CN114026407A - 分光测定器 - Google Patents

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Abstract

具有:衍射机构(504),使从入射部(401)、(501)入射的被测定光(820)衍射;主传感器(506),接收被衍射机构(504)衍射的被测定光;1个或多个辅助传感器(A)~(C),配置在从入射部入射的光束中的、没有到达主传感器(506)的光束的光路中,接收该光;校正机构(700),基于辅助传感器的输出值,校正主传感器的输出值。

Description

分光测定器
技术领域
本发明涉及一种分光测定器,用于测定光源的亮度或色度、物体的分光反射率或色值等。
背景技术
作为上述的分光测定器,以往已知的装置其构成为:将来自光源等测定区域的被测定光通过物镜、孔径光阑、聚光中继透镜等光学***引导至作为入射部的入射狭缝,通过衍射光栅等衍射机构使从入射狭缝入射的被测定光衍射分光,通过受光传感器接收衍射的光并得到测定值。此外,还有一种已知的装置其构成上具备光纤束,该光纤束代替入射狭缝或与入射狭缝共同将被聚光中继透镜会聚的被测定光引导至入射位置(例如,参见专利文献1和2)。
在这种分光测定器中,受光传感器本身的精度可能会因测定环境的变化或老化而发生变化。另外,有时在从入射狭缝或光纤束等入射部起直到接收入射的被测定光的受光传感器为止的路径上,配置光学***部件,在光学***部件的透射率因环境条件或老化等而发生变化的情况下,也不能进行高精度的测定。下面将对光学***部件进行说明。
作为光学***部件,能够列举出ND滤光器、液晶快门、扩散板等减光部材,或者,阻断测定波长范围(例如,380~780nm)以外的波段的红外光截止滤光器或紫外光截止滤光器等滤光器。此外,ND滤光器包括将金属膜(例如,铬)气相沉积在玻璃基板上的ND滤光器、或者具有干涉膜的ND滤光器、颜色吸收滤光器等。
上述减光部材用于实现具有宽动态范围的测定。即,当分光测定器为亮度计,且受光传感器的动态范围窄于亮度计的亮度测定范围的情况下,根据被测定物的亮度,自动或手动地将减光部材***光路或从光路退出,控制受光强度,从而实现宽动态范围的测定。
具体地,在进行亮度范围为0.0005~100000cd/m2的测定的情况下,如果受光传感器是普通的硅传感器,动态范围约为500万倍程度,因此能够在没有减光部材时进行0.0005~250cd/m2的亮度范围的测定,在有减光部材时,例如将1片透射率为5%的ND滤光器配置在光路上则能够进行~5000cd/m2的测定,将2片透射率为5%的ND滤光器(5%×5%=0.25%的透射率)配置在光路上则能够进行~100000cd/m2的测定。
但是,有时减光部材其透射率因使用环境温度会发生变化,或者因保管环境高温高湿、暴露于光中等而老化,因而不能进行高精度的测定。例如,如果透射率5%的减光部材的透射率的绝对值变化仅0.1%,则受光数据的相对值会发生2%的误差。
此外,金属气相沉积膜的ND滤光器具有如下特征,即、透射率因膜的氧化而随时间变高。干涉膜的ND滤光器其透射率取决于其相对于光路的倾斜,通过反复地驱动其在光路中进退或调整测定器相对于光路的姿势方向,滤光器的倾斜会变化,因此,透射率变动大。吸收型的色滤光器、液晶快门、扩散板等的透射率随环境温度变化大,而且每个波长的透射率变化也不同,这也会影响色度值。
不仅是减光部材就连滤光器其透射率也容易随环境温度而变化,依然存在不能进行高精度测定的情况。
如上所述,存在如下课题,即、在受光传感器本身的精度因测定环境的变化或老化而发生变化的情况下,不能进行高精度测定。另外,也存在如下课题,即、在从入射狭缝或光纤束等入射部起直到接收入射的被测定光的受光传感器为止的路径上,介装有光学***部件的情况下,如果光学***部件的透射率因环境条件或老化而发生变化,则不能进行高精度测定。
此外,专利文献2公开了一种有效活用0阶衍射光的分光测定器,具备:衍射机构,其分光被测定光;第一光电转换元件,其接收来自衍射机构的0阶衍射光;以及第二光电转换元件,其接收来自衍射机构的高阶衍射光,其中,基于由第一光电转换元件光电转换的0阶衍射光的受光输出控制第二光电转换元件的积分时间。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2001-264166号公报
专利文献2:日本特开2004-37282号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是,专利文献2中所述的分光测定器是基于0阶衍射光的受光输出控制受光传感器的积分时间,不是对受光传感器的输出值进行校正。因此,没有提供如下课题的解决方案,该课题为:当受光传感器本身的精度变化时,或者当在从入射狭缝或光纤束等入射部起直到接收入射的被测定光的受光传感器为止的路径上介装的光学***部件的透射率因环境条件或老化而发生变化时,不能进行高精度的测定。
本发明是鉴于这样的技术背景而提出的,其目的在于提供一种分光测定器,该分光测定器无论是在受光传感器本身的精度变化时,还是在从入射狭缝或光纤束等入射部起直到接收入射的被测定光的受光传感器为止的路径上介装的光学***部件的透射率因环境条件或老化而发生变化时,都能够进行高精度的测定。
用于解决课题的手段
上述目的是通过以下方式实现的。
(1)一种分光测定器,具有:衍射机构,使从入射部入射的被测定光衍射;主传感器,接收被所述衍射机构衍射的被测定光;一个或多个辅助传感器,配置在从所述入射部入射的光束中的、没有到达所述主传感器的光束的光路,接收该光束;以及校正机构,根据所述辅助传感器的输出值,校正所述主传感器的输出值。
(2)如前项1所述的分光测定器,所述校正机构校正所述主传感器的输出值,以使根据所述主传感器的输出值计算而得的受光强度值与根据所述辅助传感器的输出值计算而得的受光强度值变为相同。
(3)如前项1或2所述的分光测定器,具有:受光光量调整部材,用于调整所述主传感器的受光光量。
(4)如前项3所述的分光测定器,所述受光光量调整部材是以相对于所述被测定光的光路能够***并退出的方式被配置的减光部材。
(5)如前项3或4所述的分光测定器,在所述受光光量调整部材的前方配置了所述辅助传感器,所述校正机构同时取得所述主传感器和所述辅助传感器的输出值,校正所述主传感器的输出值。
(6)如前项4所述的分光测定器,在所述减光部材的后方配置了第1辅助传感器,所述校正机构,在所述减光部材向光路***的状态下,取得所述主传感器的输出值,在所述减光部材从光路退出的状态下,取得所述第1辅助传感器的输出值,校正所述主传感器的输出值。
(7)如前项6所述的分光测定器,在所述减光部材的前方配置了第2辅助传感器,所述校正机构,在所述主传感器的输出值的取得时和所述第1辅助传感器的输出值的取得时的各个定时取得所述第2辅助传感器的输出值,根据取得的所述第2辅助传感器的输出值之比算出时间上的光量变化率,根据算出的所述光量变化率,校正时间上的光量变化。
(8)如前项3或4所述的分光测定器,在所述受光光量调整部材的前方配置了第1辅助传感器,在所述受光光量调整部材的后方配置了第2辅助传感器;所述校正机构,同时取得所述主传感器、第1辅助传感器以及第2辅助传感器的输出值,并基于取得的所述第1辅助传感器以及第2辅助传感器的输出值比相对于参考值的变化率,校正所述主传感器的输出值。
(9)如前项4所述的分光测定器,在所述减光部材的后方配置了第1辅助传感器,所述校正机构,在所述减光部材向光路***的状态下,同时取得所述主传感器的输出值和所述第1辅助传感器的输出值,在所述减光部材从光路退出的状态下,取得所述第1辅助传感器的输出值,基于取得的所述第1辅助传感器的各个输出值之比,校正所述主传感器的输出值。
(10)如前项9所述的分光测定器,在所述减光部材的前方配置了第2
辅助传感器,所述校正机构,在与所述第1辅助传感器的输出值的取得定时相同的定时2次取得所述第2辅助传感器的输出值,根据取得的所述第2辅助传感器的2次输出值之比算出时间上的光量变化率,根据算出的所述光量变化率校正时间上的光量变化。
(11)如前项1~10中任一项所述的分光测定器,所述辅助传感器接收从所述入射部入射的光束中没有照射到所述衍射光栅的光束。
(12)如前项1~10中任一项所述的分光测定器,所述辅助传感器接收衍射0阶光。
(13)如前项1~12中任一项所述的分光测定器,所述辅助传感器是各自可受光光量范围不同的多个辅助传感器。
(14)如前项1~13所述的分光测定器,具有控制所述辅助传感器的受光光量的孔径光阑。
(15)如前项1~13所述的分光测定器,具有控制所述辅助传感器的受光光量的滤光器。
(16)如前项1~15所述的分光测定器,所述辅助传感器具有受光灵敏度为标准发光亮度的滤光器。
发明效果
根据前项(1)所述的发明,主传感器接收从入射部入射的、被衍射机构衍射的被测定光。具有配置在从所述入射部入射的光束中的、没有到达所述主传感器的光束的光路中并接收该光束的一个或多个辅助传感器,基于辅助传感器的输出值校正主传感器的输出值。因此,无论是当作为受光传感器的主传感器本身的精度变化时,还是当从入射狭缝或光纤束等的入射部起直到接收入射的被测定光的受光传感器为止的路径上介装的光学***部件的透射率因环境条件或老化而发生变化时,都能够对主传感器的精度变化、或光学***部件的透射率的变化进行补偿,能够进行高精度的测定。此外,由于辅助传感器配置在没有到达主传感器的光束的光路中,因此,能够在不影响主传感器的测定的情况下,对主传感器的输出值进行校正。
根据前项(2)所述的发明,校正主传感器的输出值,以使根据主传感器的输出值计算出的受光强度值与根据辅助传感器的输出值计算出的受光强度值变为相同,因此,能够可靠地补偿主传感器的精度变化、光学***部件的透射率的变化。
根据前项(3)所述的发明,即使用于调整主传感器的受光光量的受光光量调整部材的透射率等变化时,也能够基于辅助传感器的输出值校正主传感器的输出值,因此,能够进行高精度的测定。
根据前项(4)所述的发明,即使相对于被测定光的光路能够***并退出地配置的减光部材的透射率等变化时,也能够基于辅助传感器的输出值校正主传感器的输出值,因此,能够进行高精度的测定。
根据前项(5)所述的发明,可以一并校正受光光量调整部材的透射率变化或主传感器的精度变化。
根据前项(6)所述的发明,可以一并校正减光部件的透射率变化或主传感器的精度变化。这在减光部件的前方不能确保用于配置辅助传感器的空间时特别有效。
根据前项(7)所述的发明,除了前项(6)的效果,还能够对因主传感器的输出值的取得时和第1辅助传感器的输出值的取得时的定时不同引起的时间上的光量变化进行校正,从而进行更高精度的测定。
根据前项(8)所述的发明,能够对因受光光量调整部材的环境条件或老化等引起的透射率变化进行补偿,可以进行高精度的测定。
根据前项(9)所述的发明,能够对受光光量调整部材的环境条件或老化等引起的透射率变化进行补偿,能够进行高精度的测定。这在减光部件的前方不能确保用于配置辅助传感器的空间时特别有效。
根据前项(10)所述的发明,除了前项(9)的效果,还能够对因主传感器的输出值的取得时和第1辅助传感器的输出值的取得时的定时不同引起的时间上的光量变化进行校正,从而进行更高精度的测定。
根据前项(11)所述的发明,通过位于接收入射狭缝的通过光束中没有照射到衍射光栅的光束的位置处的辅助传感器,能够校正主传感器的输出值。
根据前项(12)所述的发明,基于接收衍射0阶光的辅助传感器的输出,能够校正主传感器的输出值。
根据前项(13)所述的发明,由于辅助传感器是是各自可受光光量范围不同的多个辅助传感器,因此可以确保相对于测定器度数范围的动态范围。
根据前项(14)所述的发明,能够通过孔径光阑对辅助传感器的受光光量进行控制。
根据前项(15)所述的发明,能够通过滤光器对辅助传感器的受光光量进行控制。
根据前项(16)所述的发明,使基于辅助传感器的输出值计算被测定物的亮度的计算变得简单。
附图说明
图1是示出了本发明的一个实施方式所涉及的分光测定器的基本结构的一例的图。
图2是示出了图1的分光测定器中的分光部的详细结构的图。
图3是图2的分光部中从光阑的前侧观察衍射光栅得到的示意图。
图4是图2的分光部的平面图。
图5是示出了第一实施方式所涉及的校正处理时辅助传感器的配置例的图。
图6是示出了第一实施方式所涉及的校正处理的流程图的图。
图7是示出了第二实施方式所涉及的校正处理时辅助传感器的配置例的图。
图8是示出了第二实施方式所涉及的校正处理的流程图的图。
图9是示出了第三实施方式所涉及的校正处理时辅助传感器的配置例的图。
图10是示出了第三实施方式所涉及的校正处理的流程图的图。
图11是示出了第四实施方式所涉及的校正处理时辅助传感器的配置例的图。
图12是示出了第四实施方式所涉及的校正处理的流程图的图。
图13是示出了第五实施方式所涉及的校正处理时辅助传感器的配置例的图。
图14是示出了第五实施方式所涉及的校正处理的流程图的图。
图15是示出了第六实施方式所涉及的校正处理时辅助传感器的配置例的图。
图16是示出了第六实施方式所涉及的校正处理的流程图的图。
图17是示出了第七实施方式所涉及的校正处理时辅助传感器的配置例的图。
图18是示出了第七实施方式所涉及的校正处理的流程图的图。
图19是示出了第八实施方式所涉及的校正处理时辅助传感器的配置例的图。
图20是示出了第八实施方式所涉及的校正处理的流程图的图。
具体实施方式
以下,结合附图说明本发明的实施方式。
图1是示出了作为本发明的一实施方式所涉及的分光测定器的分光光度计的基本结构的图。如图1所示,分光测定器1包括受光光学***100、观察光学***200、测定光学***300、处理电路600和校正部700,测定光学***300还包括导光部400和分光部500。
受光光学***100接收来自作为光源的被测定物2的光束3,并引导至测定光学***300的导光部400和观察光学***200,具有会聚来自被测定物2的光束3的物镜101、配置在物镜101的后方(光束3的行进方向的前方)用于控制测定光量的孔径光阑102、以及配置在孔径光阑102后方的孔径反射镜103。
孔径反射镜103配置在光束3向导光部400入射的光路中,是具有供被物镜101会聚的光束3通过的孔径的反射镜。来自物镜101的光束中的、来自被测定物2的测光区域的光束通过孔径反射镜103的所述孔径直接进入后级的导光部400,而测光区域外的光束被孔径反射镜103反射并通过包括观察光学***200内的反射镜201和观察中继透镜202的透镜组被引导至用户的瞳孔。用户从观察光学***200视觉识别被测定物2和指标圆(没有被孔径反射镜反射并且在用户看来是黑色的区域),并进行测定对位和调焦。调焦是通过移动物镜101的全部或部分透镜组,将焦点对准在孔径反射镜位置上。即使孔径光阑102也进行调焦,测定光的孔径角(F数)也不会改变。此外,孔径反射镜103的孔尺寸也可以构成为能够手动或自动调节。通过调节孔尺寸可以改变测定角(测定尺寸)。
测定光学***300中的导光部400具有会聚通过孔径反射镜103的孔径部的光束的聚光透镜401、以及将通过聚光透镜401的光束引导至分光部500的入射狭缝501的光纤束402,在本实施方式中,光纤束402的出口和入射狭缝501作为入射部共用。或者,也可以仅是光纤束402和入射狭缝501的至少其中之一作为入射部。
测定光学***300中的分光部500,具有:准直透镜502,其使从入射狭缝501入射的光束近似平行光;光阑503(如图2-4所示),其配置于来自准直透镜502的平行光的后侧且具有矩形孔径部503a;衍射光栅504,使通过光阑503的孔径部503a的平行光衍射;成像透镜505;作为受光传感器的主传感器506;2阶光截止滤光器507,其配置在主传感器506的一部分前方;以及其他。
光阑503根据衍射光栅504的尺寸限制来自准直透镜502的平行光的光量,成像透镜505使被衍射光栅504波长分散了的光线成像在主传感器506上。光阑503耐环境变化、老化,因此可靠性高,并且不依赖于光的波长或倾斜度(光线入射角度)等。
主传感器506包括但不限于线性传感器,可以接收例如波长范围为380~780nm的光。
在本实施方式中,在准直透镜502和光阑503之间的光路上介装配置了其他光学***部件。在本实施方式中,作为光学***部件,配置了作为受光光量调整部材之一的滤光器例如用于阻断红外光的红外光截止滤光器510,以及在红外光截止滤光器510后方配置了同是作为受光光量调整部材之一的减光部材520。此外,可以仅配置红外光截止滤光器510和减光部材520中的一个,或者可以不配置两者。此外,减光部材520可以是一个,也可以是多个同时配置在光路中。
减光部材520用于实现具有宽动态范围的测定,如背景技术中所述,由ND滤光器、液晶快门、扩散板等构成。减光部材520由驱动部521驱动,使其能够***光路中并能够退出,仅当需要时才将其***光路中以允许来自准直透镜502的被测定光通过。
另一方面,当使用红外光截止滤光器510时,其被固定在固定位置且不能像减光部材520那样***和退出。因此,不会发生在减光部材520中有时出现的反复倾斜的问题。可以使用固定式的减光部材520。
进一步地,在本实施方式中,如图2所示,分光部500上设置有一个或多个由受光传感器组成的辅助传感器A、B、C。在以下描述中,根据辅助传感器的配置位置将一个或多个传感器统称为辅助传感器A、辅助传感器B、辅助传感器C。当需要提及多个辅助传感器时,将之称为辅助传感器A1~An、辅助传感器B1~Bn和辅助传感器C1~Cn。
对于这些辅助传感器A、B、C,使用了高可靠性的传感器,例如耐环境温度变化和老化的硅光电二极管(SPD)。这些辅助传感器A、B、C用于基于辅助传感器的输出值校正主传感器506的输出值,配置在与从导光部400入射到分光部500且被主传感器506接收的被测定光具有同样条件的、但没有到达主传感器506的光束的光路上。
例如,在图2所示的例子中,一个或多个辅助传感器A配置在准直透镜502和红外光截止滤光器510之间,一个或多个辅助传感器B配置在减光部材520和光阑503之间。入射到分光部500的光束被准直透镜502平行化并照射到衍射光栅504,然而,由于衍射光栅504相对于准直透镜502的光轴倾斜,准直透镜502的通过光810中,仅通过光阑503的孔径部503a的一部分光束作为被测定光820照射到光阑衍射光栅504,如图3和图4所示,偏离衍射光栅表面的光束被光阑503遮挡,没有到达主传感器506。辅助传感器A、B被配置在能够接收被光阑503遮挡的光束的位置处,即被配置在能够接收未被主传感器506用于测定而被浪费的光束的位置处。
此外,如图2和图4所示,一个或多个辅助传感器C可以配置在能够接收由衍射光栅504衍射的衍射0阶光840的位置处。主传感器506的受光数据(衍射-1阶光830)和衍射0阶光840是被衍射光栅504阶数***(order splitting)而得的,是相同条件下的光束(依存于被测定物2的特性相同)。衍射-1阶光830作为分光数据被取得,但其他阶数不用于测定。换言之,辅助传感器C接收被遮挡而浪费的光束。衍射0阶光840具有测定波长范围为380~780nm的整个波长的信息,也具有较强的光强度。
此外,如图2和图4所示,图中示出了三处辅助传感器A、B、C的配置位置,但是,如后述的实施方式,不必将其配置在全部位置,可以与校正处理相应地将其配置在所需位置上即可。
例如,当一个辅助传感器A、B、C相对于由主传感器506的测定亮度范围具有不足的动态范围时,可以使用多个辅助传感器A1~An、B1~Bn和C1~Cn,由各辅助传感器分担动态范围。在图2所示的例子中,在准直透镜502和红外光截止滤光器510之间以及减光部材520和光阑503之间的各位置处,各自多个的辅助传感器A1~An、B1~Bn分别配置在被测定光820的光路周围。此外,可以是这些辅助传感器A1~An和B1~Bn中的至少一个与在能够接收衍射0阶光840的位置处的辅助传感器C1~Cn的组合。
另外,为了控制每个辅助传感器A、B、C的受光量,如图2所示,机械光阑部材530或滤光器(未示出)可以配置在辅助传感器A、B、C的前级。
图1所示的处理电路600是对主传感器506的受光数据、辅助传感器A、B、C的受光数据进行AD转换等的电路,校正部700根据辅助传感器A、B、C的输出值校正主传感器506的输出值。以使得根据主传感器506的输出值计算出的受光强度值与根据辅助传感器A、B、C的输出值计算出的受光强度值相同的方式进行校正。
接下来,说明由校正部700执行的基于辅助传感器A、B、C的输出值对主传感器506的输出值的具体校正处理。
[实施方式1]
在本实施方式中,如图5所示,在红外光截止滤光器510的前方,换言之,在准直透镜502与红外光截止滤光器510之间,配置辅助传感器A。不限定减光部材520是否存在,在本实施方式中设为不存在。可以使用一个辅助传感器A,也可以如本实施方式那样使用与动态范围对应的多个辅助传感器A1~An。辅助传感器A1~An均装备滤光器,设置受光灵敏度为标准发光亮度(Vλ),以便于计算。灵敏度可以是标准发光亮度(Vλ)之外的灵敏度,可以不装备滤光器。还具有辅助传感器A的受光值和亮度值(Lv)的表。
在本实施方式中,通过作为辅助传感器A1~An之一的辅助传感器Ax取得亮度的绝对值并校正主传感器506的输出值的水平。辅助传感器Ax和主传感器506同时接收并测定光束。
图6示出了测定过程的流程图。
当测定开始时,作为事前测定,在步骤S101中,通过处理电路600对多个辅助传感器A1~An的受光数据进行AD转换并取得测定数据(受光数据)。然后,在步骤S102中,从多个辅助传感器A1~An中选择灵敏度最佳的辅助传感器Ax,根据辅助传感器Ax的输出值算出被测定物2的亮度估算值(Lv0)。通过从辅助传感器Ax的输出值和亮度值(Lv)的表获得与辅助传感器Ax的输出值对应的亮度值,算出亮度估算值(Lv0)。此外,根据算出的亮度估算值(Lv0)的值,从辅助传感器A1~An中确定要在正式测定中使用的辅助传感器Ax。通常,所选的辅助传感器Ax也用于正式测定。此外,确定正式测定中的主传感器506和辅助传感器Ax的测定时间(累积时间)。
接着,在步骤S103中进行正式测定。具体地,同时取得主传感器506的输出值和辅助传感器Ax的输出值。
接下来,执行以下校正计算处理。首先,在步骤S104中,根据辅助传感器Ax的输出值算出被测定物的亮度(Lv1)。根据辅助传感器Ax的输出值和亮度值的表进行计算。
接着,在步骤S105中,根据主传感器506的输出值算出分光辐射亮度数据。分光辐射亮度数据的横轴根据像素和波长的表算出,纵轴根据输出值和分光辐射亮度的表算出。然后,根据算出的分光辐射亮度数据算出亮度(Lv2)。
在步骤S106中,根据步骤S104中算出的亮度(Lv1)和步骤S105中算出的亮度(Lv2)算出校正系数=Lv1÷Lv2,然后,在步骤S107中,使用校正系数遍历全波长校正(乘以校正系数)分光辐射亮度数据。然后,在步骤S108中,将校正后的分光辐射亮度数据输出到显示装置等。
如上所述,在本实施方式中,基于配置在红外光截止滤光器510前方的辅助传感器Ax的输出值来校正主传感器506的输出值,因此,无论是存在于辅助传感器506后方的红外光截止滤光器510的透射率因环境条件或老化等而发生变化,还是主传感器506的精度发生变化,也可以适当地进行校正,进行高精度的测定。此外,由于辅助传感器A配置在没有到达主传感器506的光束的光路中,因此,能够在不影响主传感器506的测定的情况下,对主传感器506的输出值进行校正。
当不存在红外光截止滤光器510并且具备固定的减光部材520时,或者当固定的减光部材520配置在红外光截止滤光器510后方时,都可以应用第一实施方式。当存在减光部材520时,则减光部材520的透射率也一并被补偿。
[实施方式2]
在本实施方式中,如图7所示,辅助传感器A配置在减光部材520的前方,该减光部材520以相对于被测定光820的光路能够***并退出的方式被驱动。可以使用一个辅助传感器A,也可以如本实施方式那样使用与动态范围对应的多个辅助传感器A1~An。不限定红外光截止滤光器510是否存在,在本实施方式中设为不存在。辅助传感器A装备滤光器,设置受光灵敏度为标准发光亮度(Vλ),以便于计算。灵敏度可以是标准发光亮度(Vλ)之外的灵敏度,可以不装备滤光器。还具有辅助传感器A的受光值和亮度值(Lv)的表。
在本实施方式中,与第一实施方式同样,通过辅助传感器A取得亮度的绝对值并校正主传感器的输出值的水平。通过辅助传感器A和主传感器506同时接收并测定光束。
图8示出了测定过程的流程图。
当测定开始时,在使减光部材520从被测定光820的光路退出的状态下执行事前测定。即,在步骤S201中,通过处理电路600对多个辅助传感器A1~An的受光数据进行AD转换并取得测定数据。然后,在步骤S202中,从多个辅助传感器A1~An中选择灵敏度最佳的辅助传感器Ax,根据辅助传感器Ax的输出值算出被测定物2的亮度估算值(Lv0)。通过从辅助传感器Ax的输出值和亮度值(Lv)的表获得与辅助传感器Ax的输出值对应的亮度值,算出亮度估算值(Lv0)。此外,根据算出的亮度估算值(Lv0)的值,确定正式测定中是否使用减光部材520以及使用时的数量,并且从辅助传感器A1~An中确定要在正式测定中使用的辅助传感器Ax。通常,所选的辅助传感器Ax也用于正式测定。此外,确定正式测定中的主传感器506和辅助传感器Ax的测定时间(累积时间)。
接下来,进行正式测定。在确定不使用减光部材520时,保持减光部材520从光路退出,进入步骤S204。在确定使用减光部材520时,在步骤S203中将所确定的数量的减光部材520***光路中,然后,进入步骤S204。
在步骤S204中,同时取得主传感器506的输出值和辅助传感器Ax的输出值。
接下来,执行步骤S205~S208的校正计算处理和步骤S209的结果输出处理,但是,由于这些处理与第一实施方式中描述的图6中的步骤S104~S107的校正计算处理与步骤S108的结果输出处理相同,因此,不再赘述。
如上所述,在本实施方式中,当减光部材520没有***被测定光820的光路中时,能够补偿主传感器506的精度变化等,当减光部材520***光路中时,除了能够补偿主传感器506的精度变化之外,还能够补偿减光部材520的透射率变化等,能够执行高精度测定。当红外线截止滤光器510存在于辅助传感器Ax之后时,可以一同补偿红外线截止滤光器510的透射率变化等和减光部材520的透射率变化等。
[实施方式3]
在本实施方式中,如图9所示,关于在被驱动以相对于被测定光820的光路能够***并退出的减光部材520的后方,换言之,在减光部材520和光阑503之间,配置辅助传感器B,或者配置接收衍射0阶光840的辅助传感器C,本例使用的是辅助传感器B。可以使用一个辅助传感器B,也可以如本实施方式那样使用与动态范围对应的多个辅助传感器B1~Bn。不限定红外光截止滤光器510是否存在,在本实施方式中设为不存在。辅助传感器B装备滤光器,设置受光灵敏度为标准发光亮度(Vλ),以便于计算。此外,灵敏度可以是标准发光亮度(Vλ)之外的灵敏度,可以不装备滤光器。还有辅助传感器B的受光值和亮度值(Lv)的表。
在本实施方式中,与第一实施方式同样,通过辅助传感器B取得亮度的绝对值并校正主传感器506的输出值的水平。当使用减光部材520时,在将减光部材520***到被测定光820的光路的状态下,取得主传感器506的输出值,在减光部材520从光路退出的状态下,取得辅助传感器B的输出值。
图10示出了测定过程的流程图。
当测定开始时,在使减光部材520从被测定光820的光路退出的状态下执行事前测定。即,在步骤S301中,通过处理电路600对多个辅助传感器B1~Bn的受光数据进行AD转换,取得测定数据。然后,在步骤S302中,从多个辅助传感器B1~Bn中选择灵敏度最佳的辅助传感器Bx,根据辅助传感器Bx的输出值算出被测定物2的亮度估算值(Lv0)。通过从辅助传感器Bx的输出值和亮度值(Lv)的表获得与辅助传感器Bx的输出值对应的亮度值,算出亮度估算值(Lv0)。此外,根据算出的亮度估算值(Lv0)的值,确定正式测定中是否使用减光部材520以及使用时的数量,并且从辅助传感器B1~Bn中确定要在正式测定中使用的辅助传感器Bx。通常,所选的辅助传感器Bx也用于正式测定。此外,确定正式测定中的主传感器506和辅助传感器Bx的测定时间(累积时间)。
接着,进行正式测定。在确定不使用减光部材520时,保持减光部材520从光路退出,在步骤S303中,同时取得主传感器506的输出值和辅助传感器Bx的输出值后,进入步骤S308。在确定使用减光部材520时,在步骤S304中,将所确定的数量的减光部材520***被测定光820的光路中,然后,在步骤S305中取得主传感器506的输出值。接着,在步骤S306中,使减光部材520从光路退出后,在步骤S307中,取得辅助传感器Bx的输出值,进入步骤S308。
接下来,执行步骤S308~S311的校正计算处理和步骤S312的结果输出处理,但是,除了在步骤S308中使用辅助传感器Bx的输出值算出被测定物2的亮度(Lv1)之外,这些处理与第一实施方式中描述的图7中的步骤S104~S107的校正计算处理和步骤S108的结果输出处理相同,因此,不再赘述。
如上,在本实施方式中,根据在将辅助传感器B配置在减光部材520的后方且减光部材520从被测定光820的光路退出的状态下取得的辅助传感器B的输出值,校正在减光部材520***光路的状态下取得的主传感器506的输出值,因此,能够补偿减光部材520的透射率变化和主传感器506的精度变化等,能够执行高精度测定。此外,当红外光截止滤光器510存在时,可以包括红外光截止滤光器510的透射率变化等进行补偿。
[实施方式4]
在本实施方式中,如图11所示,关于在被驱动以相对于被测定光820的光路能够***并退出的减光部材520的后方,换言之,在减光部材520和光阑503之间,配置辅助传感器B,或者配置接收衍射0阶光840的辅助传感器C,本例使用的是接收衍射0阶光840的辅助传感器C。可以使用一个辅助传感器C,也可以如本实施方式使用与动态范围对应的多个辅助传感器C1~Cn。另外,还使用一个或多个配置于减光部材520前方的辅助传感器A。不限定红外光截止滤光器510是否存在,在本实施方式中设为不存在。各辅助传感器C1~Cn、A装备滤光器,设置受光灵敏度为标准发光亮度(Vλ),以便于计算。此外,灵敏度可以是标准发光亮度(Vλ)之外的灵敏度,可以不装备滤光器。还具有辅助传感器C的受光值和亮度值(Lv)的表。
在本实施方式中,与第一实施方式同样,通过辅助传感器C取得亮度的绝对值并校正主传感器506的输出值的水平。此外,通过辅助传感器A校正时间变化。
图12示出了测定过程的流程图。
当测定开始时,在使减光部材520从被测定光820的光路退出的状态下执行事前测定。即,在步骤S401中,通过处理电路600对多个辅助传感器C1~Cn的受光数据进行AD转换,取得测定数据。然后,在步骤S402中,从多个辅助传感器C1~Cn中选择灵敏度最佳的辅助传感器Cx,根据辅助传感器Cx的输出值算出被测定物2的亮度估算值(Lv0)。通过从辅助传感器Cx的输出值和亮度值(Lv)的表中获得与辅助传感器Cx的输出值对应的亮度值,算出亮度估算值(Lv0)。此外,根据算出的亮度估算值(Lv0)的值,确定正式测定中是否使用减光部材520以及使用时的数量,并且从辅助传感器A1~An中确定要在正式测定中使用的辅助传感器Ax,从辅助传感器C1~Cn中确定辅助传感器Cx。通常,所选的辅助传感器Cx也用于正式测定。进而,确定正式测定中的主传感器506、辅助传感器Ax以及辅助传感器Cx的测定时间(累积时间)。
接着,进行正式测定。在确定不使用减光部材520时,保持减光部材520从被测定光820的光路退出,在步骤S403中,同时取得主传感器506的输出值和辅助传感器Cx的输出值后,进入步骤S408。在确定使用减光部材520时,在步骤S404中,将所确定的数量的减光部材520***光路中,然后,在步骤S405中同时取得主传感器506的输出值和辅助传感器Ax的输出值a1。接着,在步骤S406中,使减光部材520从光路退出后,在步骤S407中同时取得辅助传感器Ax的输出值a2和辅助传感器Cx的输出值b,进入步骤S408。
接下来,执行以下校正计算处理。首先,在步骤S408中,根据辅助传感器Cx的输出值算出被测定物的亮度(Lv1)。根据辅助传感器Cx的输出值和亮度值的表进行计算。
接下来,当不使用减光部材520时,进入步骤S411。另一方面,当使用减光部材520时,在步骤S409中,根据辅助传感器的输出值a1和a2算出作为输出值a1和a2之比的时间差系数,在步骤S410中,计算出Lv1'=Lv1×时间差系数之后,进入步骤S411。
在步骤S411中,根据主传感器506的输出值算出分光辐射亮度数据,并且根据算出的分光辐射亮度数据算出亮度(Lv2)。
接着,当不使用减光部材520时,在步骤S412中,算出校正系数=Lv1÷Lv2,然后,进入步骤S414。另一方面,当使用减光部材520时,在步骤S413中,算出校正系数=Lv1'÷Lv2,然后,进入步骤S414。
在步骤S414中,使用各个校正系数遍历全波长校正分光辐射亮度数据。然后,在步骤S415中,输出校正后的分光辐射亮度数据。
如上所述,在本实施方式中,根据在减光部材520从被测定光820的光路退出的状态下取得的辅助传感器Cx的输出值,校正在减光部材520***光路的状态下取得的主传感器506的输出值,并且,针对因辅助传感器Cx的取得定时与主传感器506的输出值的取得定时之间的差异导致的光量变化,可通过作为在各个定时测定的辅助传感器Ax的输出值a1和a2之比的时间差系数(时间上的光量变化率)进行校正,因此能够执行更高精度的测定。此外,当红外线截止滤光器510存在于辅助传感器Ax后方时,可以一同补偿红外线截止滤光器510的透射率变化等和减光部材520的透射率变化等。
[实施方式5]
在本实施方式中,如图13所示,在准直透镜502和红外光截止滤光器510之间配置辅助传感器A,在红外光截止滤光器510的后方配置一个辅助传感器B。不限定减光部材520是否存在,在本实施方式中设为不存在。可以使用一个辅助传感器A,也可以如本实施方式使用与动态范围对应的多个辅助传感器A1~An。由于后方的辅助传感器B已经通过减光部材520,所以设置适当光量进行使用。此外,可以使用接收衍射0阶光的1个辅助传感器C代替辅助传感器B。
辅助传感器A1~An均装备滤光器,设置受光灵敏度为标准发光亮度(Vλ),以便于计算。此外,灵敏度可以是标准发光亮度(Vλ)之外的灵敏度,可以不装备滤光器。还具有辅助传感器A的受光值和亮度值(Lv)的表。此外,在出厂时,辅助传感器A和辅助传感器B(当使用辅助传感器C时为辅助传感器C)的输出值比的参考值(称为参考的辅助传感器比)被存储。
本实施方式中,根据红外光截止滤光器510的前方的辅助传感器A1~An和后方的辅助传感器B的参考的辅助传感器比,补偿出厂后红外光截止滤光器510的透射率的变化。
图14示出了测定过程的流程图。
当测定开始时,作为事前测定,在步骤S501中,通过处理电路600对多个辅助传感器A1~An的受光数据进行AD转换,取得测定数据。然后,在步骤S502中,从多个辅助传感器A1~An中选择灵敏度最佳的辅助传感器Ax,根据辅助传感器Ax的输出值算出被测定物2的亮度估算值(Lv0)。通过从辅助传感器Ax的输出值和亮度值(Lv)的表获得与辅助传感器Ax的输出值对应的亮度值,算出亮度估算值(Lv0)。此外,根据算出的亮度估算值(Lv0)的值,从辅助传感器A1~An中确定要在正式测定中使用的辅助传感器Ax。通常,所选的辅助传感器Ax也用于正式测定。此外,确定正式测定中的主传感器506、辅助传感器Ax以及辅助传感器B的测定时间(累积时间)。
接着,在步骤S503中进行正式测定。具体地,同时取得主传感器506、辅助传感器Ax以及辅助传感器B的各输出值。
接下来,执行以下校正计算处理。首先,在步骤S504中,算出辅助传感器比=辅助传感器B的输出值÷辅助传感器Ax的输出值,然后,在步骤S505中,算出变化率=计算出的辅助传感器比÷出厂时的参考的辅助传感器比。
接着,在步骤S506中,根据主传感器506的输出值算出分光辐射亮度数据。分光辐射亮度数据的横轴是根据像素和波长的表算出的,纵轴是根据输出值和分光辐射亮度的表算出的。然后,根据算出的分光辐射亮度数据算出亮度(Lv2)。
在步骤S507中,使用步骤S505中算出的变化率遍历全波长校正分光辐射亮度数据。然后,在步骤S108中,输出校正后的分光辐射亮度数据。
如上所述,在本实施方式中,基于红外光截止滤光器510的前方的辅助传感器Ax和后方的辅助传感器B的输出值,出厂后红外光截止滤光器510的透射率等的变化通过变化率进行矫正,主传感器506的输出值通过该变化率进行校正,因此,即使当红外光截止滤光器510的透射率等因环境条件、老化等而发生变化时,也能够进行高精度的测定。此外,当不存在红外光截止滤光器510并且提供固定的减光部材520时,能够补偿减光部材520的透射率的变化。另外,在辅助传感器A1~An与辅助传感器B之间,红外光截止滤光器510和减光部材520两者都存在时,能够补偿组合红外光截止滤光器510和减光部材520而得的整体的透射率等的变化。
[实施方式6]
在本实施方式中,如图15所示,在被驱动相对于被测定光820的被测定光820的光路能够***并退出的减光部材520的前方配置辅助传感器A,还配置一个接收衍射0阶光840的辅助传感器C。可以使用一个辅助传感器A,也可以如本实施方式使用与动态范围对应的多个辅助传感器A1~An。由于辅助传感器C已经通过减光部材520,所以设置适当光量进行使用。此外,可以使用在减光部材520和光阑503之间配置的辅助传感器B代替辅助传感器C。不限定红外光截止滤光器510是否存在,在本实施方式中设为不存在。
辅助传感器A装备滤光器,设置受光灵敏度为标准发光亮度(Vλ),以便于计算。此外,灵敏度可以是标准发光亮度(Vλ)之外的灵敏度,可以不装备滤光器。还具有辅助传感器A的受光值和亮度值(Lv)的表。此外,出厂时,辅助传感器A和C的输出值比的参考值(参考的辅助传感器比)被存储。
在本实施方式中,根据减光部材520的前方的辅助传感器A1~An与后方的辅助传感器C的参考的辅助传感器比,补偿出厂后减光部材520的透射率的变化。
图16示出了测定过程的流程图。
当测定开始时,作为事前测定,在步骤S601中,通过处理电路600对多个辅助传感器A1~An的受光数据进行AD转换,取得测定数据。然后,在步骤S602中,从多个辅助传感器A1~An中选择灵敏度最佳的辅助传感器Ax,根据辅助传感器Ax的输出值算出被测定物2的亮度估算值(Lv0)。通过从辅助传感器Ax的输出值和亮度值(Lv)的表获得与辅助传感器Ax的输出值对应的亮度值,算出亮度估算值(Lv0)。此外,根据算出的亮度估算值(Lv0)的值,确定正式测定中是否使用减光部材520以及使用时的数量,并且从辅助传感器A1~An中确定要在正式测定中使用的辅助传感器Ax。通常,所选的辅助传感器Ax也用于正式测定。此外,确定正式测定中的主传感器506、辅助传感器Ax以及辅助传感器C的测定时间(累积时间)。
接着,进行正式测定。在确定不使用减光部材520时,保持减光部材520从被测定光820的光路退出,执行图6中的步骤S103~S108的处理。在确定使用减光部材520时,在步骤S603中将所确定的数量的减光部材520***光路中,然后,进入步骤S604。
在步骤S604中,同时取得主传感器506、辅助传感器Ax和辅助传感器C的各输出值。
接下来,执行步骤S605~S608的校正计算处理、步骤S609的结果输出处理,但是,除了在步骤S605中使用辅助传感器C的输出值而不是辅助传感器B的输出值算出辅助传感器比,这些处理与第五实施例中描述的步骤S504~S507的校正计算处理和步骤S508的结果输出处理相同,因此,不再赘述。
如上所述,在本实施方式中,基于在减光部材520的前方配置的辅助传感器Ax和在其后方配置的辅助传感器C的输出值,出厂后减光部材520的透射率等的变化通过变化率进行矫正,主传感器506的输出值通过该变化率进行校正,因此,即使当减光部材520的透射率等因环境条件、老化等而发生变化时,也能够进行高精度的测定。在辅助传感器Ax与减光部材520之间存在红外光截止滤光器510时,能够补偿红外光截止滤光器510和减光部材520组合的透射率等的变化。
[实施方式7]
在本实施方式中,如图17所示,辅助传感器B配置在减光部材520的后方,该减光部材520以相对于被测定光820的光路能够***并退出的方式被驱动。可以使用一个辅助传感器B,也可以如本实施方式那样使用与动态范围对应的多个辅助传感器B1~Bn。此外,可以使用接收衍射0阶光840的辅助传感器C代替辅助传感器B。不限定红外光截止滤光器510是否存在,在本实施方式中设为不存在。
辅助传感器B装备滤光器,设置受光灵敏度为标准发光亮度(Vλ),以便于计算。此外,灵敏度可以是标准发光亮度(Vλ)之外的灵敏度,可以不装备滤光器。还有辅助传感器B的受光值和亮度值(Lv)的表。
在本实施方式中,根据减光部材520***与退出光路时的辅助传感器B的输出值比求出减光部材520的减光率,并进行校正。
图18示出了测定过程的流程图。
当测定开始时,在使减光部材520从被测定光820的光路退出的状态下执行事前测定。即,在步骤S701中,通过处理电路600对多个辅助传感器B1~Bn的受光数据进行AD转换,取得测定数据。然后,在步骤S702中,从多个辅助传感器B1~Bn中选择灵敏度最佳的辅助传感器Bx。此外,从辅助传感器Bx的输出值,确定正式测定中是否使用减光部材520以及使用时的数量,并且从辅助传感器B1~Bn中确定要在正式测定中使用的、减光部材存在时的辅助传感器Bx和减光部材不存在时的辅助传感器By。辅助传感器Bx和辅助传感器By可以相同。此外,确定正式测定中的主传感器506、辅助传感器Bx以及辅助传感器By的测定时间(累积时间)。
接着,进行正式测定。在确定不使用减光部材520时,保持减光部材520从被测定光820的光路退出,执行图6中的步骤S103~S108的处理。其中,步骤S103和S104中的“辅助传感器Ax”被替换为“辅助传感器Bx”。
在确定使用减光部材520时,在步骤S704中,将所确定的数量的减光部材520***光路中,然后,在步骤S705中同时取得主传感器506的输出值和辅助传感器Bx的输出值α。接着,在步骤S706中,使减光部材520从光路退出后,在步骤S707中,取得辅助传感器By的输出值β。
接下来,执行以下校正计算处理。首先,在步骤S708中,算出减光率=输出值α÷β,然后进入步骤S709。在步骤S709中,根据主传感器506的输出值算出分光辐射亮度数据。然后,根据算出的分光辐射亮度数据算出亮度(Lv2)。
]在步骤S710中,使用步骤S708中算出的减光率遍历全波长校正分光辐射亮度数据。然后,在步骤S711中,输出校正后的分光辐射亮度数据。
如上所述,在本实施方式中,基于在减光部材520的后方配置的辅助传感器Bx、By的输出值,求出减光部材520的减光率,通过减光率矫正透射率等的变化,通过该减光率校正主传感器的输出值,因此,即使当减光部材520的透射率等因环境条件、老化等而发生变化时,也能够进行高精度的测定。
[实施方式8]
在本实施方式中,如图19所示,关于在被驱动以相对于被测定光820的光路能够***并退出的减光部材520和光阑503之间,配置辅助传感器B,或者配置接收衍射0阶光840的辅助传感器C,本例使用的是接收衍射0阶光840的辅助传感器C。可以使用一个辅助传感器C,也可以如本实施方式使用与动态范围对应的多个辅助传感器C1~Cn。另外,还使用一个或多个配置于减光部材520前方的辅助传感器A1~An。不限定红外光截止滤光器510是否存在,在本实施方式中设为不存在。
辅助传感器C装备滤光器,设置受光灵敏度为标准发光亮度(Vλ),以便于计算。此外,灵敏度可以是标准发光亮度(Vλ)之外的灵敏度,可以不装备滤光器。还具有辅助传感器C的受光值和亮度值(Lv)的表。
在本实施方式中,根据减光部材520***与退出被测定光820的光路时的辅助传感器C的输出值比求出减光部材520的减光率,并进行校正。此外,通过辅助传感器A校正时间变化。
图20示出了测定过程的流程图。
当测定开始时,在使减光部材520从被测定光820的光路退出的状态下执行事前测定。即,在步骤S801中,通过处理电路600对多个辅助传感器C1~Cn的受光数据进行AD转换,取得测定数据。然后,在步骤S802中,从多个辅助传感器C1~Cn中选择灵敏度最佳的辅助传感器Cx。此外,从辅助传感器Cx的输出值,确定正式测定中是否使用减光部材520以及使用时的数量,并且从辅助传感器A1~An中确定要在正式测定中使用的辅助传感器Ax,从辅助传感器C1~Cn中确定要在正式测定中使用的、减光部材存在时的辅助传感器Cx和减光部材不存在时的辅助传感器Cy。辅助传感器Cx和辅助传感器Cy可以相同。此外,确定正式测定中的主传感器506、辅助传感器Ax、辅助传感器Cx以及辅助传感器Cy的测定时间(累积时间)。
接着,进行正式测定。在确定不使用减光部材520时,保持减光部材520从被测定光820的光路退出,执行图6中的步骤S103~S108的处理。其中,步骤S103和S104中的“辅助传感器Ax”被替换为“辅助传感器Cx”。
在确定使用减光部材520时,在步骤S804中,将所确定的数量的减光部材520***光路中,然后,在步骤S805中同时取得主传感器506的输出值、辅助传感器Ax的输出值a1、辅助传感器Cx的输出值α。接着,在步骤S806中,使减光部材520从光路退出后,在步骤S807中同时取得辅助传感器Ax的输出值b和辅助传感器Cy的输出值β。
接下来,执行以下校正计算处理。首先,在步骤S808中,根据辅助传感器Ax的输出值a和b算出作为这些输出值之比的时间差系数,在步骤S809中,算出减光率=输出值α÷β×时间差系数,然后,进入步骤S810。
在步骤S810中,根据主传感器506的输出值算出分光辐射亮度数据。然后,根据算出的分光辐射亮度数据算出亮度(Lv2)。
在步骤S811中,使用步骤S809中算出的减光率遍历全波长校正分光辐射亮度数据。然后,在步骤S812中,输出校正后的分光辐射亮度数据。
如上所述,在本实施方式中,基于在减光部材520的后方配置的辅助传感器Cx、Cy的输出值,求出减光部材520的减光率,通过减光率矫正透射率等的变化,通过该减光率校正主传感器506的输出值,因此即使当减光部材520的透射率等因环境条件、老化等而发生变化时,也能够进行高精度的测定。此外,关于减光率,通过时间差系数即在不同定时测定的辅助传感器Ax的输出值a和b之比校正时间性的光量变化,因此,能够执行高精度测定。
工业实用性
本发明能够用于测定光源的亮度和色度、物体的分光反射率、色值等。
附图标记说明:
1 分光测定器
2 测定对象
3 被测定光
100 受光光学***
200 观察光学***
300 测定光学***
400 导光部
402 光纤束
500 分光部
501 入射狭缝
502 准直透镜
503 光阑
503a 孔径部
504 衍射光栅
506 主传感器
510 红外光截止滤光器
520 减光部材
600 处理电路
700 校正部
810 准直透镜的通过光
820 被测定光
840 衍射0阶光
A~C、A1~An、B1~Bn、C1~Cn 辅助传感器

Claims (16)

1.一种分光测定器,具有:
衍射机构,使从入射部入射的被测定光衍射;
主传感器,接收被所述衍射机构衍射的被测定光;
一个或多个辅助传感器,配置在从所述入射部入射的光束中的、没有到达所述主传感器的光束的光路,接收该光束;以及
校正机构,根据所述辅助传感器的输出值,校正所述主传感器的输出值。
2.如权利要求1所述的分光测定器,
所述校正机构校正所述主传感器的输出值,以使根据所述主传感器的输出值计算而得的受光强度值与根据所述辅助传感器的输出值计算而得的受光强度值变为相同。
3.如权利要求1或2所述的分光测定器,具有:
受光光量调整部材,用于调整所述主传感器的受光光量。
4.如权利要求3所述的分光测定器,
所述受光光量调整部材是以相对于所述被测定光的光路能够***并退出的方式被配置的减光部材。
5.如权利要求3或4所述的分光测定器,
在所述受光光量调整部材的前方配置了所述辅助传感器,所述校正机构同时取得所述主传感器和所述辅助传感器的输出值,校正所述主传感器的输出值。
6.如权利要求4所述的分光测定器,
在所述减光部材的后方配置了第1辅助传感器,
所述校正机构,在所述减光部材向光路***的状态下,取得所述主传感器的输出值,在所述减光部材从光路退出的状态下,取得所述第1辅助传感器的输出值,校正所述主传感器的输出值。
7.如权利要求6所述的分光测定器,
在所述减光部材的前方配置了第2辅助传感器,
所述校正机构,在所述主传感器的输出值的取得时和所述第1辅助传感器的输出值的取得时的各个定时取得所述第2辅助传感器的输出值,根据取得的所述第2辅助传感器的输出值之比算出时间上的光量变化率,根据算出的所述光量变化率,校正时间上的光量变化。
8.如权利要求3或4所述的分光测定器,
在所述受光光量调整部材的前方配置了第1辅助传感器,在所述受光光量调整部材的后方配置了第2辅助传感器;
所述校正机构,同时取得所述主传感器、第1辅助传感器以及第2辅助传感器的输出值,并基于取得的所述第1辅助传感器以及第2辅助传感器的输出值比相对于参考值的变化率,校正所述主传感器的输出值。
9.如权利要求4所述的分光测定器,
在所述减光部材的后方配置了第1辅助传感器,
所述校正机构,在所述减光部材向光路***的状态下,同时取得所述主传感器的输出值和所述第1辅助传感器的输出值,在所述减光部材从光路退出的状态下,取得所述第1辅助传感器的输出值,基于取得的所述第1辅助传感器的各个输出值之比,校正所述主传感器的输出值。
10.如权利要求9所述的分光测定器,
在所述减光部材的前方配置了第2辅助传感器,
所述校正机构,在与所述第1辅助传感器的输出值的取得定时相同的定时2次取得所述第2辅助传感器的输出值,根据取得的所述第2辅助传感器的2次输出值之比算出时间上的光量变化率,根据算出的所述光量变化率校正时间上的光量变化。
11.根据权利要求1~10中任一项所述的分光测定器,
所述辅助传感器接收从所述入射部入射的光束中没有照射到所述衍射光栅的光束。
12.根据权利要求1~10中任一项所述的分光测定器,
所述辅助传感器接收衍射0阶光。
13.根据权利要求1~12中任一项所述的分光测定器,
所述辅助传感器是各自可受光光量范围不同的多个辅助传感器。
14.根据权利要求1~13中任一项所述的分光测定器,具有:
控制所述辅助传感器的受光光量的孔径光阑。
15.根据权利要求1~13中任一项所述的分光测定器,具有:
控制所述辅助传感器的受光光量的滤光器。
16.根据权利要求1~15中任一项所述的分光测定器,
所述辅助传感器具有受光灵敏度为标准发光亮度的滤光器。
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