CN109424762B - 促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门，以能够对任意的促动器及电磁阀容易适用或解除该适用，并且整体极为简单地构成，并且不损害促动器的紧凑性而容易在任意侧面周方向位置自由拆装电磁阀。促动器用电磁阀的安装构造具备：设置在圆筒型促动器的下部的基座体；以及从促动器主体的外侧能够自由拆装地安装的安装构件，该安装构件具有以延伸设置在促动器主体的靠近侧面位置的状态形成的固定部、和安装在该固定部的流体控制用的电磁阀，固定该电磁阀的安装构件设置成能够围绕促动器主体的侧面转动。

Description

促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门
技术领域
本发明涉及促动器(actuator)用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门，特别地，涉及极适合于ALD工艺的促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门。
背景技术
近年来，作为半导体制造工艺，ALD(Atomic Layer Deposition：原子层沉积法)工艺的引入得到进展。ALD工艺中，在高温(约200度)气氛下，通过极短周期的高速循环，从气体供给***交替地向腔室供给前驱体、惰性气体、氧化种气体等的多种气体，以纳米级使原子层一层一层等质、均匀地累积到腔室内的晶圆的方式形成薄膜。作为这样的用于气体供给***的阀门，从空气操作的(air operated)或阀门特性的优点等的观点，多数情况下采用具备气动促动器的直型隔膜阀门(direct diaphragm valve)。
另一方面，在如上所述的阀门的开闭操作(促动器的空气压操作)中，往往使随着通电产生的螺线管的励磁而切换压缩空气流路的电磁阀介于供给压缩空气的供气源和促动器之间，以该电磁阀进行空气操作，一般在这种情况下，电磁阀在与促动器(汽缸)分离的位置以气管等较长的空气配管连接，且促动器和电磁阀分离而分离独立地构成。
若介入有连接促动器和电磁阀之间的较长的空气配管，则在该较长的配管内的容积量的操作空气到达促动器为止的时间产生损耗，从而促动器对于电磁阀的切换动作的响应性变差，特别是在伴随着高速切换而要求极高的速应性、而且1次气体流量较小的ALD工艺中，该问题变得显著。
相对于此，经由既定电磁阀安装构造，将空气操作的促动器(汽缸)和其切换用电磁阀做成一体地接近/集成构造，从而使设置在它们之间的配管距离达到最小限乃至全无，提高促动器和电磁阀的响应性或阀门的维护性，特别是作为在ALD工艺中谋求良好的特性的现有技术，提出了专利文献1、2。
在专利文献1(同文献图1、段落0036)中，为了进一步减少驱动用流体通路的空间部而提高阀门的开闭工作的响应性的目的，示出了控制供给到气压式促动器内的驱动用流体(空气)的流通的电磁阀直接固定于促动器的上表面，且具备排除了空气配管的安装构造的隔膜阀门。
在专利文献2中，示出了供给操作流体的操作用电磁阀的安装构造，该安装构造中提出了这样的构造：通过具有内部流路的既定构造的安装螺钉，经由密封构件能够直接对向汽缸上表面侧开口的操作端口固定既定构造的安装块，由此将电磁阀接近固定在汽缸上表面侧。
除了上述之外，还存在具备能够经由将电磁阀固定于促动器的固定用金属零件，将电磁阀转动自如地固定在促动器的侧面侧的安装构造的阀门产品。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特许第5054904号；
专利文献2：日本特许第6166855号。
发明内容
发明要解决的课题
然而，专利文献1中，电磁阀固定于促动器的上表面，因此促动器的全高会显著增加，从而作为阀门或气体供给***、或半导体制造装置的紧凑性会大受影响。近年来对集成化/紧凑性的要求日益增高的半导体制造装置中，全高增加到按电磁阀的高度左右可能成为极为严重的缺点。而且，在这种促动器的上表面往往会需要感测活塞的开闭的开闭传感器等，在该情况下，传感器类和电磁阀会一起集成到促动器上表面，因此电磁阀的安装位置/方向或安装状态的姿态上完全没有自由度，从而促动器的使用性会大受影响，因条件而不能使用。
另外，参照同文献的电磁阀和汽缸上表面的固定构造，由于需要用于能够以连通状态直接固定电磁阀侧及汽缸侧两者的专用固定构造，所以作为产品的成本性或使用性/通用性极差。例如，想要将任意选择的市售的电磁阀适时地固定于汽缸的情况下，必须加工形成用于固定电磁阀和汽缸两者的固有构造，因此会非常花费成本，并且电磁阀安装方向的自由度极小，另外，不能更换到可与其它种类配合的电磁阀而维护性也差，而且加工后不能退回到通常构造。
专利文献2也与上述同样地电磁阀以原本的占用空间固定在促动器上表面，因此该文献也出现上述问题点。另外，在该文献的安装构造中，至少作为专用部件所需要的安装螺钉或安装块极复杂且为特殊构造，因此不仅可以说需要这样的部件时作为产品的成本性/生产性极差，而且还要担心因电磁阀或产品的使用条件而不能使用。进而，虽然提出使固定的电磁阀相对于促动器旋转自如的构造，但是用于实现它的构造也极为特殊且复杂。
另一方面，由于上述产品所具备的托座(固定用金属零件)对于促动器和搭载该促动器的阀门预先完全装入而构成，并不是对促动器和阀门自由拆装的构造。因此，在想要对通常的促动器从后面附加这样的固定用金属零件(电磁阀)、或者解除这样的固定用金属零件的情况下，每次需要分解促动器而折装固定用金属零件，因而，作为电磁阀安装构造，便利性极差、还影响促动器的维护性。
即，在上述产品的情况下，从后面附加电磁阀或者进行电磁阀的更换的情况下，需要暂且拆下促动器和阀门等的分解作业，但是从后面附加电磁阀的现场作业往往会成为困难/繁杂的作业，也有可能需要暂且从每个带有促动器的阀门设置场所拆下等的应对。另外，促动器和阀门往往在搭起来的状态下实施阀体的行程(stroke)调整等的一些调整，一旦分解还有该调整不准确而不能使用的情况。因此，在上述产品中进行电磁阀的更换的情况下，除了分解作业以外也可能发生还需要调整作业等的事态，担心作业性变得极差。
本发明是为了解决上述的问题点而开发的，其目的在于提供一种促动器用电磁阀的安装构造和带有促动器的阀门，能够对任意的带有促动器的阀门原样容易地安装或拆下电磁阀，整体极为简单地构成，并且在不损害促动器的紧凑性而且不挑场所地容易在任意的侧面周方向位置自由拆装电磁阀。
用于解决课题的方案
为了达成上述目的，本发明提供一种促动器用电磁阀的安装构造，其具备：设置在圆筒型促动器的下部的基座体；以及从促动器主体的外侧能够自由拆装地安装的安装构件，该安装构件具有以延伸设置在促动器主体的靠近侧面位置的状态形成的固定部、和安装在该固定部的流体控制用的电磁阀，固定该电磁阀的安装构件设置成能够围绕促动器主体的侧面转动。
本发明提供一种促动器用电磁阀的安装构造，其具备：设置在促动器的下部的基座体；以及从促动器主体的外侧能够自由拆装地安装的安装构件，该安装构件具有以延伸设置在促动器主体的靠近侧面位置的状态形成的固定部、和安装在该固定部的流体控制用的电磁阀，并且该安装构件是由具有***槽的安装部和固定部构成的截面L字形状的构件，将***槽***形成在基座体的轴装部的保持部而使安装构件保持在基座体。
本发明提供一种促动器用电磁阀的安装构造，其特征在于，具备：设置在圆筒型促动器主体的下部的基座体；以及从所述促动器主体的外侧能够自由拆装地安装的安装构件，该安装构件是截面L字形状的构件，并且具有以圆板状形成且在轴心位置以切口状形成***槽而具有大致U字形状的孔部的安装部、和以板状形成的固定部，在所述固定部安装有流体控制用的电磁阀，在所述基座体的轴装部形成有环状且外周槽状的保持部，向该保持部***所述***槽而使得所述安装构件保持在所述基座体，在该保持状态下，在所述基座体的与所述安装部对置的下表面，朝着与所述基座体同心状地形成的作为放螺钉槽的环状槽通过所述安装部的下方的孔部地螺合螺栓，并使该螺栓的螺钉部容纳到所述环状槽内，从而所述安装构件设置成能够绕着所述促动器主体的侧面转动而不会脱落。
本发明中，优选使螺栓从安装部的下方朝着形成在基座体的下表面的环状槽螺合，从而能够使安装构件转动而不会脱落的促动器用电磁阀的安装构造。
本发明中，优选将电磁阀螺栓固定在固定部时，使垫圈介于固定部与电磁阀之间的促动器用电磁阀的安装构造。
本发明提供一种带有促动器的阀门，其将促动器用电磁阀的安装构造适用于流体控制用的阀门。
本发明提供阀门为ALD阀门的带有促动器的阀门。
发明效果
依据本发明，可以对搭载到阀门的促动器原样安装电磁阀安装用的安装构件，另一方面，在拆下电磁阀时，也无需分解阀门和促动器而能够直接拆下，因此与现有例相比，维护性相当容易，而且，能够在环绕促动器的侧面的任意位置设置电磁阀，因此不挑场所而能够紧凑地设置电磁阀。
依据本发明，仅向促动器的下表面***截面大致L字形且板状的安装构件就能进行安装，其处理也能简单地进行。另外，可以对搭载到阀门的促动器原样安装电磁阀安装用的安装构件，另一方面，在拆下电磁阀时，也无需分解阀门和促动器而能够直接拆下，因此与现有例相比，维护性相当容易。
依据本发明，安装构件仅仅将螺栓拧紧就不会脱落，且能够可靠地设置为能够旋转。
依据本发明，由于能够使垫圈介入在安装构件与电磁阀之间而可靠地进行安装，所以能够极力减少安装构件与电磁阀的接触面积，因此，例如在加热阀门时，能够尽可能地减少从安装构件传到电磁阀的热，从而能够对电磁阀的耐久性做出贡献。
依据本发明，由于将促动器用电磁阀的安装构造适用于流体控制用阀门，所以例如适用于气压式的带有促动器的隔膜阀门时，处理性良好，能够提供紧凑且具有耐久性的带有促动器的阀门。
依据本发明，可以得到特别是响应性优异、高温规格且稳定地确保具有再现性的流量，并且耐久性也优异的ALD阀门。
附图说明
图1是本发明的带有促动器的阀门的正视图；
图2是图1的侧面图；
图3是图1的纵截面图；
图4是本发明的安装构件的仰视图；
图5是图4的侧面图；
图6中(a)是本发明的基座体的纵截面图，(b)是(a)中的A－A线截面图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的具体实施方式(本例)的构造进行详细说明。图1是从正面方向观看固定电磁阀1而完成安装构件2的安装的状态的本例的带有促动器的阀门的外观的正视图，图2是图1中从左侧侧面观看的侧面图，图3是在图1中切断促动器主体3的轴心位置的纵截面图，示出了阀门的全开状态。
如图1、2所示，本例的带有促动器的阀门中，在下部具备本例的基座体4的外观为大致圆筒形状的空气压式促动器主体3搭载在本例的阀门主体5，本例的安装构件2安装在基座体4。另外，如图3所示，本例的阀门主体5为金属隔膜28直接坐到阀座26的直接触摸型的隔膜阀门，促动器主体3由汽缸34、壳体(casing)35、基座体4构成框体，在其下部经由螺母40设有具有阀门体27的阀门主体5。但是，促动器主体的外观形状并不限定于圆筒状，能够采用任意的形状。此外，这些促动器主体3和阀门主体5的具体构造和作用后述。
在图1～3中，电磁阀1并不特别受限制，但是在本例中是空气压式促动器操作用的电磁阀1，整体呈现收敛为大致矩形板状的紧凑形态，以用空气配管连接的状态介于未图示的供气源侧(汽缸)与促动器主体3之间，在利用速度控制器等的控制单元进行的既定控制之下，经通电根据未图示的内部的螺线管阀门的动作适当切换空气配管的流路开闭，从而具有控制对促动器主体3的压缩空气的供给(或排气)的功能。此外，图2的1a是向电磁阀1供给电流的电源电缆。
如图1所示，在电磁阀1的侧面，开口有与未图示的供气源侧连接的输入端口6和排出端口7，如图2所示，经由进行空气流路切换的电磁阀1的主体内部，在相反侧的侧面开口有输出端口8，在该输出端口经由接头9连接有供给线10(树脂制的透明软管)的一端。该供给线10的另一端10a经由所需最小限的长度而与接头11连接，该接头11与在促动器主体3上表面侧开口的连接部33连结，如后所述，能够向促动器主体3内部的空气室42适当供给(或排气)压缩空气。
在图1、2中，如果接头11为保持连接状态下绕着促动器主体3的轴心转动自如的万向接头(弯头)，如后所述，由于安装构件2在安装电磁阀1的状态下围绕促动器主体3转动自如，所以通过这些组合，能够将电磁阀1的安装位置调整到完全任意的侧面位置，而不会受限于接头11的方向，因此是优选的。进而，例如能够以单触摸连接供给线10端部，且只要随着开路环11a的按压能够解除连接，就更加提高本发明的安装构造的处理性/使用性，因此进一步优选。
另外，如图3所示，在促动器主体3上表面侧，连接有能够感测阀门的开闭的接近传感器12。传感器12的下端部被设置成能够接近后述的活塞31的上表面，通过接近能够感测活塞31的上下运动(阀门的开闭动作)。由此，能取得可以利用到促动器主体3或阀门等的设备的控制的数据。
接着，在图1～5中，说明本例的安装构件2的构造。首先，如图1～3所示，本发明的安装构造具备从促动器主体3的外侧能够自由拆装地安装的安装构件2，该安装构件2具有：以延伸设置在促动器主体3的靠近侧面位置的状态形成的固定部13；以及安装在该固定部13的流体控制用的电磁阀1。
本发明的固定部13如上所述，可以安装电磁阀1而进行固定，只要以延伸设置在促动器主体3的靠近侧面位置的状态形成，可根据实施而任意选择，通过该构造，使固定状态的电磁阀1紧凑地集成于往往空间上有富余的促动器的侧面侧空间，而不是接近传感器12等存在而固定位置可能受限制的上表面侧，从而有效地活用足下空间，并且抑制整体的占用容积的增大，能够避免促动器进一步地全高增大/大型化。
本发明的促动器用电磁阀的安装构造具备：设置在圆筒型促动器的下部的基座体；以及能够从促动器主体的外侧自由拆装地安装的安装构件，如果具有基座体，则不论种类如何，可以构成能够极为容易地适用于各种类型的促动器的安装构造，并且安装构件能够从促动器外侧自由拆装地安装，因此仅仅拆下该安装构件，就可以极为容易地将该安装构造从促动器解除后恢复到通常规格的促动器构造，因而，作为安装构造的便利性也高。
图4、5示出本例的安装构件2的具体构造，本例的安装构件2是由具有***槽15的圆板状的安装部14和固定部13构成的截面L字形状的构件。图4是从底面侧观看本例的安装构件2的仰视图，图5是图4中从右侧观看的右侧面图。此外，安装部14的外形不限于圆板状，可根据实施而任意选择，虽然未图示，但也可为四方形状/矩形状或多边形状等。但是，从紧凑化的观点来看，优选以配合促动器的外观形状的形状及大小形成。
在图4中，本例的安装构件2的底面侧成为以较薄的圆板状形成的安装部14，而在轴心位置以切口状形成***槽15呈大致U字形状。如后所述，该***槽15为了能够适宜转动自如地嵌合固定于基座体4的保持部16，其内径部15a形成为与以截面大致圆形形成的保持部16的里部侧的外周径部16a大致相同径的圆形状，另外安装部14的至少***槽15附近的厚度也以与保持部16的槽宽度大致相同地形成，但是这些显然能够根据实施而适当形成。另外，如后所述，能够***/螺合六边带有孔的螺栓17的孔部18，在轴心位置形成在一处。该孔部18也可以根据实施而形成多个，例如也可以在对称的位置设置合计3个。
在图5中，本例的安装构件2的侧面侧成为以较薄的矩形板状形成的固定部13，如后所述，设有两个能够***能够与电磁阀1插通而固定的2根螺栓17的孔部29，但是该孔部29也可根据实施而适当设置。如该图所示，本例的固定部13对于安装部14沿大致直角方向相连，将该安装构件2安装于促动器主体3的状态的纵截面图为图3，如该图所示，本例的安装构件2成为截面大致L字形状。因此，即便为将本例的安装构造安装于促动器的状态，也能将电磁阀1以极为接近状态集成化在促动器主体3的侧面位置而几乎不会产生多余的空间。
另外，安装构件2中，固定部13和安装部14无需整体地由单一构件形成，可根据实施而任意构成，例如，也可以在分别由个别构件以平板状形成固定部13和安装部14后，通过焊接或螺钉等来结合，从而构成截面大致L字形状的安装构件2。
接着，在图1～3、6中，说明本例的基座体4的构造。本发明的基座体设置在圆筒型促动器的下部，至少在位于促动器主体(汽缸部或壳体部)的底面部的部位，本例中如这些图所示，向形成在轴装部19的环状的保持部16***安装构件2的***槽15而能够在基座体4保持安装构件2。
图6(a)是本例的基座体4的纵截面图，同图(b)为同图(a)中的A－A线截面图。本例的基座体4如后所述，是装入促动器主体3的底面部的构件，上部侧以与壳体35大致同径的筒状形成，并形成有可以与壳体35下部的内螺纹拧紧的外螺纹，另一方面，下部侧形成有能够与形成在螺母40的内周侧的内螺纹拧紧的外螺纹，另外，在中央的轴心位置，开口有嵌合为轴杆的杆47并且能够上下滑动的纵向较长形成的安装孔48，进而，作为从高温流体的绝热对策，将下部侧和上部侧之间的轴装部19设置为细腰状而减少截面积，以减少它们间的热传导率。
如图6(a)所示，在本例中，在基座体4的轴装部19的上端位置形成有环状的保持部16。本例的保持部16是由环状的凸缘部16b规定并里部侧具有外周径部16a的环状槽，安装构件2的***槽15能够嵌合附着到该槽。另外，如该图(a)、(b)所示，在基座体4的下表面，以同心状形成有环状槽20。该环状槽20的直径或槽宽度/深度，如后所述，成为螺栓17的放螺钉槽，因此根据安装部14的孔部18的位置或***该孔部18的螺栓17而适当设定。此外，如该图(b)所示，轴装部19的夹持用的凹部19a也被切成2面状而形成。此外，如后所述，保持部16(外周径部16a)的外形不限于环状，可根据实施而任意选择。
如上所述，本例的安装构件2整体上是极为简单的构造，特别是在单一构件(SUS304制)的情况下，能够容易加工形成安装构件2。因而，能够极大地提高该安装构造的生产性的同时，提高在适用于促动器时的便利性，进而在适用后的使用性/维护性也极为良好，而且能够适用的促动器的范围也极为广泛。另外，该安装构件2被保持在基座体4，因此在固定电磁阀1的使用状态下，来自安装构件2的应力也由保持部16(基座体4)经由***槽20而接住，因此应力负荷不会经由电磁阀1或安装构件2而直接施加到促动器主体3侧，因而，避免促动器的损坏而能够提高阀门的稳定性。
例如，在仅电磁阀出现故障而需要更换的情况下、或当初没有安上电磁阀而纳入，但从后面需要电磁阀的情况下等，有时需要从后面安装电磁阀。特别是，在进行数千万次这样非常多的次数的动作的ALD阀门中，仅更换电磁阀的场景越来越多。在这样的情况下，依据上述的本发明的促动器用电磁阀的安装构造，仅将促动器的构造(保持部或环状槽)作为阀门的共同构造，由此仅通过简单的安装金属零件能够对安装促动器的状态的阀门极为容易地进行电磁阀的安装及拆卸，因此无需从设置场所拆下带有促动器的阀门本身，而能够当场容易进行迅速的电磁阀的拆装。
另外，在阀门的制造中，有时要进行带有促动器的阀门的动作测试，但是此时如果安装金属零件和电磁阀处于固定在促动器的状态，则会妨碍测试操作，或者，担心这些构件意外碰到其他构件而会引起划伤或故障，但是依据上述的本发明的促动器用电磁阀的安装构造，则能极为容易地从后面附加安装金属零件及电磁阀，因此通过根据测试适当拆装安装金属零件及电磁阀，还能降低出贷前的划伤或故障的风险。
进而，依据本发明的促动器用电磁阀的安装构造，如上所述在电磁阀的从后面附加或更换等中不仅安装作业等本身容易，而且也不需要阀门或促动器的再次调整等等，特别是与托座(固定用金属零件)预先完全装入促动器及促动器搭载阀门而构成的产品相比，能够发挥极为有利的效果。
接着，说明具备安装构件2和基座体4的本例的安装构造的作用(作业顺序)。
在本例中，首先，在向固定部13螺栓固定电磁阀1时，使垫圈21介于固定部13和电磁阀1之间。图1是示出电磁阀1经由该垫圈21安装在固定部13的状态。在本例中，作为垫圈21，在每一个螺栓17重叠2块不锈钢制的平垫圈，并且使用2根螺栓17将电磁阀1安装于固定部13，但是除此以外，也可为例如树脂制垫圈，能够根据实施而任意选择。此外，在2根螺栓17与电磁阀1侧面之间，隔着1块弹簧垫片22。
因一些原因而从基座体4侧传来高温，使得安装构件2的温度高达电磁阀1的允许温度之外的情况下，也通过介于固定部13与电磁阀1之间的垫圈21有效地减少接触面积，由此使热传导减衰或截断，因而适当地抑制流入到电磁阀1的热量，能够容易保护电磁阀1免受热影响。而且，通过该垫圈21也能防止将电磁阀1紧固于固定部13的螺栓17松动。
接着，将安装该电磁阀1的安装构件2安装到促动器主体3。此时，向基座体4的保持部16***安装部14的***槽15而使得安装构件2保持在基座体4。在该保持状态下，如前所述，外周径部16a和内径部15a以转动自如的方式形成而互相抵接，保持部16的槽宽度也形成为能按安装部14的厚度转动自如，因此安装部14成为适当嵌合到保持部16的状态，安装构件2处于绕着基座体4(促动器主体3)的侧面转动自如的状态。更具体而言，在使安装部14搭到凸缘部16b上的状态下，使得***槽15能够绕着外周径部16a滑动的同时转动。此时，只要适当地形成，以使安装构件2能够稳定转动而不会晃动(游隙)就优选。
接着，朝着形成在基座体4的下表面的环状槽20从安装部14的下方螺合螺栓17，从而能够使安装构件2转动而不会脱落。如前所述，按照安装部14的孔部18的位置，环状槽20形成在基座体4下表面，因此在上述保持状态下，如果向孔部18螺合螺栓17，则螺栓17的螺钉部17a冒出到环状槽20内而被容纳，从而能够卡止安装部14想要从保持部16脱落的动作，由此，固定电磁阀1的安装构件2被设置成能够绕着促动器主体3的侧面转动。此时，如果以使螺钉部17a的直径为尽量接近环状槽20的槽宽度左右的大小，或者，在保持状态下使螺钉部17a尽量处于接近环状槽20的外径侧的位置的方式构成安装部14，则安装部14进行脱落方向的动作(图1～3中水平方向的动作)也能抑制螺钉部17a在环状槽20内晃动，因此是优选的。另外，也可以利用稍长的螺栓17，能够在拧紧到孔部18时使螺钉部17a抵接环状槽20的里部侧，并能够螺纹停止安装构件2的转动。此外，对螺栓17也采用弹簧垫片22。
此外，上述本例中，朝着环状槽20从安装部14的下方，作为固定单元螺合螺栓17，从而使安装构件2能够转动地防脱，但是该固定单元也能根据实施而适当选择，例如虽然未图示，但是利用销来卡止，或者在安装部14的上表面侧适当设置突起部而能够卡止等，只要为通过向环状槽20内突出而能够限制向安装构件2的侧方(水平方向)的移动的单元即可。
如上所述，本发明的安装构件的转动构造能够极为简单地构成，因此在适用于促动器时的加工性/成本性高、能够加工的促动器的范围也广、而且能够以1根螺栓防脱(或者转动固定)，因此能够提供处理的使用性及维护性也极为良好的安装构造。
最后，将预先与电磁阀1的输出端口8连接、并成为开口端状态的供给线10的另一端10a侧与接头11连接。如前所述，如果接头11为单触摸式的万向接头，则能向任意的转动方向自由调整，且电磁阀1的侧面位置也能自由调整，因此能够将电磁阀1和与之相连的供给线10整体的位置调整到任意的侧面位置，并且供给线10的拆装也变得容易，因而能够提供极为提高便利性且适用的范围广的通用性/使用性高的促动器用电磁阀的安装构造。
此外，通常按照上述顺序利用安装构件2将电磁阀1安装在接近促动器主体3的位置，但是顺序上当然没有特别限制，电磁阀1对于固定部13的螺栓固定、安装电磁阀1的安装构件2对促动器主体3的安装、安装构件2的防脱、供给线10对接头11的连接这样的上述各顺序能够根据实施而任意组合。
此外，上述本例中，固定电磁阀1的安装构件2以能够绕着促动器主体3的侧面转动地设置，但未必一定确保该转动性，本发明的安装构造也可以按以下那样转动被固定的状态使用。
上述本例中，如图4、6所示，安装部14的外形为圆形状，并且内径部15a(***槽15的内形状)和外周径部16a(保持部16的外形状)彼此以圆形状形成而相配合，从而安装部14能够在保持到保持部16的状态下转动。相对于此，在以保持状态固定绕着促动器侧面转动的安装构件的情况下，也可以将内径部15a和外周径部16a的形状形成为能够互相转动卡止的形状。
例如，虽然未图示，但是在使外周径部的截面形状为对于圆形状平的切出对边距离的形状的情况下，也可以配合该对边距离而形成***槽的槽宽度。如果向该对边距离状的外周径部******槽，则安装构件能够以卡止了绕着促动器侧面的转动的状态保持在保持部，并且电磁阀的安装位置对于促动器主体以180度间隔成为2个方向。同样，外周径部的截面形状为六边形状，如果***槽宽度被形成为能够与该形状配合的***槽，则安装构件能够以卡止转动的状态保持到保持部，并且电磁阀的安装位置相对于促动器主体成为60度间隔的6个方向。进而同样，在外周径部的截面形状为四方形状的情况下，成为90度间隔的4个方向。无论在何种情况下，在使安装部保持在保持部后，安装构件的方向也不变化，因此有利于防止电磁阀的左右晃动而要稳定固定的诸多情况。
进而，如图4所示无需一定使***槽15的***方向和固定部13的位置成为相同方向的方式设置，例如虽然未图示，但是也可以从***方向偏移90度或120度地设置固定部的位置。在该情况下，例如，在避开阀门周边的障碍物的同时将安装构件***/固定在促动器主体时有有利的情况。
接着，在图3中，说明本例的促动器主体3和阀门主体5的构造和作用。本例为流体控制用阀门，特别是作为ALD阀门极为合适。
本例的阀门是一种金属隔膜阀门，具有：在与1次侧流路23及2次侧流路24连通的阀室25设置阀座26的主体27；配置在阀室25的上方的中央部上下移动而抵接到阀座26的金属隔膜28；以及在该金属隔膜28的上方自由升降移动地设置并使金属隔膜28的中央部向下方下降的轴杆，其中，在2次侧流路24的一部分设置流路节流部24a。
在主体27搭载有促动器主体3，在该促动器主体3内置有使轴杆下降的弹簧30、和通过供给压缩空气而上升的活塞31，作为行程调整单元设置成能够通过调整螺钉32的拧入来调整该活塞31的上升量。
该调整螺钉32是外螺纹部32a螺纹固定到内螺纹部，因此能够调整该螺纹固定的旋入距离。该螺纹固定能够通过向孔部***扳手转动而达成。另外，活塞31的上端部因气体供给而上升，从而抵接到调整螺钉32的下端部而限制上升。因此，通过螺纹固定的调整，将调整螺钉32的位置设定在与阀门的必要Cv值对应的活塞31的最大行程位置，从而限制活塞31的上升而能够调整阀门的Cv值。此外，在向促动器供给气体之际在连接部33安装供给源时，供给气体能够连通到贯通该调整螺钉32的轴心位置而形成的流路。
汽缸34外观大致呈圆筒形状，在轴心位置设有能够与设置在外部的未图示的气源连接(螺合)的由内螺纹构成的连接部33，在其里侧形成有能够与调整螺钉32的外螺纹部32a螺合的内螺纹部，在其里侧形成有能够与活塞31的上部嵌合的筒状的嵌合部。在汽缸34的下端部设有能够与壳体35的内螺纹拧紧的外螺纹。另外，在汽缸34的内部凹设有用于使后述的弹簧30施力的接受部。
壳体35以与汽缸34大致同径的圆筒状外观形成，在上端部形成有上述的内螺纹，在下端部也形成有能够与基座体4上端部的外螺纹拧紧的内螺纹。另外，在壳体35的内周面形成有能够将副底座36卡合保持的阶梯部。
阀门主体5经由基座体4而与促动器主体3接合，在主体27的内周面侧，具有抑制隔膜28而构成外周密封部的阀盖(bonnet)37。阀盖37以大致扁平筒状形成，在中央的轴心位置嵌合隔膜片(diaphragm piece)38，并且开出能够上下滑动的安装孔。在该安装孔设有与隔膜片38的凸缘部对应的阶梯部。另外，还具有组装阀门时***夹具的纵孔37a。
金属隔膜28以大致圆盘状形成，在本例中，重叠既定块数的SPRON制的隔膜构件而使用，它们的周缘部夹在主体27的形成在阀室25的外周部的凸部39与阀盖37的下端外周部之间并加以固定而构成阀室25的外周密封部。
此外，在组装本例的阀门时，首先将金属隔膜28以其周缘部位于凸部39上的方式承载，并在其上承载阀盖37的下表面外周部。金属隔膜28以从上下被夹入的状态使主体27的内螺纹41轻轻螺合到螺母40的外螺纹40a，置于螺母40下端面与阀盖37上表面接触的程度。接着，在将未图示的销构件安装到纵孔37a的基础上，用未图示的夹具从上下夹入整体，从而经由夹具并通过销构件确保阀盖37相对主体27及螺母40止转的状态。接着，在维持该止转状态的情况下，利用转矩扳手从横向转螺母40而拧进，则即便在结束拧进期间螺母40和阀盖37的抵接力增加，螺母40也不会跟随，因此阀盖37的旋转夹紧不会造成金属隔膜28扭曲，从而能够提高金属隔膜28的耐久性。这样金属隔膜28的周缘部被阀盖37和凸部39从上下夹持按压而固定在阀室25内，从而构成外周密封部。
接着，在图3中，说明本例的促动器主体3的构造。为了确保空气驱动力(开阀力)，在促动器主体3设有至少两个空气室42，如该图所示，配置副底座36，并且将活塞31紧凑地构成为2层而确保空气室42。
活塞31具有平行突出两块的圆形凸缘状的活塞部43、和连结这些中心位置的筒状的延伸部，在延伸部的上端面侧开出能够在活塞31内部沿轴心方向导通供给气体的流路，在该流路向两个空气室42开口而分支形成能够供给气体的流路44。因此，在经由接头11等对连接部33连接供气源的情况下，来自供给源的空气导通流路44而被供给到空气室42。
在活塞部43的外周缘部设有FKM制的O型密封圈45，分别在壳体35、基座体4的内周面之间滑动并密封，同样地，在活塞31轴心方向的延伸部也在多处设有O型密封圈46，进而在副底座36的外周缘部也设有O型密封圈45。此外，设置在活塞31上端部的两个O型密封圈46以通过使筒状的延伸部在活塞31进行升降移动时相对于汽缸34(嵌合部)的轴心方向仅倾斜一点并同时上下移动，从而不会摩擦嵌合部的内周面而出现损坏或者出现工作不良的方式，设置两个而提高活塞31的倾斜抑制效果。
作为轴杆的杆47嵌合到基座体4的安装孔48内周面并被设置成能够大致无阻力地上下滑动，是SUS304制且纵向较长地形成，上端面抵接到活塞31的下端面，另一方面，下端面抵接到隔膜片38的上端面。
另外，流体在约200度等高温的情况下，因其传热而促动器成为高温，则带来一些麻烦，如发生工作不良，或者在安装有传感器等的电子设备的情况下，因热而设备发生故障。因此，为了使来自被加热的主体27等的热难以传到促动器主体3，实施既定的热对策。在本例中，在对阀门或促动器的功能不造成障碍的范围内减少从成为发热构件的主体27或阀盖37等传热到促动器主体3的热传导路径构件的截面积。
具体而言，为了减少与可能因来自高温流体的热传导而成为加热构件的隔膜片38的上端面接触的接触区域，杆47的下端面以圆弧状曲面形成，同样地，能成为加热构件的杆47的上端面也以圆弧状曲面形成，从而减小与活塞31的下端面接触的接触区域，在杆47的上下，至少不会因面接触而有效率地传导热。进而，不仅在基座体4的轴装部19设置细腰部，而且在杆47也设置细腰部，通过这些，尽量减少从主体27侧到促动器主体3侧的热传导的截面积，以抑制热传率。
接着，说明本例的阀门的从全开状态到全闭状态的作用。如前所述，图3示出全开状态。以下，说明从全开状态的空气室42抽出空气的情况。
在图3中，空气室42填充有空气，因该空气压而活塞部43克服弹簧30的施力而被提上。另一方面，金属隔膜28的中央部因自己的形状恢复力而向上鼓出。在该鼓出状态中，是将搭在上表面的隔膜片38与搭在其上的杆47一起提起的状态，另外，如上所述，活塞31的上端部通过调整螺钉32的行程调整，抵接到其下端部而限制上升。因此，金属隔膜28的中央部不会完全鼓出而稍许凹下到自然形状。
接着，随着空气从空气室42排出，通过弹簧30的施力而活塞部43的上表面被向下按压，与之相随，活塞31的下端部按压杆47的上端面，与之相随，杆47的下端面按压隔膜片38的上端面，与之相随，隔膜片38的下表面以使金属隔膜28的中央部上表面凹下的方式可挠变形。然后，隔膜片38下到底后而金属隔膜28的中央部与阀座26的上表面密合，虽然未图示，阀门处于全闭状态。
从该全闭状态到全开状态的作用，是上述作用的相反顺序，首先，空气从与连接部33连接的未图示的供气源经由流路44供给到空气室42，从而向促动器主体3赋予空气压，因为该空气压而活塞31上升。随着该活塞31的上升，杆47、隔膜片38从活塞31的按压被解放，并且金属隔膜28的形状恢复力也得到释放，与之相随，因为金属隔膜28中央部的鼓出而隔膜片38、杆47被抬着上升。该上升因活塞31的上端部抵接到调整螺钉32的下端部而结束，从而成为图3所示的阀门的全开状态。
进而，本发明并不局限于上述实施方式的记载，而在不脱离本发明的权利要求书记载的发明要点的范围内能够进行各种变更。
标号说明
1 电磁阀
2 安装构件
3 促动器主体
4 基座体
5 阀门主体
13 固定部
14 安装部
15 ***槽
16 保持部
17 带六边孔的螺栓
19轴装部
20 环状槽
21 垫圈。

Claims (4)

1.一种促动器用电磁阀的安装构造，其特征在于，
具备：设置在圆筒型促动器主体的下部的基座体；以及
从所述促动器主体的外侧能够自由拆装地安装的安装构件，
该安装构件是截面L字形状的构件，并且具有以圆板状形成且在轴心位置以切口状形成***槽而具有大致U字形状的孔部的安装部、和以板状形成的固定部，
在所述固定部安装有流体控制用的电磁阀，
在所述基座体的轴装部形成有环状且外周槽状的保持部，
向该保持部***所述***槽而使得所述安装构件保持在所述基座体，在该保持状态下，在所述基座体的与所述安装部对置的下表面，朝着与所述基座体同心状地形成的作为放螺钉槽的环状槽通过所述安装部的下方的孔部地螺合螺栓，并使该螺栓的螺钉部容纳到所述环状槽内，从而所述安装构件设置成能够绕着所述促动器主体的侧面转动而不会脱落。
2.根据权利要求1所述的促动器用电磁阀的安装构造，其特征在于，将所述电磁阀螺栓固定在所述固定部时，垫圈介于所述固定部与所述电磁阀之间。
3.一种带有促动器的阀门，将权利要求1或2所述的促动器用电磁阀的安装构造适用于流体控制用的阀门。
4.根据权利要求3所述的带有促动器的阀门，其特征在于，阀门为ALD阀门。
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