CN108642459A - 一种管靶绑定加热装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种管靶绑定加热装置,包括加热组件,所述的加热组件包括U型槽与加热管,所述的U型槽采用铸铝材质,所述的加热管镶嵌在整个U型槽内部,所述U型槽一端的底部设有凹槽,所述的凹槽沿U型槽轴向平行分布,凹槽内固定有滚轮,U型槽顶部设有可翻转的盖板,所述的盖板内设有保温材料,所述U型槽的前后两端均连接有可拆卸的端盖,所述的滚轮通过链条连接电机。本发明采用加有保温盖板的U型槽,并在U型槽内部镶嵌有加热管,提高了管靶的加热面积,使管靶加热更加充分均匀,在加热保温的同时利用滚轮转动涂铟,涂铟均匀,焊接效果好,贴合率高,产品成品率高,显著地提高了工作效率,降低了成本。
Description
技术领域
本发明属于机械加热领域,尤其涉及一种管靶绑定加热装置。
背景技术
旋转靶在绑定前需要对靶进行加热涂铟,现有的加热方式主要是用电热管通过导热石墨板和铝板对绝缘陶瓷板进行加热,这样使得从电热管出来的热量都是先传导到空气里面,再经过陶瓷板或者导热石墨板传给导热板,热量经过多层介质传导造成了过大的热量损失,使得加热不均匀,同时,在加热过程中可能会引起脆性靶开裂、断裂,薄板靶变形等问题。
现有的加热装置一般采用平板加热,对于圆形工件加热不均匀,加热过程中往往工件固定,导致涂抹不均匀,贴合率较低。
发明内容
发明目的:本发明目的是提供一种加热效率高,便于操作,节约成本的管靶绑定加热装置。
技术方案:本发明包括加热组件,所述的加热组件包括U型槽与加热管,所述的加热管镶嵌在整个U型槽内部,所述U型槽一端的底部设有凹槽,述的凹槽沿U型槽的轴向平行分布,凹槽内固定有滚轮,所述的U型槽顶部设有可翻转的盖板,所述的盖板内设有保温材料。
所述U型槽的前后两端均连接有可拆卸的端盖,在管靶加热过程中对其进行保温。
所述的U型槽采用铸铝材质,将圆形管靶放置于U型槽上,能够大面积加热,使加热更均匀。
所述的滚轮通过链条连接电机,通过电机带动滚轮转动,进而带动滚轮上的管靶转动,进行涂铟。
所述的滚轮数量至少为两个且平行分布,用于带动管靶旋转。
工作原理:将圆形管靶置于U型槽内,利用U型槽内嵌的加热管对管靶进行加热,加热完成后,将管靶移至滚轮上方,启动电机,通过电机带动滚轮进行转动,进而带动管靶进行旋转,对其进行涂铟。
有益效果:本发明采用加有保温盖板的U型槽,并在其内部镶嵌有加热管,防止金属铟溅射到加热管上引起短路,提高了管靶的加热面积,使管靶加热更加充分均匀,在加热保温的同时利用滚轮转动涂铟,涂铟均匀,焊接效果好,贴合率高,产品成品率高,显著地提高了工作效率,降低了成本。
附图说明
图1为本发明的整体示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
如图1所示,本发明包括U型槽1、滚轮2、电机3、加热管4、盖板5、端盖6和凹槽7。U型槽1与加热管4共同组成了加热组件,加热管4镶嵌在整个U型槽1的内部,U型槽1一端的底部设有凹槽7,凹槽7沿U型槽轴向平行分布,凹槽7内固定有滚轮2,U型槽1顶部设有可翻转的盖板5,盖板5内设有保温材料。U型槽1的前后两端均连接有可拆卸的端盖6。U型槽1采用铸铝材质,将圆形管靶放置于U型槽上,能够大面积加热,使加热更均匀。滚轮2通过链条连接电机3,通过电机3带动滚轮2转动,进而带动滚轮2上的管靶转动,进行涂铟。其中,滚轮2的数量至少为两个且平行分布。
在加热过程中,为了防止金属铟涂料进入加热管4引起短路,将加热管4镶嵌在U型槽1内,从而对放置在U型槽1内的管靶进行加热。本发明的U型槽1采用U型铸铝槽,将圆形管靶放置于U型槽1上没有凹槽的地方,能够进行大面积加热,使加热更均匀。U型槽1顶部设有可翻转的盖板5,盖板5内设有保温材料,用于在加热及涂铟过程中对管靶进行保温,进而提高加热效率。同时,U型槽1的前后两端连接有可拆卸的端盖6,同样在管靶加热过程中起到保温的作用,提高管靶的加热效率,通过盖板5与端盖6保证热量充满整个U型槽1,并在U型槽1内均匀分布。U型槽1一端的底部设有两个凹槽7,凹槽7沿U型槽1轴向平行分布,凹槽7内固定有滚轮2。在管靶加热过程中,通过滚轮2的旋转,带动管靶进行旋转,而涂抹是固定的,不同于传统的工件不动,涂抹转动,因此,通过管靶的旋转,使得涂铟更加均匀,涂铟完成后的工件焊接效果好,贴合率高,产品成品率提高。
滚轮2通过链条连接电机3,电机3位于U型槽1底部,通过电机3带动链条6转动,进而带动滚轮2转动。涂铟时,将加热好的管靶置于U型槽1内的滚轮2上方,通过滚轮2的转动带动管靶旋转,从而使涂铟更加均匀,焊接效果好,贴合率高。
本发明的操作流程为:
1)打开盖板5,将圆形管靶置于U型槽1内没有凹槽的地方;
2)关闭盖板5及U型槽1两侧的端盖6;
3)利用U型槽1内嵌的加热管4对管靶进行加热;
4)加热完成后,将管靶移至滚轮2上方;
5)启动电机3,通过电机3带动滚轮2转动,进而带动管靶旋转,对其进行涂铟。
具体可以概括为:
加热前,打开盖板5,将圆形管靶置于U型槽1内没有凹槽的地方,关闭盖板5及U型槽1两侧的端盖6,利用U型槽1内嵌的加热管4对管靶进行加热,同时,利用盖板5上的保温材料及U型槽1两侧的端盖6对管靶的加热过程进行保温。加热完成后,将管靶通过手动或者机械手移至滚轮2上方,启动电机3,通过电机3带动滚轮2进行转动,进而带动管靶进行旋转,对其进行涂铟。此时,U型槽1内可以继续放入另一根管靶对其进行预热,提高了工作效率。通过采用加有保温盖板的U型槽1,并在其内部镶嵌有加热管4,防止金属铟溅射到加热管4上引起短路,提高了管靶的加热面积,使管靶加热更加充分均匀,在加热保温的同时利用滚轮2转动涂铟,涂铟均匀,焊接效果好,贴合率高,产品成品率高,显著地提高了工作效率,降低了成本。
Claims (5)
1.一种管靶绑定加热装置,其特征在于,包括加热组件,所述的加热组件包括U型槽(1)与加热管(4),所述的加热管(4)镶嵌在整个U型槽(1)内部,所述U型槽(1)一端的底部设有凹槽(7),所述的凹槽(7)沿U型槽的轴向平行分布,凹槽(7)内固定有滚轮(2),所述的U型槽(1)顶部设有可翻转的盖板(5),所述的盖板(5)内设有保温材料。
2.根据权利要求1所述的一种管靶绑定加热装置,其特征在于,所述U型槽(1)的前后两端均连接有可拆卸的端盖(6)。
3.根据权利要求1所述的一种管靶绑定加热装置,其特征在于,所述的U型槽(1)采用铸铝材质。
4.根据权利要求1所述的一种管靶绑定加热装置,其特征在于,所述的滚轮(2)通过链条连接电机(3)。
5.根据权利要求1或4所述的一种管靶绑定加热装置,其特征在于,所述的滚轮(2)数量至少为两个且平行分布。
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Citations (5)
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CN203333713U (zh) * | 2013-03-19 | 2013-12-11 | 陈照悦 | 一种电阻丝加热炉 |
CN205818430U (zh) * | 2016-07-24 | 2016-12-21 | 北京航天金翔设备有限公司 | 一种采用六面体加热结构的热成形机 |
CN107087317A (zh) * | 2017-05-04 | 2017-08-22 | 常熟黑石电热科技有限公司 | 氧化镁绝缘加热器 |
CN206894910U (zh) * | 2017-05-19 | 2018-01-16 | 青岛中邦凌电器有限公司 | 一种新型节能加热器 |
CN208414534U (zh) * | 2018-06-25 | 2019-01-22 | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 | 一种管靶绑定加热装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN203333713U (zh) * | 2013-03-19 | 2013-12-11 | 陈照悦 | 一种电阻丝加热炉 |
CN205818430U (zh) * | 2016-07-24 | 2016-12-21 | 北京航天金翔设备有限公司 | 一种采用六面体加热结构的热成形机 |
CN107087317A (zh) * | 2017-05-04 | 2017-08-22 | 常熟黑石电热科技有限公司 | 氧化镁绝缘加热器 |
CN206894910U (zh) * | 2017-05-19 | 2018-01-16 | 青岛中邦凌电器有限公司 | 一种新型节能加热器 |
CN208414534U (zh) * | 2018-06-25 | 2019-01-22 | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 | 一种管靶绑定加热装置 |
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