CN111351797A - 单侧及双侧式检测***及成对反射镜组装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种单侧及双侧式检测***及成对反射镜组装置，检测***主要包括一待测物载台、一影像捕获设备以及一或多个反射镜。影像捕获设备设置在待测物载台一侧，用以撷取待测物影像。反射镜设置在影像捕获设备及待测物载台之间，通过反射镜将待测物的孔洞侧壁显示在反射镜上，以对孔洞侧壁进行检测。本发明可以有效的提升光学检测***检测盲孔、穿孔或是其他复杂表面的瑕疵的效率，相较于现有技术可以大幅地降低检测所需的时间成本。并且，本发明机构设置简单，相较于现有技术可以降低检测的复杂度，同时降低设备的维修成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种光学检测***，尤指一种用以检测待测物孔洞侧壁的光学检测***。
背景技术
自动光学检查(Automated Optical Inspection,AOI)，是运用机器视觉做为检测标准技术，通过机器视觉取代传统人眼辨识以达到高精密度及高效率的检测。作为改良传统上以人力使用光学仪器进行检测的缺点，应用层面包括从高科技产业的研发、制造品管、国防、民生、医疗、环保、电力等领域。
在光学检测领域中，复杂表面的检测相对平滑表面较为困难，一般可视性的复杂表面取决于摄影机的景深范围，若是摄影机的景深足够，一般都可以克服。相对而言，针对平面不可视的缺陷，则是难以由传统的光学方式(例如平面拍摄)进行检测，以致于在进行这类的检测时非常的耗时耗功，难以达到相应的效率。
发明内容
本发明的目的，在于提供一种单侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，单侧式检测***包括一待测物载台以及一影像捕获设备。待测物载台用以承载待测物。影像捕获设备设置在待测物载台一侧，用以撷取待测物影像，其中影像捕获设备与孔洞侧壁之间具有一取像倾角，以撷取孔洞侧壁的影像。
本发明的另一目的，在于提供一种双侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，双侧式检测***包括一待测物载台、一第一影像捕获设备以及一第二影像捕获设备。待测物载台用以承载待测物。第一影像捕获设备设置在待测物载台一侧，用以撷取待测物影像，其中第一影像捕获设备与孔洞侧壁之间具有一第一取像倾角，以撷取孔洞侧壁的第一侧影像。第二影像捕获设备设置在待测物载台一侧，用以撷取待测物影像，其中第二影像捕获设备与孔洞侧壁之间具有一第二取像倾角，使影像捕获设备撷取孔洞侧壁的一第二侧影像。
本发明的另一目的，在于提供一种单侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，单侧式检测***包括一待测物载台、一影像捕获设备以及一反射镜装置。待测物载台用以承载待测物。影像捕获设备设置在待测物载台一侧，用以撷取待测物影像。反射镜装置设置在影像捕获设备及待测物载台之间，反射镜装置与孔洞侧壁之间具有一取像倾角，使影像捕获设备通过反射镜装置撷取孔洞侧壁的影像。
本发明的另一目的，在于提供一种双侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，单侧式检测***包括一待测物载台、一第一影像捕获设备、一第二影像捕获设备、一第一反射镜装置以及一第二反射镜装置。待测物载台用以承载待测物。第一影像捕获设备与第二影像捕获设备设置于该待测物载台一侧，用以撷取待测物影像。该第一反射镜装置设置在第一影像捕获设备及待测物载台之间，其中第一反射镜装置与孔洞侧壁之间具有一第一取像倾角，使第一影像捕获设备通过第一反射镜装置撷取孔洞侧壁的第一侧影像。第二反射镜装置设置在第二影像捕获设备及待测物载台之间，第二反射镜与孔洞侧壁之间具有一第二取像倾角，使第二影像捕获设备通过第二反射镜装置撷取孔洞侧壁的第二侧影像。
本发明的另一目的，在于提供一种成对反射镜组装置，包括一第一反射镜以及一第二反射镜。第一反射镜设置在影像捕获设备及待测物载台之间，第一反射镜与待测物的孔洞侧壁之间具有一第一取像倾角。第二反射镜设置于影像捕获设备及待测物载台之间并设置在第一反射镜的对向侧，第二反射镜与待测物的孔洞侧壁之间具有一第二取像倾角。
本发明的另一目的，在于提供一种双侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，双侧式检测***包括一待测物载台、一影像捕获设备、一如上所述的成对反射镜组装置。待测物载台用以承载待测物。影像捕获设备设置在待测物载台一侧，用以撷取待测物影像。影像捕获设备通过反射镜撷取孔洞侧壁的第一侧影像以及第二侧影像。
本发明的另一目的，在于提供一种双侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，双侧式检测***包括一待测物载台、一影像捕获设备、多个如上所述的成对反射镜组装置。待测物载台用以承载待测物。影像捕获设备设置在待测物载台一侧，用以撷取待测物影像。多个如上所述的成对反射镜组装置，分别对应待测物的孔洞侧壁设置，影像捕获设备通过反射镜撷取该孔洞侧壁的第一侧影像以及第二侧影像。
本发明可以有效的提升光学检测***检测盲孔、穿孔或是其他复杂表面的瑕疵的效率，相较于现有技术可以大幅地降低检测所需的时间成本。
并且，本发明机构设置简单，相较于现有技术可以降低检测的复杂度，同时降低设备的维修成本。
附图说明
图1为本发明第一实施例的外观示意图。
图2为本发明第一实施例的光学路径示意图。
图3为本发明第一实施例的成像示意图。
图4为本发明第一实施例的工作示意图(一)。
图5为本发明第一实施例的工作示意图(二)。
图6为本发明第一实施例用于盲孔检测的光学配置方式。
图7为本发明第一实施例用于穿孔检测的光学配置方式。
图8为本发明第二实施例的外观示意图。
图9为本发明第二实施例中第二影像捕获设备的成像示意图。
图10为本发明第二实施例的外观示意图。
图11为本发明第三实施例的外观示意图。
图12为本发明第三实施例的工作示意图。
图13为本发明第三实施例的成像示意图。
图14为本发明第四实施例的外观示意图。
图15为本发明第四实施例的工作示意图。
图16为本发明第五实施例的外观示意图。
图17为本发明第六实施例的工作示意图。
附图标记说明：
100 单侧式检测***
10A 待测物载台
20A 影像捕获设备
21A 成像单元
22A 物镜
23A 同轴光源
30A 反射镜装置
40A 第一移载装置
50A 第二影像捕获设备
60A 第二反射镜装置
70A 侧向光源
A 取像倾角
B 第二取像倾角
W1 第一侧影像
W2 第二侧影像
200 双侧式检测***
10B 待测物载台
20B 影像捕获设备
30B 成对反射镜组装置
31B 第一反射镜
32B 第二反射镜
40B 线性滑轨载台
C 第一取像倾角
D 第二取像倾角
P1 第一目标侧壁
P2 第二目标侧壁
H 孔洞侧壁
L1 第一侧位置
L2 第二侧位置
A1 箭头
L3 第一侧位置
L4 第二侧位置
A2 箭头
300 单侧式检测***
10C 待测物载台
20C 影像捕获设备
40C 线性滑轨载台
50C 第二影像捕获设备
A3 箭头
E 第一取像倾角
F 第二取像倾角
Ⅰ 成对反射镜列
IP 图像处理装置。
具体实施方式
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
于本发明中并未于图式中明确揭示有控制器，但，可理解本发明是应用于光学检测设备，必然包括有用于执行图像处理用的图像处理器；为协调各部装置的运作，必然包括中央控制器(例如PLC)调整各部装置的参数，以确保装置的运作顺畅并消弭误差；装置可个别包括独立的控制器及对应的韧体，以切换各装置的工作模式或是由传感器反馈对应的参数等，在此必须先予以叙明。
控制器例如可以为中央处理器(Central Processing Unit；CPU)，或是其他可程序化之一般用途或特殊用途的微处理器(Microprocessor)、数字信号处理器(DigitalSignal Processor；DSP)、可程序化控制器、特殊应用集成电路(Application SpecificIntegrated Circuits；ASIC)、可程序化逻辑设备(Programmable Logic Device；PLD)或其他类似装置或这些装置的组合。
本发明光学检测***主要是用于对复杂表面的待测物进行光学检测，复杂表面包括凹凸表面、金柱、盲孔、穿孔等，用以特别针对平面拍摄时待测物表面不容易显示的侧壁进行检测。本发明用于盲孔、穿孔的检测上特别具有功效，可以通过一次性拍摄即完成多个盲孔、穿孔内部孔壁的检测。
以下系针对本发明多个不同实施例分别进行说明，请先一并参阅图1，为本发明第一实施例的外观示意图。
本实施例提供一种单侧式待测物侧壁检测***100，包括一待测物载台10A、一影像捕获设备20A、一反射镜装置30A以及一第一移载装置40A。
待测物载台10A用以承载一待测物AN。于其中一较佳实施例中，待测物载台10A为可以为用以摆设待测物AN的平台，通过治具固定待测物AN位置。于用以检测穿孔的实施例中，待测物载台10A可以做为一第二光源，用以对待测物AN提供背光源，第二光源设置在一孔洞侧壁H下方，以提供孔洞侧壁H照明光源，以对穿孔内侧提供均光照明。于较佳实施例中，第二光源包括一面光源，其中面光源的面积与待测物AN成正比，于本发明中对于待测物载台10A的实施例不予以限制。
影像捕获设备20A设置在待测物载台10A一侧，用以撷取待测物影像。影像捕获设备20A通过感光组件及对应的镜头拍摄待测物AN的影像，并将所获取的影像传送至后端的图像处理装置IP进行影像分析，以确认待测物AN的瑕疵状态并完成检测。于本实施例中，为了进行高精度的检测，影像捕获设备20A包括一成像单元21A、一设置在成像单元21A上的物镜22A以及一结合于物镜22A的第一光源。成像单元21A包括多个感光组件。物镜22A内侧对应于其光路设置有多个光学组件(例如透镜、镜片)。影像捕获设备包括但不限于线扫描摄影机或面扫描摄影机。于一较佳实施例中，影像捕获设备可以为线扫描摄影机，有利于增加检测的效率。所述的第一光源设置在该孔洞侧壁H上方，以提供孔洞侧壁H照明光源。于较佳实施例中，第一光源的类型包括同轴光源23A、侧向光源70A或环形光源。
反射镜装置30A设置在影像捕获设备20A及待测物载台10A之间。反射镜装置30A于一较佳实施例中，可以为金属镀膜反射镜、硅光反射镜、介电质光反射镜等，于本发明中不予以限制。反射镜装置30A与待测物AN目标侧壁之间具有一取像倾角A，以令孔洞侧壁H落在反射镜装置30A相对影像捕获设备20A的取像范围内。其中反射镜装置30A具有一调整机构，用于调整反射镜装置30A的取像倾角A的范围。于较佳实施例中，反射镜装置30A包括一平面镜或一菱镜，用于由影像捕获设备20A通过反射镜装置30A撷取孔洞侧壁H的影像。
影像捕获设备20A及反射镜装置30A设置在第一移载装置40A上反射镜(反射镜装置30A亦可以结合于物镜22A上，并配合物镜22A从动)，并将影像捕获设备20A及反射镜装置30A，由待测物载台10A的第一侧位置移动至第二侧位置，获取待测物AN整面所有目标侧壁的影像。于另一较佳实施例中，待测物载台10A亦可以设置在一第二移载装置上，用以移载待测物载台10A相对影像捕获设备20A移动，第二移载装置可以为可动式载台(或XYZ载台、XYθ载台等)，可移载或移动待测物AN至适当的取像位置。
请一并参阅图2及图3，为本发明第一实施例的光学路径示意图以及成像示意图。
如图2，于进行检测时，第一移载装置40A将影像捕获设备20A及反射镜装置30A，由待测物载台10A的第一侧位置L1移动至第二侧位置L2(如箭头A1)，完成待测物AN于一整条路径上盲孔及穿孔的检测。为了将待测物载台10A上待测物AN的目标影像反射至影像捕获设备20A，以拍摄待测物AN的孔洞侧壁H，在影像捕获设备20A与待测物AN平面为90度设置的情况下，所述的取像倾角A至少必须要低于45度角。于较佳实施例中，为了减少取像距离，取像倾角A介于10度至20度之间，可以得到较佳的成像质量。所取得的影像如图3所示，于进行单向的移动时，待测物AN孔洞侧壁H的第一侧影像W1如斜线位置，可以被影像捕获设备20A拍摄并取得。相对目标侧壁W1的另一侧孔洞侧壁H的第二侧影像(图未示)则可以由镜像的方式取得(例如整个影像捕获设备及反射镜装置水平旋转180度、反射镜装置180度镜像旋转或是直接设置辅助影像捕获设备及辅助反射镜如后面第二实施例所示)。
有关于检测时影像捕获设备20A的动作路径，请一并参阅图4及图5，为本发明第一实施例的工作示意图(一)及工作示意图(二)。
如图4，于本实施例中，第一移载装置40A可以带动影像捕获设备20A以S路径方式移动，因此取得待测物AN上多排孔洞侧壁H的影像。有关于S路径转折的次数取决于待测物AN的面积大小或是影像捕获设备20A的取像范围，于本发明中不予以限制。
于拍摄完目标侧壁的影像后，如图5，到达路径末端时，影像捕获设备20A及反射镜装置30A可以在水平旋转180度后，延S路径原路复归至起始位置，完成孔洞侧壁H第二侧影像的检测。因此孔洞侧壁H两侧的影像都可以被有效的取得。
于另一较佳实施例中，第一移载装置40A可以省略，而直接由待测物载台10A(XY载台)相对影像捕获设备20A移动，以获取所有侧壁影像，此部分非属本发明所欲限制的范围。
关于光源配置的部分，请一并参阅图6及图7，为本发明第一实施例用于盲孔检测及用于穿孔检测的光学配置方式。
本发明用于盲孔检测的实施例，请参阅图6，盲孔检测主要是通过同轴光源23A对待测物AN的孔洞侧壁H进行补光，通过相对高指向性的同轴光照亮孔洞侧壁H，以凸显孔洞侧壁H上的瑕疵。除了用同轴光进行补光外，亦可以通过一侧或两侧的侧向光源70A对待测物AN进行补光，侧向光源70A可以为平行光源或是漫射光源，于较佳实施例中则是可以在多种光源中进行切换，以便后端图像处理设备对不同种类的瑕疵进行分类。
本发明用于穿孔检测的实施例，请参阅图7，穿孔检测主要是通过设置在待测物载台10A上的背光源80A进行补光。背光源80A较佳为漫射光源，通过均光板提供一致性的补光。为了进一步加强穿孔内壁的影像，于检测穿孔的光学配置仍可以提供侧向光源进一步补光。
于另一较佳实施例，请一并参阅图8，为本发明第二实施例的外观示意图。以下针对本发明的第二实施例进行说明，由于本实施例与第一实施例的差异性仅在于本发明影像捕获设备及反射镜装置的数量，相同部分即不再予以赘述。
本实施例除了原先包括的待测物载台10A、影像捕获设备20A(第一影像捕获设备)、反射镜装置30A(第一反射镜装置)以及第一移载装置40A之外，还进一步包括一第二影像捕获设备50A以及一第二反射镜装置60A。第二影像捕获设备50A设置在待测物载台10A一侧，用以拍摄待测物AN孔洞侧壁H的影像。第二反射镜装置60A设置在第二影像捕获设备50A及待测物载台10A之间。
请一并参阅图9，为本发明第二实施例中第二影像捕获设备50A的成像示意图。由于第二反射镜装置60A与待测物AN相对孔洞侧壁H具有第二取像倾角B，第二影像捕获设备50A通过第二反射镜装置60A拍摄孔洞侧壁H时将获得孔洞侧壁H的第二侧影像W2，用于拍摄并获得孔洞侧壁H的所有区域。
于较佳实施例中，第二影像捕获设备50A及第二反射镜装置60A相对第一影像捕获设备20A、第一反射镜装置30A以镜像方式设置，并共同设置在第一移载装置40A上，通过此方式第一移载装置40A移动时可同时通过第一影像捕获设备20A及第一反射镜装置30A的组合取得目标侧壁(第一方向)的影像、第二影像捕获设备50A及第二反射镜装置60A的组合取得另一目标侧壁(第二方向)的影像，因此在一次路径方向上完成两侧目标侧壁的检测。
以下针对本发明的第三实施例进行说明，请一并参阅图10，为本发明第三实施例的外观示意图。以下有关于相同专业名词的定义不再予以赘述，仅针对结构上与第一实施例及第二实施例的主要差异性部分进行说明。
本实施例提供一种双侧式待测物侧壁检测***200，包括一待测物载台10B、一影像捕获设备20B、一成对反射镜组装置30B以及一线性滑轨载台40B。于较佳实施例中，待测物载台10B、影像捕获设备20B以及成对反射镜组装置30B可以共构为一体。影像捕获设备20B设置在待测物载台10B一侧，用以拍摄待测物影像。成对反射镜组装置30B设置在影像捕获设备20B及待测物载台10B之间，包括一第一反射镜31B以及一设置在第一反射镜31B对向侧的第二反射镜32B。第一反射镜31B与待测物AN的孔洞侧壁H之间具有一第一取像倾角C，第二反射镜32B与待测物AN的孔洞侧壁H之间具有一第二取像倾角D，以令孔洞侧壁H的第一侧影像与孔洞侧壁H的第二侧影像分别落在第一反射镜31B及第二反射镜32B相对影像捕获设备20B的取像范围内。其中第一反射镜31B具有一第一调整机构，用于调整第一反射镜31B的第一取像倾角的范围，第二反射镜32B具有一第二调整机构，用于调整第二反射镜32B的第二取像倾角的范围。
为了将该待测物载台10B上待测物AN的孔洞侧壁H影像反射至影像捕获设备20B，以进行检测，在影像捕获设备20B与待测物AN平面为90度设置的情况下，包括但不限于第一取像倾角C至少必须要低于45度角(0度至45度)，于镜像设置的实施例中，包括但不限于第二取像倾角D则至少必须要高于45度角(-45度至0度)。于较佳实施例中，为了减少取像距离，第一取像倾角C系介于10度至20度之间、第二取像倾角D系介于-10度至-20度之间，可以得到较佳的成像质量。
须注意的是，于线扫描摄影机的实施例中，为了同时取得第一反射镜31B以及第二反射镜32B的影像，线扫描摄影机的扫描方向正交于第一反射镜31B以及第二反射镜32B，以同时获取孔洞侧壁H的第一侧影像及第二侧影像。
请一并参阅图11及图12，为本发明第三实施例的光学路径示意图以及成像示意图。如图11，以线扫描摄影机为实施例进行检测时，线性滑轨载台40B将影像捕获设备20B相对成对反射镜组装置30B由待测物载台10B的第一侧位置L3移动至第二侧位置L4(如箭头A2)，以沿路径扫过多个孔洞侧壁H，完成待测物AN在一整条路径上孔洞侧壁H的检测。如图12，对向两侧(第一反射镜31B、第二反射镜32B)的影像同时由影像捕获设备20B所拍摄取得，因此在一次行程中，影像捕获设备20B即可完成孔洞侧壁H的第一侧影像P1及第二侧影像P2的检测。
以下针对本发明的第四实施例进行说明，请一并参阅图13，为本发明第四实施例的外观示意图。
以下针对本发明的第四实施例进行说明，由于本实施例与第三实施例的差异性仅在于成对反射镜组装置的设置数量，相同部分即不再予以赘述。
本实施例包括多个成对反射镜组装置30B，用以分别对准至待测物AN上的多个区域的盲孔及穿孔进行检测。于本实施例中，影像捕获设备20B配合设置在一线性滑轨载台40B上，以通过线性滑轨载台40B移动至多个区域上以分别拍摄盲孔及穿孔的第一目标侧壁及第二目标侧壁。由于多个成对反射镜组装置30B所组成的成对反射镜列Ⅰ，设置在待测物AN上侧，可一次撷取多个孔洞的第一目标侧壁影像及第二目标侧壁影像。
有关于检测时该影像捕获设备20B的动作路径，请一并参阅图14，为本发明第四实施例的工作示意图。
如图14，于本实施例中，由于多个成对反射镜组装置30B以排列设置在待测物AN的盲孔或穿孔周侧，线性滑轨载台40B可以直接将影像捕获设备20B沿一直线路径方式移动，分别拍摄对应位置上的盲孔及穿孔。在拍摄完盲孔及穿孔的影像到达路径末端时，即完成一次检测。通过本实施例的方式，可以大幅地缩减检测所需的时间，有效提升检测的效率。
请一并参阅图15，为本发明第五实施例的工作示意图于另一较佳实施态样中，成对反射镜组亦可以直接以直条的菱镜取代，由于本实施例与第四实施例的差异性仅在于反射镜种类，相同部分即不再予以赘述。
本实施例系包括多个并排设置的菱镜M用以分别对准至待测物AN上的多个区域的盲孔及穿孔进行检测，如图15，菱镜M呈倒三角形，在菱镜M的二侧斜面上设置有一层反射膜。于本实施例中，影像捕获设备20B配合设置在一线性滑轨载台40B上，以通过该线性滑轨载台40B移动至多个区域上以分别拍摄盲孔及穿孔的第一目标侧壁及第二目标侧壁。由于多个菱镜M设置在待测物AN上侧，可一次撷取多个孔洞的第一目标侧壁影像及第二目标侧壁影像。有关于检测时影像捕获设备20B的动作路径请一并参阅图14。
如图14，于本实施例中，由于多个菱镜M以并排方式设置在待测物AN的盲孔或穿孔周侧，线性滑轨载台40B可以直接将影像捕获设备20B沿一直线路径方式移动，分别拍摄对应位置上的盲孔及穿孔。在拍摄完该盲孔及穿孔的影像到达路径末端时，即完成一次检测。通过本实施例的方式，可以大幅地缩减检测所需的时间，有效提升检测的效率。
请一并参阅图16，为本发明第六实施例的外观示意图。
于本实施例中揭示一种单侧式检测***300，用于检测待测物AN上的至少一个孔洞侧壁H。单侧式检测***300包括一待测物载台10C以及一影像捕获设备20C。
待测物载台10C用以承载待测物AN，于其中一较佳实施例中，待测物载台10C可以为用以摆设待测物AN的平台，通过治具固定待测物AN位置。于另一较佳实施例中，待测物载台10C可以为可动式载台(或XYZ载台、XYθ载台等)，可移载或移动待测物AN至适当的取像位置。于用以检测穿孔的实施例中，在待测物载台10C下方，设置有一面光源，用以对待测物AN提供背光源，其中面光源的面积与待测物AN成正比以对穿孔内侧提供均光照明，于本发明中对于待测物载台10C的实施例不予以限制。
影像捕获设备20C设置在待测物载台10C一侧，用以撷取待测物AN影像，影像捕获设备20C通过感光组件及对应的镜头拍摄待测物AN的影像，并将所获取的影像传送至后端的图像处理装置24C进行影像分析，以确认待测物AN的瑕疵状态并完成检测。于本实施例中，为了进行高精度的检测，影像捕获设备20C包括一成像单元21C、一设置在成像单元21C上的物镜22C以及一结合于该物镜22C的第一光源23C。其中成像单元21C系包括多个感光组件。物镜22C内侧对应于其光路设置有多个光学组件(例如透镜、镜片)。影像捕获设备20C包括但不限于，可为线扫描摄影机或面扫描摄影机。于一较佳实施例中，影像捕获设备20C可以为线扫描摄影机，有利于增加检测的效率。
为了拍摄该孔洞侧壁H的影像，影像捕获设备20C与孔洞侧壁H之间具有一取像倾角E，使影像捕获设备20C撷取孔洞侧壁H的影像。取像倾角E于较佳实施例中，可以为15度至75度之间。
于一较佳实施例中，为了取得该孔洞侧壁H内的影像，影像捕获设备20C可以配合线性轨道、环形轨道、多轴机臂或其他类此的装置设置。于线性轨道的实施例中，可以通过线性轨道移动影像捕获设备20C分别拍摄孔洞侧壁H的第一侧影像后，再由另一侧方向复归时旋转180度，拍摄孔洞侧壁H的第二侧影像，以完成孔洞侧壁H的检测；于环形轨道的实施例中，影像捕获设备20A可以孔洞侧壁H的中心为轴心，在平面上旋转180度以获取孔洞侧壁H的所有影像；所述的实施例非属本发明所欲限制的范围。
于一可行的较佳实施例中，单侧式检测***300可进一步包括一反射镜装置设置在影像捕获设备20C及待测物载台10C之间，影像捕获设备20C具有一调整机构，用于调整反射镜装置的取像倾角E的范围。
请一并参阅图17，为本发明第七实施例的外观示意图。
以下针对本发明的第六实施例进行说明，由于本实施例与第一实施例的差异性仅在于本发明影像捕获设备的数量，相同部分即不再予以赘述。
于本实施例中，还进一步设置一第二影像捕获设备50C，第二影像捕获设备50C设置在第一影像捕获设备20C相对于孔洞侧壁H的另一侧，因此可以同时拍摄到待测物AN孔洞侧壁H的第一侧影像及第二侧影像。于本实施例中，第一影像捕获设备20C与孔洞侧壁H之间具有一第一取像倾角E，第二影像捕获设备50C与孔洞侧壁H之间具有一第二取像倾角F，使第一影像捕获设备20C及第二影像捕获设备50C分别撷取孔洞侧壁H的第一侧影像以及第二侧影像。
为了拍摄孔洞侧壁H的影像，第一影像捕获设备20C与孔洞侧壁H之间具有一取像倾角E，使影像捕获设备20C撷取孔洞侧壁H的影像。取像倾角E于较佳实施例中，可以为15度至45度之间，取像倾角E于较佳实施例中，可以为-15度至-45度之间。
综上所述，本发明可以有效的提升光学检测***检测盲孔、穿孔或是其他复杂表面的瑕疵的效率，相较于现有技术可以大幅地降低检测所需的时间成本。此外，本发明机构设置简单，相较于现有技术可以降低检测的复杂度，同时降低设备的维修成本。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本发明的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本发明的较佳实施例，但本发明不以图面所示限定实施范围，凡是依照本发明的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本发明的保护范围内。
Claims (16)
1.一种单侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，其特征在于，所述单侧式检测***包括：
一待测物载台，用以承载所述待测物；
一影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像，其中所述影像捕获设备与所述孔洞侧壁之间具有一取像倾角，以撷取所述孔洞侧壁的影像。
2.一种双侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，其特征在于，所述双侧式检测***包括：
一待测物载台，用以承载所述待测物；
一第一影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像，其中所述第一影像捕获设备与所述孔洞侧壁之间具有一第一取像倾角，以撷取所述孔洞侧壁的第一侧影像；以及
一第二影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取所述待测物影像，其中所述第二影像捕获设备与所述孔洞侧壁之间具有一第二取像倾角，使所述第二影像捕获设备撷取所述孔洞侧壁的一第二侧影像。
3.根据权利要求1或2所述的单侧式检测***，其中所述取像倾角的范围介于15度至75度之间。
4.一种单侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，其特征在于，所述单侧式检测***包括：
一待测物载台，用以承载所述待测物；
一影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像；以及
一反射镜装置，设置在所述影像捕获设备及所述待测物载台之间，所述反射镜装置与所述孔洞侧壁之间具有一取像倾角，使所述影像捕获设备通过所述反射镜装置撷取所述孔洞侧壁的影像。
5.根据权利要求4所述的单侧式检测***，其特征在于：
所述影像捕获设备包括线扫描摄影机或面扫描摄影机；
所述待测物包括铜箔基板、印刷电路板、软式印刷电路板或冲压板件；以及
所述孔洞侧壁包括穿孔侧壁或盲孔侧壁。
6.根据权利要求4所述的单侧式检测***，其特征在于，还包括一第一移载装置、一第二移载装置、一第一光源以及一第二光源，所述第一移载装置用以移载所述影像捕获设备及所述反射镜装置，所述第二移载装置用以移载所述待测物载台，所述第一光源设置在所述孔洞侧壁上方，以提供所述孔洞侧壁照明光源，所述第一光源的类型包括同轴光源、侧向光源或环形光源，所述第二光源设置在所述孔洞侧壁下方，以提供所述孔洞侧壁照明光源，所述第二光源包括一面光源，其中所述面光源的面积与所述待测物成正比。
7.根据权利要求4所述的单侧式检测***，其特征在于：
所述反射镜装置具有一调整机构，用于调整所述反射镜装置的所述取像倾角的范围；以及
所述反射镜装置包括一平面镜或一菱镜，用于由所述影像捕获设备通过所述反射镜装置撷取所述孔洞侧壁的影像。
8.根据权利要求4所述的单侧式检测***，其特征在于，所述取像倾角的范围介于10度至20度之间。
9.一种双侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，其特征在于，所述双侧式检测***包括：
一待测物载台，用以承载所述待测物；
一第一影像捕获设备与一第二影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像；
一第一反射镜装置，设置在所述第一影像捕获设备及所述待测物载台之间，其中所述第一反射镜装置与所述孔洞侧壁之间具有一第一取像倾角，使所述第一影像捕获设备通过所述第一反射镜装置撷取所述孔洞侧壁的第一侧影像；以及
一第二反射镜装置，设置在所述第二影像捕获设备及所述待测物载台之间，所述第二反射镜与所述孔洞侧壁之间具有一第二取像倾角，使所述第二影像捕获设备通过所述第二反射镜装置撷取所述孔洞侧壁的第二侧影像。
10.一种成对反射镜组装置，其特征在于，包括：
一第一反射镜，设置在影像捕获设备及待测物载台之间，所述第一反射镜与待测物的孔洞侧壁之间具有一第一取像倾角；以及
一第二反射镜，设置在所述影像捕获设备及所述待测物载台之间并设置在所述第一反射镜的对向侧，所述第二反射镜与所述待测物的孔洞侧壁之间具有一第二取像倾角。
11.一种双侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，其特征在于，所述双侧式检测***包括：
一待测物载台，用以承载所述待测物；
一影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像；以及
一如权利要求10所述的成对反射镜组装置，所述影像捕获设备通过所述第一反射镜及所述第二反射镜撷取所述孔洞侧壁的第一侧影像以及第二侧影像。
12.根据权利要求11所述的双侧式检测***，其特征在于：
所述影像捕获设备包括线扫描摄影机或面扫描摄影机；
所述待测物包括铜箔基板、印刷电路板、软式印刷电路板或冲压板件；以及
所述孔洞侧壁包括穿孔侧壁或盲孔侧壁。
13.根据权利要求11所述的双侧式检测***，其特征在于，还包括一第一移载装置、一第二移载装置、一第一光源以及一第二光源，所述第一移载装置用以移载所述影像捕获设备及所述反射镜装置，所述第二移载装置用以移载所述待测物载台，所述第一光源设置在所述孔洞侧壁上方，以提供所述孔洞侧壁照明光源，所述第一光源的类型包括同轴光源、侧向光源或环形光源，所述第二光源设置在所述孔洞侧壁下方，以提供所述孔洞侧壁照明光源，所述第二光源包括一面光源，其中所述面光源的面积与所述待测物成正比。
14.根据权利要求11所述的双侧式检测***，其特征在于：
所述第一反射镜具有一第一调整机构，用于调整所述第一反射镜装置的所述第一取像倾角的范围；
所述第二反射镜具有一第二调整机构，用于调整所述第二反射镜的所述第二取像倾角的范围；
所述第一反射镜包括一平面镜或一菱镜，用于由所述影像捕获设备通过所述第一反射镜撷取所述孔洞侧壁的第一侧影像；以及
所述第二反射镜包括一平面镜或一菱镜，用于由所述影像捕获设备通过所述第二反射镜撷取所述孔洞侧壁的第二侧影像。
15.根据权利要求11所述的双侧式检测***，其特征在于，所述第一取像倾角介于10度至20度之间；其中所述第二取像倾角的范围介于-10度至-20度之间。
16.一种双侧式检测***，用于检测待测物上的至少一个孔洞侧壁，所述双侧式检测***包括：
一待测物载台，用以承载所述待测物；
一影像捕获设备，设置在所述待测物载台一侧，用以撷取待测物影像；以及
多个如权利要求10所述的成对反射镜组装置，分别对应所述待测物的孔洞侧壁设置，所述影像捕获设备通过所述反射镜撷取所述孔洞侧壁的第一侧影像以及第二侧影像。
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