调节,从而保证车间内一直维持适宜的工作温度。
发明内容
基于背景技术中提出的技术问题,本发明提出了一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间。
本发明提出的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,包括车间本体、处理箱和设备箱,所述车间本体外部一侧开设有出风口,所述出风口设有多个并竖直均匀设置,多个所述出风口上均转动连接有窗叶,多个所述窗叶中部均水平贯穿有从动轴,所述车间本体外部和出风口对立一侧设有送风机构,所述设备箱位于车间本体内壁并位于多个出风口的一侧,所述设备箱内部设有带动多个窗叶启闭的启闭机构,所述处理箱位于车间本体内部一侧,所述处理箱内包括加热室、冷凝室、过滤室、储水室和沉降室,所述处理箱外部一侧安装有温度传感器,所述沉降室内设有喷水机构,所述沉降室外设有抽风机构,所述过滤室内设有过滤机构,所述加热室和冷凝室内分别设有加热机构和冷凝机构。
优选地,所述送风机构包括第一抽风机,所述第一抽风机安装于车间本体的顶部一侧,所述第一抽风机的出风口连通有送风总管,所述送风总管呈90°弯曲,所述送风总管的另一端侧面连通有送风支管,所述送风支管设有多个,多个所述送风支管均和车间本体内部连通。
优选地,所述启闭机构包括主动轴和电动伸缩杆,所述主动轴设有多个,多个所述主动轴水平转动连接于设备箱内部并分别与多个从动轴平行设置,所述从动轴的一端和主动轴之间套接有同一个皮带。
优选地,多个所述主动轴的另一端均安装有齿轮,所述电动伸缩杆竖直安装于设备箱内底部,所述电动伸缩杆的伸缩端顶端竖直安装有齿条,多个所述齿轮均与齿条啮合。
优选地,所述加热室和冷凝室并排设置,所述储水室和沉降室并排设置,所述冷凝室和沉降室靠近车间本体外部一侧,所述储水室和沉降室整体、过滤室与加热室和冷凝室整体依次设置。
优选地,所述喷水机构包括喷头,所述储水室内底部安装有水泵,所述水泵的出水口连通有喷水管,所述喷水管另一端从侧面顶部伸入沉降室内部,所述喷头设有多个,多个所述喷头均匀的安装于喷水管另一端的底部。
优选地,所述抽风机构包括第二抽风机,所述第二抽风机安装于沉降室外部一侧的中部,所述第二抽风机的出风口和沉降室之间通过出风管连通,所述过滤机构包括滤网,所述过滤室内插接有安装架,所述滤网安装于安装架上,所述滤网设有多个并平行设置。
优选地,所述加热机构包括加热管,所述加热管设有多个,多个所述加热管均匀的水平安装于加热室内部,所述冷凝机构包括冷凝器,所述冷凝器安装于冷凝室的内底部,所述冷凝器的进风口和过滤室连通,所述冷凝器的出风口和处理箱和车间本体内部连通。
优选地,所述沉降室和过滤室之间、过滤室与加热室和冷凝室之间、过滤室和车间本体之间均通过阀门连通。
优选地,所述冷凝室靠近车间本体外部的一侧和冷凝室的顶部均贯穿有散热片,所述散热片均伸出车间本体内部,所述散热片设有多个。
本发明中的有益效果为:
1、该设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,通过设置有送风机构和出风口,当温度传感器感应到车间本体内部温度略高时,启动第一抽风机将外界冷空气经过送风总管和送风支管吹入车间本体内部,同时启动电动伸缩杆带动齿条向下移动,齿条通过齿轮带动主动轴顺时针转动,主动轴通过皮带带动从动轴顺时针转动,从而将多个窗叶打开,车间本体内部的热空气从出风口排出,从而加快车间本体内部热量的散发,散热效果较好。
2、该设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,通过设置有冷凝机构和喷水机构,当送风机构工作一段时间后温度仍未降至适宜温度时,启动电动伸缩杆带动齿条向上移动关闭窗叶并关闭第一抽风机,开启第二抽风机将车间本体内部的空气抽入处理箱内部,先经过沉降室内与水雾接触进行初步降温,最后进入冷凝室内经过冷凝器冷凝后重新回到车间本体内部,从而使车间本体内的温度降至适宜温度,降温效果更好。
3、该设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,通过设置有加热机构,当温度传感器感应到车间本体内部温度略较低时,开启对应的阀门,进入处理箱的空气最终进入到加热室内部经过加热管进行加热,从而增加空气的温度,达到提升车间本体内部空气温度的目的,调温方式多样结合,可以根据车间本体内部的温度进行对应的温度调节,更加智能化。
4、该设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,通过设置有喷水机构和过滤机构,第二抽风机将车间本体内部的空气抽入处理箱内部,先经过沉降室内与水雾接触,从而将大颗粒灰尘杂质沉降在沉降室内部,剩余的小颗粒灰尘随空气进入过滤室内部经过滤网过滤掉,滤后的干净空气重新进入到车间本体内部,经过双重过滤,灰尘的过滤效果更好,具有空气净化的功能。
该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
附图说明
图1为本发明提出的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间的结构示意图;
图2为本发明提出的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间的处理箱结构示意图;
图3为本发明提出的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间的局部俯视截面图;
图4为本发明提出的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间的局部侧视截面图一;
图5为本发明提出的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间的局部侧视截面图二;
图6为本发明提出的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间的A处放大图。
图中:1、车间本体;2、第一抽风机;3、送风总管;4、窗叶;5、出风口;6、散热片;7、处理箱;8、加热管;9、过滤室;10、滤网;11、储水室;12、喷水管;13、温度传感器;14、第二抽风机;15、沉降室;16、加热室;17、冷凝室;18、冷凝器;19、水泵;20、设备箱;21、齿条;22、电动伸缩杆;23、送风支管;24、皮带;25、从动轴;26、齿轮;27、主动轴;28、喷头。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
参照图1-6,一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,包括车间本体1、处理箱7和设备箱20,车间本体1外部一侧开设有出风口5,出风口5设有多个并竖直均匀设置,多个出风口5上均转动连接有窗叶4,多个窗叶4中部均水平贯穿有从动轴25,车间本体1外部和出风口5对立一侧设有送风机构,设备箱20位于车间本体1内壁并位于多个出风口5的一侧,设备箱20内部设有带动多个窗叶4启闭的启闭机构,处理箱7位于车间本体1内部一侧,处理箱7内包括加热室16、冷凝室17、过滤室9、储水室11和沉降室15,处理箱7外部一侧安装有温度传感器13,沉降室15内设有喷水机构,沉降室15外设有抽风机构,过滤室9内设有过滤机构,加热室16和冷凝室17内分别设有加热机构和冷凝机构。
本发明中,送风机构包括第一抽风机2,第一抽风机2安装于车间本体1的顶部一侧,第一抽风机2的出风口连通有送风总管3,送风总管3呈90°弯曲,送风总管3的另一端侧面连通有送风支管23,送风支管23设有多个,多个送风支管23均和车间本体1内部连通。启动第一抽风机2将外界冷空气经过送风总管3和送风支管23吹入车间本体1内部,车间本体1内部的热空气从出风口5排出,从而加快车间本体1内部热量的散发,散热效果较好
本发明中,启闭机构包括主动轴27和电动伸缩杆22,主动轴27设有多个,多个主动轴27水平转动连接于设备箱20内部并分别与多个从动轴25平行设置,从动轴25的一端和主动轴27之间套接有同一个皮带24。
本发明中,多个主动轴27的另一端均安装有齿轮26,电动伸缩杆22竖直安装于设备箱20内底部,电动伸缩杆22的伸缩端顶端竖直安装有齿条21,多个齿轮26均与齿条21啮合。启动电动伸缩杆22带动齿条21向下移动,齿条21通过齿轮26带动主动轴27顺时针转动,主动轴27通过皮带24带动从动轴25顺时针转动,从而将多个窗叶4打开。
本发明中,加热室16和冷凝室17并排设置,储水室11和沉降室15并排设置,冷凝室17和沉降室15靠近车间本体1外部一侧,储水室11和沉降室15整体、过滤室9与加热室16和冷凝室17整体依次设置。
本发明中,喷水机构包括喷头28,储水室11内底部安装有水泵19,水泵19的出水口连通有喷水管12,喷水管12另一端从侧面顶部伸入沉降室15内部,喷头28设有多个,多个喷头28均匀的安装于喷水管12另一端的底部,水泵19抽取储水室11内部的水经喷水管12由喷头28向沉降室15内喷出水雾。
本发明中,抽风机构包括第二抽风机14,第二抽风机14安装于沉降室15外部一侧的中部,第二抽风机14的出风口和沉降室15之间通过出风管连通,过滤机构包括滤网10,过滤室9内插接有安装架,滤网10安装于安装架上,滤网10设有多个并平行设置。开启第二抽风机14将车间本体1内部的空气抽入处理箱7内部,先经过沉降室15内与水雾接触,从而将大颗粒灰尘杂质沉降在沉降室15内部,剩余的小颗粒灰尘随空气进入过滤室9内部经过滤网10过滤掉,滤后的干净空气重新进入到车间本体1内部,经过双重过滤,灰尘的过滤效果更好,具有空气净化的功能。
本发明中,加热机构包括加热管8,加热管8设有多个,多个加热管8均匀的水平安装于加热室16内部,冷凝机构包括冷凝器18,冷凝器18安装于冷凝室17的内底部,冷凝器18的进风口和过滤室9连通,冷凝器18的出风口和处理箱7和车间本体1内部连通。开启第二抽风机14将车间本体1内部的空气抽入处理箱7内部,先经过沉降室15内与水雾接触进行初步降温,最后进入冷凝室17内经过冷凝器18冷凝后重新回到车间本体1内部,从而使车间本体1内的温度降至适宜温度,降温效果更好;当温度传感器13感应到车间本体1内部温度略较低时,开启对应的阀门,进入处理箱7的空气最终进入到加热室16内部经过加热管8进行加热,从而增加空气的温度,达到提升车间本体1内部空气温度的目的,调温方式多样结合,可以根据车间本体1内部的温度进行对应的温度调节,更加智能化。
本发明中,沉降室15和过滤室9之间、过滤室9与加热室16和冷凝室17之间、过滤室9和车间本体1之间均通过阀门连通,对应的阀门打开使空气进入不同的处理室。
本发明中,冷凝室17靠近车间本体1外部的一侧和冷凝室17的顶部均贯穿有散热片6,散热片6均伸出车间本体1内部,散热片6设有多个,散热片6将冷凝器18工作产生的热量导向外界。
工作原理:当温度传感器13感应到车间本体1内部温度略高时,启动第一抽风机2将外界冷空气经过送风总管3和送风支管23吹入车间本体1内部,同时启动电动伸缩杆22带动齿条21向下移动,齿条21通过齿轮26带动主动轴27顺时针转动,主动轴27通过皮带24带动从动轴25顺时针转动,从而将多个窗叶4打开,车间本体1内部的热空气从出风口5排出,从而加快车间本体1内部热量的散发,散热效果较好;当送风机构工作一段时间后温度仍未降至适宜温度时,启动电动伸缩杆22带动齿条21向上移动关闭窗叶4并关闭第一抽风机2,开启第二抽风机14将车间本体1内部的空气抽入处理箱7内部,先经过沉降室15内与水雾接触进行初步降温,最后进入冷凝室17内经过冷凝器18冷凝后重新回到车间本体1内部,从而使车间本体1内的温度降至适宜温度,降温效果更好;当温度传感器13感应到车间本体1内部温度略较低时,开启对应的阀门,进入处理箱7的空气最终进入到加热室16内部经过加热管8进行加热,从而增加空气的温度,达到提升车间本体1内部空气温度的目的,调温方式多样结合,可以根据车间本体1内部的温度进行对应的温度调节,更加智能化;第二抽风机14将车间本体1内部的空气抽入处理箱7内部,先经过沉降室15内与水雾接触,从而将大颗粒灰尘杂质沉降在沉降室15内部,剩余的小颗粒灰尘随空气进入过滤室9内部经过滤网10过滤掉,滤后的干净空气重新进入到车间本体1内部,经过双重过滤,灰尘的过滤效果更好,具有空气净化的功能。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,包括车间本体(1)、处理箱(7)和设备箱(20),其特征在于,所述车间本体(1)外部一侧开设有出风口(5),所述出风口(5)设有多个并竖直均匀设置,多个所述出风口(5)上均转动连接有窗叶(4),多个所述窗叶(4)中部均水平贯穿有从动轴(25),所述车间本体(1)外部和出风口(5)对立一侧设有送风机构,所述设备箱(20)位于车间本体(1)内壁并位于多个出风口(5)的一侧,所述设备箱(20)内部设有带动多个窗叶(4)启闭的启闭机构,所述处理箱(7)位于车间本体(1)内部一侧,所述处理箱(7)内包括加热室(16)、冷凝室(17)、过滤室(9)、储水室(11)和沉降室(15),所述处理箱(7)外部一侧安装有温度传感器(13),所述沉降室(15)内设有喷水机构,所述沉降室(15)外设有抽风机构,所述过滤室(9)内设有过滤机构,所述加热室(16)和冷凝室(17)内分别设有加热机构和冷凝机构,所述送风机构包括第一抽风机(2),所述第一抽风机(2)安装于车间本体(1)的顶部一侧,所述第一抽风机(2)的出风口连通有送风总管(3),所述送风总管(3)呈90°弯曲,所述送风总管(3)的另一端侧面连通有送风支管(23),所述送风支管(23)设有多个,多个所述送风支管(23)均和车间本体(1)内部连通,所述启闭机构包括主动轴(27)和电动伸缩杆(22),所述主动轴(27)设有多个,多个所述主动轴(27)水平转动连接于设备箱(20)内部并分别与多个从动轴(25)平行设置,所述从动轴(25)的一端和主动轴(27)之间套接有同一个皮带(24),多个所述主动轴(27)的另一端均安装有齿轮(26),所述电动伸缩杆(22)竖直安装于设备箱(20)内底部,所述电动伸缩杆(22)的伸缩端顶端竖直安装有齿条(21),多个所述齿轮(26)均与齿条(21)啮合。
2.根据权利要求1所述的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,其特征在于,所述加热室(16)和冷凝室(17)并排设置,所述储水室(11)和沉降室(15)并排设置,所述冷凝室(17)和沉降室(15)靠近车间本体(1)外部一侧,所述储水室(11)和沉降室(15)整体、过滤室(9)与加热室(16)和冷凝室(17)整体依次设置。
3.根据权利要求2所述的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,其特征在于,所述喷水机构包括喷头(28),所述储水室(11)内底部安装有水泵(19),所述水泵(19)的出水口连通有喷水管(12),所述喷水管(12)另一端从侧面顶部伸入沉降室(15)内部,所述喷头(28)设有多个,多个所述喷头(28)均匀的安装于喷水管(12)另一端的底部。
4.根据权利要求1所述的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,其特征在于,所述抽风机构包括第二抽风机(14),所述第二抽风机(14)安装于沉降室(15)外部一侧的中部,所述第二抽风机(14)的出风口和沉降室(15)之间通过出风管连通,所述过滤机构包括滤网(10),所述过滤室(9)内插接有安装架,所述滤网(10)安装于安装架上,所述滤网(10)设有多个并平行设置。
5.根据权利要求1所述的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,其特征在于,所述加热机构包括加热管(8),所述加热管(8)设有多个,多个所述加热管(8)均匀的水平安装于加热室(16)内部,所述冷凝机构包括冷凝器(18),所述冷凝器(18)安装于冷凝室(17)的内底部,所述冷凝器(18)的进风口和过滤室(9)连通,所述冷凝器(18)的出风口和处理箱(7)和车间本体(1)内部连通。
6.根据权利要求2所述的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,其特征在于,所述沉降室(15)和过滤室(9)之间、过滤室(9)与加热室(16)和冷凝室(17)之间、过滤室(9)和车间本体(1)之间均通过阀门连通。
7.根据权利要求1所述的一种设有空气净化机构的单晶硅生产用智能化车间,其特征在于,所述冷凝室(17)靠近车间本体(1)外部的一侧和冷凝室(17)的顶部均贯穿有散热片(6),所述散热片(6)均伸出车间本体(1)内部,所述散热片(6)设有多个。
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