CN111201393A - 手动阀装置和流体控制装置 - Google Patents

手动阀装置和流体控制装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111201393A
CN111201393A CN201880063249.3A CN201880063249A CN111201393A CN 111201393 A CN111201393 A CN 111201393A CN 201880063249 A CN201880063249 A CN 201880063249A CN 111201393 A CN111201393 A CN 111201393A
Authority
CN
China
Prior art keywords
manual valve
operating member
drive mechanism
valve device
protective cover
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201880063249.3A
Other languages
English (en)
Inventor
渡边一诚
中田知宏
稻田敏之
篠原努
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Publication of CN111201393A publication Critical patent/CN111201393A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means
    • F16K31/52—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam
    • F16K31/524—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with a cam
    • F16K31/52408—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with a cam comprising a lift valve
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means
    • F16K31/52—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam
    • F16K31/524—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with a cam
    • F16K31/52491—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with a cam comprising a diaphragm cut-off apparatus
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means
    • F16K31/52—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam
    • F16K31/524—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with a cam
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means
    • F16K31/60—Handles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K35/00—Means to prevent accidental or unauthorised actuation
    • F16K35/02—Means to prevent accidental or unauthorised actuation to be locked or disconnected by means of a pushing or pulling action
    • F16K35/027—Means to prevent accidental or unauthorised actuation to be locked or disconnected by means of a pushing or pulling action the locking mechanism being actuated by pushing or pulling the valve actuator, the valve actuator being rotated subsequently to bring the valve closure element in the desired position
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mechanically-Actuated Valves (AREA)

Abstract

本发明提供一种适用于小型化、集成化而成的流体控制装置的手动阀装置。手动阀装置具有内置驱动机构(50)的筒状的壳体(70)、用于使驱动机构(50)进行工作的操作构件(110)、以及将作用于该操作构件(110)的力转换为该驱动机构的驱动力的凸轮部(80)，该手动阀装置具有设于壳体(70)的上端侧并将操作构件(110)的至少局部覆盖的保护罩(100)，操作构件(110)具有安装部(110a)，用于使驱动机构(50)的工作所需的力作用于操作构件(110)的辅助工具(600)能够拆卸地安装于该安装部(110a)，保护罩(100)形成为能够使辅助工具(600)到达操作构件(110)的安装部(110a)。

Description

手动阀装置和流体控制装置
技术领域
本发明涉及一种手动阀装置和将包括该阀装置的流体设备集成化而成的流体控制装置。
背景技术
例如，作为为了向半导体制造装置等的腔室供给各种工艺气体而使用的流体控制装置，公知有在下述引用文献1等中公开的流体控制装置。
在上述那样的流体控制装置的领域中，对于工艺气体的供给控制要求更高的响应性，为此正在推进使流体控制装置尽可能地小型化、集成化。
专利文献1：日本特开2002-206700号公报
发明内容
发明要解决的问题
另外，在上述那样的流体控制装置中包括通常不使用但是在紧急时、对装置执行完全停止时使用的手动阀。由于这样的手动阀包括手动操作用的手柄、杆，因此如果与其他自动阀装置等流体设备的小型化相应地使这些部件小型化，则手动操作变得困难，因此存在难以小型化的问题。
另外，为了防止手动阀被意外地操作，在手动操作用的手柄、杆设置保护框、盖、罩等，也需要设置表示开闭状态的指示器，小型化变得更加困难。
本发明的一个目的在于提供一种适用于小型化、集成化而成的流体控制装置的手动阀装置。
本发明的另一个目的在于提供一种包括上述手动阀装置的小型化、集成化而成的流体控制装置。
用于解决问题的方案
用于达成上述目的的本第1发明的手动阀装置具有：块状的阀体，其划定相对的底面和上表面并且划定流体流路；阀芯，其设为能够对所述阀体的流路进行开闭；驱动机构，其沿着开闭方向驱动所述阀芯；筒状的壳体，其与所述阀体连接并从该阀体的上表面朝向上方延伸，内置所述驱动机构；操作构件，其用于使所述驱动机构进行工作；以及凸轮部，其将作用于该操作构件的力转换为该驱动机构的驱动力，所述手动阀装置的特征在于，
该手动阀装置具有设于所述壳体的上端侧并将所述操作构件的至少局部覆盖的保护罩，
所述操作构件具有安装部，用于使所述驱动机构的工作所需的力作用于该操作构件的辅助工具能够拆卸地安装于该安装部，
所述保护罩形成为能够使所述工具到达和操作所述操作构件的安装部。
优选的是，能够采用所述操作构件和保护罩形成为在俯视时收纳于所述壳体的外形内的结构。更优选的是，能够采用所述安装部形成为凹状的结构。
优选的是，能够采用所述操作构件被保持为能够以所述壳体的中心轴线为中心进行旋转、所述保护罩覆盖所述操作构件的外周、所述安装部形成于所述操作构件的上端面的结构。
更优选的是，能够采用以下结构：所述驱动机构具有：可动杆，其被保持为能够沿着开闭所述阀芯的方向移动；和辊构件，其能够在形成于所述凸轮部的凸轮面上进行移动，并且，以能够旋转的方式被保持于所述可动杆，所述凸轮面具有卡定部，所述卡定部供所述辊构件卡定并且将所述操作构件保持在打开位置或关闭位置。
优选的是，能够采用以下结构：当打开或关闭所述流路时，所述操作构件被维持为所述操作构件的上端部的局部从所述保护构件突出的状态，当从打开状态关闭所述流路或从关闭状态打开所述流路时，所述操作构件被维持为该操作构件整体收纳在所述保护构件的内部的状态。
另外，用于达成上述目的的本第2发明的手动阀装置具有：块状的阀体，其划定相对的底面和上表面并且划定流体流路；阀芯，其设为能够对所述阀体的流路进行开闭；驱动机构，其沿着开闭方向驱动所述阀芯；筒状的壳体，其与所述阀体连接并从该阀体的上表面朝向上方延伸；操作构件，其用于使所述驱动机构进行工作；以及凸轮部，其将作用于该操作构件的倾斜动作力转换为该驱动机构的驱动力，所述手动阀装置的特征在于，
该手动阀装置具有设于所述壳体的上端侧并将所述操作构件的至少局部覆盖的保护罩，
所述操作构件具有安装部，用于使所述驱动机构的工作所需的倾斜动作力作用于该操作构件的辅助杆能够拆卸地安装于该安装部，
所述保护罩形成为能够使所述辅助杆到达所述操作构件的安装部。
优选的是，能够采用所述安装部形成为凹状的结构。
优选的是，能够采用以下结构：所述驱动机构具有被保持为能够沿着开闭所述阀芯的方向移动的可动杆，所述操作构件以能够以预定轴线为中心进行倾斜动作的方式连结于所述可动杆，所述凸轮部具有形成于所述操作构件的凸轮面、和与该凸轮面卡合并承受作用于所述操作构件的倾斜动作力的承受面。
更优选的是，能够采用以下结构：具有所述承受面的承受构件具有供所述可动杆贯通的贯通孔，该承受构件在所述保护罩内被保持于所述壳体。另外，能够采用以下结构：具有所述承受面的承受构件具有供所述可动杆贯通的贯通孔，该承受构件在所述保护罩内被保持于所述壳体。
本发明的流体控制装置具有多个流体设备，其特征在于，
在所述流体设备包括上述结构的手动阀装置。
根据本发明，能够获得适用于小型化、集成化而成的流体控制装置的手动阀装置，并且能够可靠地防止手动阀装置被意外地操作。
附图说明
图1A是本发明的一实施方式的手动阀装置的剖视图，为表示阀关闭状态的图。
图1B是图1A的手动阀装置的俯视图。
图2是图1A的手动阀装置的剖视图，为表示阀打开状态的图。
图3A是图1A的手动阀装置的主要部分外观立体图，为表示阀关闭状态的图。
图3B是表示图3A的手动阀装置的内部构造的在局部包括截面的立体图。
图4A是图2的手动阀装置的主要部分外观立体图，为表示阀打开状态的图。
图4B是表示图4A的手动阀装置的内部构造的在局部包括截面的立体图。
图5是壳体构件的外观立体图。
图6A是操作构件的立体图。
图6B是操作构件的纵剖视图。
图7是保护罩的立体图。
图8是作为辅助工具的扭矩扳手的主视图。
图9A是本发明的一实施方式的手动阀装置的剖视图。
图9B是图9A的手动阀装置的俯视图。
图10A是图9A的手动阀装置的剖视图，为表示阀打开状态的图。
图10B是图10A的手动阀装置的俯视图。
图11A是图9A的手动阀装置的主要部分外观立体图，为表示阀关闭状态的图。
图11B是表示图11A的手动阀装置的内部构造的在局部包括截面的立体图。
图12A是图10A的手动阀装置的主要部分外观立体图，为表示阀打开状态的图。
图12B是表示图12A的手动阀装置的内部构造的在局部包括截面的立体图。
图13是可动杆的外观立体图
图14是壳体构件的外观立体图。
图15是承受构件的外观立体图。
图16A是操作构件的外观立体图。
图16B是操作构件的侧视图。
图17是表示应用本发明的手动阀的流体控制装置的一个例子的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图对本第1发明和第2发明的实施方式进行说明。
首先，参照图17说明应用本发明的流体控制装置的一个例子。
对于图17所示的流体控制装置，在金属制的底板BS上设有沿着宽度方向W1、W2排列并且沿着长度方向G1、G2延伸的5根导轨构件500。此外，W1、W2、G1、G2分别示出了正面侧、背面侧、上游侧、下游侧的方向。在各导轨构件500借助多个流路块200设置各种流体设备210A～210E，利用多个流路块200分别形成有供流体从上游侧朝向下游侧流通的未图示的流路。
在此，“流体设备”是控制流体的流动的流体控制装置所使用的设备，为包括划定流体流路的主体并且具有在该主体的表面开口的至少两个流路口的设备。具体而言，包括开闭阀(双通阀)210A、调节器210B、压力计210C、开闭阀(三通阀)210D、质量流量控制器210E等，但是并不限定于此。此外，导入管310与上述未图示的流路的上游侧的流路口连接。
若使流体设备小型化、集成化，则由图17可知，在整体上细长地形成，宽度方向W1、W2上的相邻的流体设备之间几乎不存在间隙。
本发明的手动阀装置能够应用于例如开闭阀210A的位置。
＜实施方式1＞
接着，参照图1A～图7对本第1发明的一实施方式的手动阀装置进行说明。此外，在附图中，箭头A1、A2表示上下方向，A1示出了上方向，A2示出了下方向。
手动阀装置1具有阀体20、作为阀芯的隔膜40、驱动机构50、供驱动机构50内置的壳体70、保护罩100、以及操作构件110。
阀体20划定相对的上表面20a和底面20b，并且划定在底面20b具有开口部21a、22a的气体等的流路21、22。流路21、22借助未图示的密封构件与其他流路构件连接。在阀体20形成有贯通上表面20a和底面20b的贯通孔23、24。这些贯通孔23、24是用于将阀体20固定于上述流路块200的紧固螺栓用的孔。
阀座30设于阀体20的流路21的周围。阀座30利用PFA、PTFE等树脂形成为能够弹性变形。
隔膜40作为阀芯发挥作用，具有大于阀座30的直径的直径，并且利用不锈钢、NiCo系合金等金属、氟系树脂呈球壳状形成为能够弹性变形。隔膜40被壳体构件71的下端面借助按压转接器42朝向阀体20按压，由此，隔膜40以能够相对于阀座30抵接、分离的方式支承于阀体20。在图1A中，隔膜40被隔膜按压件51的按压而发生弹性变形，处于被按压于阀座30的状态。当释放隔膜按压件51所进行的按压时，恢复为球壳状。在隔膜40被按压于阀座30的状态下，流路21被关闭。如图2所示，当隔膜40从阀座30离开时，流路21被打开并且与流路22相连通。
壳体70包括形成为圆筒状并且相互连接着的壳体构件71、72，通过将壳体构件71的下端部螺纹接合于阀体20的上侧，从而壳体70固定于阀体20。
驱动机构50具有隔膜按压件51、可动杆52和螺旋弹簧54。隔膜按压件51和可动杆52被保持为能够在壳体70内沿上下方向A1、A2移动，通过将在可动杆52的中途形成的凸缘部52b抵接于壳体构件71的上端面，从而可动杆52被限制向下方向A2的移动。
螺旋弹簧54介于可动杆52的凸缘部52b与壳体构件72之间，在恢复力的作用下，平常对可动杆52朝向下方向A2施力。手动阀装置1是通常流路21被隔膜40关闭的常闭的阀。
如图1A和图2所示，在可动杆52的上端部形成有沿着与可动杆52的中心轴线正交的朝向贯通的销孔52a，在该销孔52a***有销81，并且在销81的两端部嵌入有辊构件82。
如图5所示，在壳体构件72的上端形成有凸轮面80，该凸轮面80和上述辊构件82构成将作用于操作构件110的力转换为驱动机构50的驱动力的凸轮部(参照图4B)。在凸轮面80具有能够供辊构件82卡定的第1卡定部80a和在上下方向A1、A2上形成于比第1卡定部80a低的位置的第2卡定部80b。第1卡定部80a和第2卡定部80b分别形成于对称的两个部位，第1卡定部80a和第2卡定部80b形成在关于壳体构件72的中心轴线彼此分开90度的位置。即，手动阀装置1通过使操作构件110在正反方向上旋转90度来开闭流路21。
如图6A和图6B所示，操作构件110是上端部封闭的圆筒状构件，并且在圆筒部分的对称的位置形成有供上述辊构件82的局部***的***孔110b。在上端侧的中心部形成有安装凹部110a，如图8所示的作为辅助工具的扭矩扳手600的顶端部600a装卸自如地嵌入安装凹部110a。
如图7所示，保护罩100是圆筒状构件，与壳体构件72的上端部连接并且由螺纹构件固定。保护罩100的上端侧的开口100a形成为操作构件110的上端侧的圆柱部分能够***的直径。
在此，图1B是手动阀装置1的俯视图，图中B1、B2是阀体20的长度方向(流体的流通方向)，C1、C2是宽度方向。由图1B可知，保护罩100和操作构件110收纳于壳体70的外形内并且收纳于阀体20的上表面20a的外形内。因此，能够将手动阀装置1应用于图17所示的流体设备小型化、集成化而成的流体控制装置。
如图2所示，通过将保持在销81的两端部的辊构件82的局部***于操作构件110的***孔110b，能够传递操作构件110和可动杆52之间的力。另外，在操作构件110的外周设有保护罩100，利用该保护罩100的内周面对辊构件82相对于销81的轴线方向的移动进行限制，辊构件82不会从销81脱落。
在如图1A所示的关闭状态下，辊构件82被定位在位于凸轮面80的低位侧的第2卡定部80b。另外，如图3A和图3B所示，操作构件110整体处于收纳在保护罩100内的状态。
为了从该状态设为图2所示的打开状态，将扭矩扳手600安装于操作构件110的安装凹部110a，并且使操作构件110以壳体70的中心轴线为中心进行旋转。辊构件82受到从凸轮面80向上方向A1侧移动的凸轮作用，可动杆52克服螺旋弹簧54的施力而向上方向A1移动。如图4A和图4B所示，通过使操作构件110旋转90度，辊构件82被定位并卡定在位于高位侧的第1卡定部80a。随着辊构件82的动作，如图4A和图4B所示操作构件110向上方向A1移动，并且成为上端部的局部从保护罩100的上端面突出的状态。
像这样，能够根据操作构件110相对于保护罩100的位置来判断手动阀装置1的开闭状态。
＜实施方式2＞
接着，参照图9A～图16B对本第2发明的一实施方式(实施方式2)的手动阀装置进行说明。此外，对与实施方式1的手动阀同样的构造省略说明。
如图13所示，对于实施方式2的手动阀，在可动杆52的上端部形成有沿着与可动杆52的中心轴线正交的朝向贯通的销孔52a，在该销孔52a***图9A和图10A所示的销90。
另外，如图16A和图16B所示，操作构件210形成有安装凹部210a，图9A、图10A中虚线所示的圆棒状的辅助杆700的顶端能够拆卸地安装于安装凹部210a，操作构件210具有从上端侧朝向下方平行地延伸的相对壁部210b。相对壁部210b的各自的下端面侧成为倾斜以及弯曲的凸轮面210f，另外，在相对壁部210b形成有垂直于壁面的销孔210h。在两个销孔210h***上述销90。
若在操作构件210的两个相对壁部210b之间***可动杆52的上端部，并且在销孔52a和销孔210h***销90，则操作构件210被保持为以销90为中心相对于可动杆52自如地倾斜动作。此外，通过将形成为圆筒状的保护罩400外套并且固定于图14所示的壳体构件73的上端部，销90被保护罩400的内周面限制移动，不会从销孔52a和销孔210h脱落。
另外，如图16B所示，在操作构件210的凸轮面210f的一端侧形成有呈凸状弯曲的卡定凸部210g，通过将该卡定凸部210g嵌入后述的承受构件180的卡定凹部180t，能够锁定操作构件210的动作。
如图15所示，承受构件180具有供可动杆52的上端部***的贯通孔180h、以夹着可动杆52的方式形成的两个突出部180a、以及在两个突出部180a的两侧形成并供操作构件210的凸轮面210f卡合的承受面180f。在承受面180f形成有供操作构件210的局部卡定的卡定凹部180t。两个突出部180a的相对面成为以可动杆52能够通过的方式弯曲的弯曲面180b。
保护罩400如上所述是圆筒状的构件，在上端部包括彼此相对的保护壁部200b。操作构件210配置为其大部分被夹持在保护壁部200b之间，保护壁部200b防止物体等意外地碰撞操作构件210。
在此，图9B和图10B是手动阀装置1B的俯视图，图中B1、B2为阀体20的长度方向(流体的流通方向)，C1、C2为宽度方向。由图9B和图10B可知，保护罩400和操作构件210收纳于阀体20的上表面20a的外形内。因此，能够将手动阀装置1B应用于图9A、图9B所示的、流体设备小型化、集成化而成的流体控制装置。
在图9A和图11B所示的关闭状态下，操作构件210的凸轮面210f处于从承受构件180的承受面180f分离的状态。从该状态起，若使用辅助杆700如图10A和图12B所示使操作构件210克服螺旋弹簧54的施力而倾斜动作时，则在凸轮面210f的凸轮作用下，与操作构件210连结的可动杆52向上方向A1移动，从而阀成为被打开的状态。此时，如图10A和图12B所示，通过操作构件210的卡定凸部210g嵌入于在承受构件180形成的卡定凹部180t，保持操作构件210的姿势并且维持阀被打开的状态。
在本实施方式中，能够根据操作构件210的姿势来判断阀的开闭状态，但是通过在承受构件180的突出部180a的表面标记表示开闭的指示器，从而提高阀的开闭状态的视觉辨认性。
在上述实施方式中，例示了在操作构件形成凸轮部的凸轮面、在承受构件形成承受面的情况，但是也能够在承受构件侧形成凸轮面、在操作构件侧形成承受面。
如上所述，根据本发明，能够获得一种优选应用于流体设备小型化、集成化而成的流体控制装置的手动阀装置。
在上述本发明的实施方式1～2中，例示了常闭型的手动阀装置，但是本发明并不限定于此，也能够应用于常开型的手动阀装置。
附图标记说明
1、1B、手动阀装置；20、阀体；20a、上表面；20b、底面；21、流路；21a、开口部；22、流路；22a、开口部；23、24、贯通孔；30、阀座；40、隔膜；42、按压转接器；50、驱动机构；51、隔膜按压件；52、可动杆；52a、销孔；52b、凸缘部；54、螺旋弹簧；70、壳体；71、72、73、壳体构件；80、凸轮面；80a、第1卡定部；80b、第2卡定部；81、销；82、辊构件；90、销；100、保护罩；100a、开口；110、操作构件；110a、安装凹部；110b、***孔；180、承受构件；180a、突出部；180b、弯曲面；180f、承受面；180h、贯通孔；180t、卡定凹部；200、流路块；200b、保护壁部；210、操作构件；210A、开闭阀；210B、调节器；210C、压力计；210D、流体设备；210E、质量流量控制器；210a、安装凹部；210b、相对壁部；210f、凸轮面；210g、卡定凸部；210h、销孔；310、导入管；400、保护罩；500、导轨构件；600、扭矩扳手；600A、顶端部；700、辅助杆；A1、上方向；A2、下方向；BS、底板；G1、长度方向；G2、长度方向；W1、宽度方向；W2、宽度方向。

Claims (12)

1.一种手动阀装置，其具有划定相对的底面和上表面并且划定流体流路的块状的阀体、设为能够对所述阀体的所述流体流路进行开闭的阀芯、沿着开闭方向驱动所述阀芯的驱动机构、与所述阀体连接并从该阀体的所述上表面朝向上方延伸且内置所述驱动机构的筒状的壳体、用于使所述驱动机构进行工作的操作构件、以及将作用于该操作构件的力转换为该驱动机构的驱动力的凸轮部，其特征在于，
所述手动阀装置具有设于所述壳体的上端侧并将所述操作构件的至少局部覆盖的保护罩，
所述操作构件具有安装部，用于使所述驱动机构的工作所需的力作用于该操作构件的辅助工具能够拆卸地安装于该安装部，
所述保护罩形成为能够使所述辅助工具到达所述操作构件的安装部。
2.根据权利要求1所述的手动阀装置，其特征在于，
所述操作构件和所述保护罩形成为在俯视时收纳于所述壳体的外形内。
3.根据权利要求1或2所述的手动阀装置，其特征在于，
所述安装部形成为凹状。
4.根据权利要求2或3所述的手动阀装置，其特征在于，
所述操作构件被保持为能够以所述壳体的中心轴线为中心进行旋转，
所述保护罩覆盖所述操作构件的外周，
所述安装部形成于所述操作构件的上端面。
5.根据权利要求4所述的手动阀装置，其特征在于，
所述驱动机构具有：
可动杆，其被保持为能够沿着开闭所述阀芯的方向移动；以及
辊构件，其能够在形成于所述凸轮部的凸轮面上进行移动，并且，以能够旋转的方式被保持于所述可动杆，
所述凸轮面具有卡定部，所述卡定部供所述辊构件卡定并且将所述操作构件保持在打开位置或关闭位置。
6.根据权利要求4或5所述的手动阀装置，其特征在于，
当关闭所述流路时，所述操作构件被维持为所述操作构件的上端部整体收纳在所述保护构件的内部的状态，当从关闭状态打开所述流路时，所述操作构件被维持为该操作构件的局部从所述保护构件突出的状态。
7.一种手动阀装置，其具有划定相对的底面和上表面并且划定流体流路的块状的阀体、设为能够对所述阀体的所述流体流路进行开闭的阀芯、沿着开闭方向驱动所述阀芯的驱动机构、与所述阀体连接并从该阀体的所述上表面朝向上方延伸的筒状的壳体、用于使所述驱动机构进行工作的操作构件、以及将作用于该操作构件的倾斜动作力转换为该驱动机构的驱动力的凸轮部，其特征在于，
所述手动阀装置具有设于所述壳体的上端侧并将所述操作构件的至少局部覆盖的保护罩，
所述操作构件具有安装部，用于使所述驱动机构的工作所需的倾斜动作力作用于该操作构件的辅助杆能够拆卸地安装于该安装部，
所述保护罩形成为能够使所述辅助杆到达所述操作构件的安装部。
8.根据权利要求7所述的手动阀装置，其特征在于，
所述安装部形成为凹状。
9.根据权利要求7或8所述的手动阀装置，其特征在于，
所述驱动机构具有被保持为能够沿着开闭所述阀芯的方向移动的可动杆，
所述操作构件以能够以预定轴线为中心进行倾斜动作的方式连结于所述可动杆，
所述凸轮部具有形成于所述操作构件的凸轮面、和与该凸轮面卡合并承受作用于所述操作构件的倾斜动作力的承受面。
10.根据权利要求9所述的手动阀装置，其特征在于，
具有所述承受面的承受构件具有供所述可动杆贯通的贯通孔，该承受构件在所述保护罩内被保持于所述壳体。
11.根据权利要求10所述的手动阀装置，其特征在于，
所述承受构件还具有卡定部，所述卡定部供所述操作构件的局部卡合，并且将该操作构件维持在打开状态或关闭状态。
12.一种流体控制装置，其具有多个流体设备，其特征在于，
在所述流体设备包括权利要求1～11中任一项所述的手动阀装置。
CN201880063249.3A 2017-09-29 2018-09-04 手动阀装置和流体控制装置 Pending CN111201393A (zh)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017189432 2017-09-29
JP2017-189554 2017-09-29
JP2017189554 2017-09-29
JP2017-189432 2017-09-29
PCT/JP2018/032708 WO2019065117A1 (ja) 2017-09-29 2018-09-04 手動バルブ装置および流体制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111201393A true CN111201393A (zh) 2020-05-26

Family

ID=65901244

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201880063249.3A Pending CN111201393A (zh) 2017-09-29 2018-09-04 手动阀装置和流体控制装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11346461B2 (zh)
JP (1) JP7253803B2 (zh)
KR (1) KR102256211B1 (zh)
CN (1) CN111201393A (zh)
TW (1) TWI729312B (zh)
WO (1) WO2019065117A1 (zh)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE616251C (de) * 1934-06-05 1935-07-24 Metallwerke Zoeblitz A G Absperrventil, insbesondere fuer Brennstoffleitungen
US3070125A (en) * 1959-08-17 1962-12-25 Gulley Irvin Glenu Manually operated supply and vent valve
FR1580379A (zh) * 1968-07-02 1969-09-05
JPH0842742A (ja) * 1994-08-02 1996-02-16 Nisso Eng Kk 手動操作バルブのハンドル機構
JP2009068664A (ja) * 2007-09-18 2009-04-02 Fujikin Inc 流体制御器
CN101839368A (zh) * 2009-03-22 2010-09-22 新疆天业（集团）有限公司 灌溉管路中电磁阀上的执行器
CN102650343A (zh) * 2012-04-17 2012-08-29 宁波市鄞州液压机械有限公司 气胀救生设施中速放阀的释放装置
CN104500770A (zh) * 2014-12-30 2015-04-08 苏州福润机械有限公司 一种双向推塞式阀门
CN106051187A (zh) * 2015-04-01 2016-10-26 喜开理株式会社 手动阀

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61123865U (zh) 1985-01-22 1986-08-04
JPH0380163U (zh) 1989-12-06 1991-08-16
TW479773U (en) * 1996-12-01 2002-03-11 Tadahiro Ohmi Fluid control valve and fluid supply/exhaust system
JP4089842B2 (ja) 1998-04-25 2008-05-28 株式会社フジキン 空圧作動式制御器の手動作動装置及びこの作動装置を備えた空圧作動式制御器
JP3570620B2 (ja) * 1999-11-24 2004-09-29 日本ダイヤバルブ株式会社 急速開閉型ダイヤフラム弁
JP3482601B2 (ja) 2000-06-30 2003-12-22 東京エレクトロン株式会社 流体制御装置
JP4189576B2 (ja) 2002-11-20 2008-12-03 株式会社フジキン 流体制御器
TWI324664B (en) * 2004-02-10 2010-05-11 Fujikin Kk Fluid controller
JP4237781B2 (ja) * 2006-06-29 2009-03-11 シーケーディ株式会社 流量制御弁

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE616251C (de) * 1934-06-05 1935-07-24 Metallwerke Zoeblitz A G Absperrventil, insbesondere fuer Brennstoffleitungen
US3070125A (en) * 1959-08-17 1962-12-25 Gulley Irvin Glenu Manually operated supply and vent valve
FR1580379A (zh) * 1968-07-02 1969-09-05
JPH0842742A (ja) * 1994-08-02 1996-02-16 Nisso Eng Kk 手動操作バルブのハンドル機構
JP2009068664A (ja) * 2007-09-18 2009-04-02 Fujikin Inc 流体制御器
CN101839368A (zh) * 2009-03-22 2010-09-22 新疆天业（集团）有限公司 灌溉管路中电磁阀上的执行器
CN102650343A (zh) * 2012-04-17 2012-08-29 宁波市鄞州液压机械有限公司 气胀救生设施中速放阀的释放装置
CN104500770A (zh) * 2014-12-30 2015-04-08 苏州福润机械有限公司 一种双向推塞式阀门
CN106051187A (zh) * 2015-04-01 2016-10-26 喜开理株式会社 手动阀

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2019065117A1 (ja) 2020-09-10
KR102256211B1 (ko) 2021-05-26
KR20200031091A (ko) 2020-03-23
US11346461B2 (en) 2022-05-31
TW201917315A (zh) 2019-05-01
JP7253803B2 (ja) 2023-04-07
WO2019065117A1 (ja) 2019-04-04
TWI729312B (zh) 2021-06-01
US20200278046A1 (en) 2020-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5202117B2 (ja) 減圧弁
US9086701B2 (en) Pressure reducing apparatus
JP7145884B2 (ja) 残圧機能を有するコンパクトなガスボンベ弁
JP2008534885A (ja) 拡張可能な気体又は液体分配システム
CN107965596B (zh) 减压阀
CN101680559A (zh) 压力调节阀
CA2675888A1 (en) Valve flow adjustment device
WO2004062733A1 (ja) 急速開放調圧弁とそれを用いる消火装置、高圧ガスボンベ装置および流体の急速供給装置
CA2918591C (en) Encapsulated valve with lever action
CN111201393A (zh) 手动阀装置和流体控制装置
US20150021503A1 (en) Pressure Reducer With Flywheel For Closing And Putting Into Service
WO2018227289A1 (en) Release valve with fail-safe
KR102237047B1 (ko) 밸브 장치 및 유체제어장치
US11339881B2 (en) Valve device and fluid control device
JP3403063B2 (ja) 急速開放調圧弁
CA3067236A1 (en) Pressure-balanced relief valve
CN113803473B (zh) 一种流量调节空气阀门
EP4242505A2 (en) Pressure-balanced valve
JP2008151157A (ja) 減圧弁
JP2006046533A (ja) 自動弁の開度調整構造

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20200526

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication