CN107407422B - 浮动环型机械密封件 - Google Patents

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Abstract

一种浮动环型机械密封件，浮动环以相对于静止环的相对旋转受到阻止的状态，夹压保持于在旋转轴设置的旋转环、与在密封箱以能够沿轴线方向移动且被向所述旋转环方向预紧的状态设置的所述静止环之间。所述旋转环由SiC的烧结体或超硬合金制作。在所述旋转环的相对于所述浮动环滑动的密封面形成有金刚石膜。在所述旋转环的外周面、以及所述旋转环的与所述密封面相反侧的面即背面，形成有与所述密封面的金刚石膜相连续的金刚石膜。

Description

浮动环型机械密封件
技术领域
本发明涉及浮动环型机械密封件。更详细而言，涉及在设置于旋转轴的旋转环与设置于密封箱的静止环之间对浮动环进行夹压保持的浮动环型机械密封件。
背景技术
例如对火力发电厂的锅炉供水的BFP(锅炉供水泵)这种作为在高压·高温条件下使用的轴封单元，当前提出有各种浮动环型机械密封件(例如，参照专利文献1～2)。
如图5所示，这样的浮动环型机械密封件具有：旋转环102，其设置于旋转轴101；静止环104，其设置于密封箱103；以及浮动环105。静止环104以能够沿轴线方向(图5中为左右方向)移动、且在朝向旋转环102的方向上被预紧的状态设置于密封箱103。静止环104被弹簧108在朝向旋转环102的方向上预紧，该弹簧108配设于在安装于密封箱103的弹簧保持件106形成的凹部107内。此外，在图5中，标号109表示泵壳体，标号110及111分别表示在密封箱103形成的刷洗液F的供给路以及排出路。另外，标号112表示同样形成于密封箱103的排放路。
浮动环105在相对于静止环104的相对旋转受到阻止的状态下夹压保持于该静止环104与旋转环102之间。而且，在图5所示的浮动环型机械密封件中，以如下方式构成，即，通过旋转环102和浮动环105的接触面即密封面102a、105a的相对旋转滑动接触作用，将该相对旋转滑动接触部分的外周侧区域即被密封流体区域A、以及其内周侧区域即非密封流体区域(大气区域)B遮蔽密封。
在这样的浮动环型机械密封件中，通过与旋转环102的相对旋转滑动接触作用而发挥密封功能的浮动环105，夹压保持于旋转环102与静止环104之间、且轴向两端部大致呈对称形状，因此能够在轴线方向上均衡地承受被密封流体区域的流体压力的影响。即，在浮动环105产生的压力应变在两端部大致相同，不会相对于轴线而大幅地应变。因此，即使在PV值(MPa/m/s。密封面的旋转速度V(m/s)和密封面之间的接触压力P(MPa)的乘积)较大的高负荷条件下，浮动环105的密封面105a也不会相对于旋转环102的密封面102a倾斜，两个密封面102a、105a的平行性得到确保，能够发挥良好的密封功能。
然而，例如在大于或等于PV＝20MPa/m/s的严格的负荷条件下使泵运转的情况下，在旋转环102的密封面102a产生较大的摩擦热。如果在这种状态下使泵运转，则在旋转环102的密封面102a与该旋转环102的其他部分、特别是相对于所述密封面102a分离的背面(密封面102a的相反侧的面)102b之间会产生温差，有可能因该温差而在所述旋转环102产生热应变。如果在旋转环102产生热应变，则无法保证该旋转环102的密封面102a与浮动环105的密封面105a之间的平行性，其结果，密封功能有可能下降。
对此，专利文献3所记载的机械密封件并非具有浮动环的机械密封件，但在固定于旋转轴的外周的套筒的外周面形成有用于产生朝向旋转环与静止环的滑动面的空气流的槽，利用该空气流对滑动面进行冷却。
专利文献1：日本特开2005-249131号公报
专利文献2：日本特开2009-156294号公报
专利文献3：日本特开2012-251617号公报
发明内容
如果将专利文献3所记载的冷却机构应用于浮动环型机械密封件，则对于滑动面能够期待某种程度的冷却效果，其结果，能够使滑动面与背面的温差略微缓和，但不容易对套筒的外周面实施用于产生规定方向的流体流的槽的加工。
本发明就是鉴于这种情形而提出的，其目的在于提供一种浮动环型机械密封件，能够有效地防止或抑制因旋转环的密封面与其他部位、特别是与背面之间的温差而在该旋转环产生的热应变，扩大了机械密封件的应用或使用范围。
(1)本发明的第1观点所涉及的浮动环型机械密封件(下面，也简称为“机械密封件”)，浮动环以相对于静止环的相对旋转受到阻止的状态，夹压保持于在旋转轴设置的旋转环、与在密封箱以能够沿轴线方向移动且被向所述旋转环方向预紧的状态设置的所述静止环之间，其中，
所述旋转环由SiC的烧结体或超硬合金制作，
在所述旋转环的相对于所述浮动环滑动的密封面形成有金刚石膜，并且，
在所述旋转环的外周面、以及所述旋转环的与所述密封面相反侧的面即背面，形成有与所述密封面的金刚石膜相连续的金刚石膜。
在本发明的第1观点所涉及的机械密封件中，在旋转环的外周面、以及该旋转环的与所述密封面相反侧的面即背面，形成有与所述密封面的金刚石膜连续的金刚石膜。金刚石膜具有1000～2000W/m·k这样的较大的导热率。因此，能够将在旋转环的作为滑动面的密封面产生的摩擦热迅速地经由在该旋转环的外周面形成的金刚石膜，传递至形成于旋转环的背面的金刚石膜。由此，能够使旋转环的密封面与背面之间的温差缓和，能够防止或抑制在旋转环产生因所述温差而引起的热应变。其结果，能够确保旋转环的密封面、与浮动环的密封面之间的平行性，即使在高负荷条件下也能够长期地发挥稳定的滑动特性。
(2)本发明的第2观点所涉及的机械密封件，浮动环以相对于静止环的相对旋转受到阻止的状态，夹压保持于在旋转轴设置的旋转环、与在密封箱以能够沿轴线方向移动且被向所述旋转环方向预紧的状态设置的所述静止环之间，其中，
所述旋转环由SiC的烧结体或超硬合金制作，
在所述旋转环的相对于所述浮动环滑动的密封面形成有金刚石膜，并且，
在所述旋转环的内周面、以及所述旋转环的与所述密封面相反侧的面即背面，形成有与所述密封面的金刚石膜相连续的金刚石膜。
在本发明的第2观点所涉及的机械密封件中，在旋转环的内周面、以及该旋转环的与所述密封面相反侧的面即背面，形成有与所述密封面的金刚石膜相连续的金刚石膜。金刚石膜具有1000～2000W/m·k这样的较大的导热率。因此，能够将在旋转环的作为滑动面的密封面产生的摩擦热迅速地经由在该旋转环的内周面形成的金刚石膜，传递至形成于旋转环的背面的金刚石膜。由此，能够使旋转环的密封面与背面之间的温差缓和，能够防止或抑制在旋转环产生因所述温差而引起的热应变。其结果，能够确保旋转环的密封面、与浮动环的密封面之间的平行性，即使在高负荷条件下也能够长期地发挥稳定的滑动特性。
(3)本发明的第3观点所涉及的机械密封件，浮动环以相对于静止环的相对旋转受到阻止的状态，夹压保持于在旋转轴设置的旋转环、与在密封箱以能够沿轴线方向移动且被向所述旋转环方向预紧的状态设置的所述静止环之间，其中，
所述旋转环由SiC的烧结体或超硬合金制作，
在所述旋转环的相对于所述浮动环滑动的密封面形成有金刚石膜，并且，
在所述旋转环的内周面、以及所述旋转环的外周面，形成有与所述密封面的金刚石膜相连续的金刚石膜。
在本发明的第3观点所涉及的机械密封件中，在旋转环的内周面、以及该旋转环的外周面，形成有与所述密封面的金刚石膜相连续的金刚石膜。金刚石膜具有1000～2000W/m·k这样的较大的导热率。因此，能够将在旋转环的作为滑动面的密封面产生的摩擦热迅速地经由在该旋转环的内周面以及外周面形成的金刚石膜，传递至旋转环的内周侧及外周侧。由此，能够使旋转环的密封面、外周面、以及内周面的彼此间的温差缓和，能够防止或抑制在旋转环产生因所述温差而引起的热应变。其结果，能够确保旋转环的密封面、与浮动环的密封面之间的平行性，即使在高负荷条件下也能够长期地发挥稳定的滑动特性。
(4)在所述(1)或(3)的机械密封件的基础上，优选地，在形成于所述外周面的金刚石膜的外周设置有导热环。在该情况下，除了外周面的金刚石膜以外，还能够经由导热环而将在旋转环的密封面产生的摩擦热传导至该旋转环的背面，因此能够更有效地使旋转环的密封面与背面之间的温差缓和。另外，利用导热环，能够针对传递至机械密封件的机械振动而保护金刚石膜。
(5)在所述(1)～(4)的机械密封件的基础上，可以将所述金刚石膜的导热率设为1000～2000W/m·k。
发明的效果
根据本发明的机械密封件，能够有效地防止或抑制因旋转环的密封面与其他部位、特别是背面之间的温差而在该旋转环产生的热应变。
附图说明
图1是本发明的机械密封件的第1实施方式的纵剖面说明图。
图2是图1所示的机械密封件的要部放大说明图。
图3是本发明的机械密封件的第2实施方式的要部放大说明图。
图4是本发明的机械密封件的第3实施方式的要部放大说明图。
图5是现有的机械密封件的一个例子的纵剖面说明图。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的机械密封件的实施方式进行详细说明。
[第1实施方式]
图1是本发明的第1实施方式所涉及的机械密封件M的纵剖面说明图，图2是图1所示的机械密封件M的要部放大说明图。其中，在图2～图4中，为了容易理解而夸张地对金刚石膜的膜厚进行描画。
本实施方式所涉及的机械密封件M，是优选作为应当密封的流体的压力较高且根据运转状况而有可能产生较大的压力变动的、例如对火力发电厂的锅炉供水的BFP(锅炉供水泵)等的轴封单元而使用的浮动环型机械密封件。
机械密封件M具有：密封箱2，其安装于泵壳体1；套筒4，其固定于将泵壳体1贯通而从泵壳体1凸出的旋转轴3的外周；旋转环5，其设置于套筒4；静止环6，其与旋转环5相对设置；弹簧7，其配设于密封箱2与静止环6之间；浮动环8，其夹压保持于旋转环5与静止环6之间；以及定位板9，在将机械密封件M安装于仪器时，该定位板9将密封箱2和套筒4连结，将旋转环5、静止环6以及浮动环8配置于规定的位置。机械密封件M是以如下方式构成的滑架型的机械密封件，即，通过旋转环5和浮动环8的相对旋转滑动接触作用而将该相对旋转滑动接触部分的外周侧区域即被密封流体区域(BFP的与仪器内区域连通的区域)A、以及所述相对旋转滑动接触部分的内周侧区域即非密封流体区域(BFP的仪器外区域即大气区域)B隔断密封。此外，在下面的说明中，将图1～图2中的左侧称为仪器外侧或后侧，将图1～图2中的右侧称为仪器内侧或前侧。
密封箱2在以同心状将从泵壳体1凸出的旋转轴部分3a包围的状态下安装于该泵壳体1的端部。密封箱2呈圆筒体形状，具有主体部21、壁部22以及弹簧保持件23。主体部21是圆筒状的部件，其一端部与泵壳体1抵接并与该泵壳体1卡合。壁部22是在主体部21的另一端部(与泵壳体1卡合的那侧的端部的相反侧的端部)的内周与该主体部21一体形成的圆环状的部件。弹簧保持件23安装于壁部22的内表面侧。弹簧保持件23由如下部件构成：圆环状的弹簧保持部23a，其安装于壁部22；以及圆筒状的静止环保持部23b，其从上述弹簧保持部23a向仪器内侧凸出。在泵壳体1形成有刷洗液(水)F的供给路24以及排出路25。另外，在密封箱2形成有排放路26。
套筒4由如下部件构成：圆筒状的主体部41，其***于所述旋转轴部分3a；圆环状的第1保持部42，其形成于主体部41的前端部(仪器内侧端部)；以及圆筒状的第2保持部43，其从第1保持部42的外周部向仪器外侧凸出。除了主体部41的基端部分(后端部分。位于仪器外侧的部分)以外，套筒4在位于密封箱2内的状态下固定于旋转轴3的外周。更详细而言，利用多个第1定位螺钉11a将***于旋转轴3的止动环10固定于从密封箱2向仪器外侧凸出的主体部41的基端部分，并且利用多个第2定位螺钉11b将该止动环10固定于旋转轴3，由此将套筒4可拆装地固定于旋转轴3。在第1保持部42的内周形成有O型密封圈槽12，利用配设于该O型密封圈槽12内的O型密封圈13将旋转轴3与套筒4之间密封(二次密封)。此外，利用盖螺栓15将用于使刷洗液循环的泵送环(pumping ring)14安装于套筒4的前端部。
旋转环5经由多个O型密封圈16、17以能够在该O型密封圈16、17的弹性变形范围内在轴线方向(旋转轴3的轴线的方向)以及径向上位移或变形的状态保持于旋转轴3。此外，如图2所示，在旋转环5的内周面和与该内周面相对的套筒4的主体部41的外周面之间，形成有允许旋转环5的径向上的位移或变形的环状的间隙18。旋转环5由SiC的烧结体制作，该烧结体例如能够通过SiC的常温烧结或反应烧结而获得。所获得的SiC的烧结体的导热率为70W/mK～120W/mK。另外，旋转环5可以由超硬合金(WC)制作。
静止环6经由O型密封圈19以及驱动销20以能够沿轴线方向移动且无法相对旋转的方式保持于密封箱2。更详细而言，经由O型密封圈19使静止环6的基端部分与弹簧保持件23的静止环保持部23b松动嵌合，从而将该静止环6保持于密封箱2。静止环6在利用O型密封圈19将密封箱2之间密封(二次密封)的状态下以能够沿轴线方向移动的方式保持于该密封箱2。另外，静止环6在其基端部凸出设置有与轴线平行的多个驱动销20，使各驱动销11与在弹簧保持件23的弹簧保持部23a形成的多个卡合凹部31卡合，从而在允许规定范围内的轴线方向上的移动的状态下相对于密封箱2的相对旋转受到阻止。静止环6例如可以由不锈钢等硬质金属制作。
弹簧7被保持于在弹簧保持件23的弹簧保持部23a沿周向以等间隔而形成的多个卡合凹部32。弹簧7与静止环6的背面(后端面)抵接，沿旋转环方向对该静止环6进行按压预紧。
浮动环8由如下部件构成：圆环状的主体部81；以及在上述主体部81的内周侧的前后端部一体形成的大致呈相同的圆环状的按压部82和密封部83。在按压部82的作为端面的按压面82a与静止环6的作为末端面(后端面)的按压面6a接触、且密封部83的作为端面的密封面83a与旋转环5的作为末端面(后端面)的密封面5a接触的状态下，利用弹簧7的预紧力将浮动环8夹压保持于旋转环5与静止环6之间。
浮动环8使在静止环6的前端部沿周向以等间隔凸出设置的多个驱动销33与形成于主体部81的卡合孔34卡合，由此以在允许轴线方向以及径向上的规定范围内的相对位移的状态下无法相对旋转的方式保持于静止环6。在静止环6和浮动环8的主体部81的轴线方向上的相对端面之间，配设有将上述静止环6以及浮动环8之间密封(二次密封)的O型密封圈35。在浮动环8的主体部81沿周向以等间隔而形成有多个贯通孔36。浮动环8可以由与构成旋转环5的材料相比而更软质的材料、例如碳制作。
在本实施方式中，在旋转环5的相对于所述浮动环8滑动的密封面5a形成有金刚石膜d1，并且在该旋转环5的外周面5b以及背面5c分别形成有与所述密封面5a的金刚石膜d1相连续的金刚石膜d2以及金刚石膜d3。因此，不仅提高了密封面5a的耐磨损性，而且金刚石膜d1、d2还具有1000W/m·k～2000W/m·k的较大的导热率，因此能够将在旋转环5的作为滑动面的密封面5a产生的摩擦热从密封面5a的金刚石膜d1迅速地经由形成于外周面5b的金刚石膜d2而向在旋转环5的背面5c形成的金刚石膜d3传递。由此，能够使旋转环5的密封面5a与背面5c的温差缓和，能够防止或抑制因所述温差而在旋转环5产生热应变。换言之，通过经由导热率较大的金刚石膜将在旋转环5的密封面5a产生的摩擦热迅速地传导至该旋转环5的背面5c，能够防止或抑制旋转环5的热平衡(密封面5a侧部分与背面5c侧部分之间的热平衡)遭到破坏。其结果，能够确保旋转环5的密封面5a、与浮动环8的密封面8a之间的平行性，例如即使在大于或等于PV＝20MPa/m/s的高负荷条件下也能够长期地发挥稳定的滑动特性。
例如可以利用微波CVD法、热丝CVD法等通常的制造技术制作金刚石膜。另外，金刚石膜的厚度在本发明中并未特别限定，但通常为3μm～20μm，优选为3μm～10μm。根据使在旋转环5的密封面5a产生的摩擦热在移动至该旋转环5的母材即SiC烧结体之前移动至外周面5b的金刚石膜d2的观点，优选大于或等于3μm的厚度。另外，金刚石膜越厚，膜的表面粗糙度也越大，难以作为精密的机械部品即机械密封件的密封面而使用，除此之外，根据尽量减小金刚石膜的残余应力的观点，优选小于或等于10μm。
金刚石膜d1和金刚石膜d2、d3可以为相同的厚度，也可以为互不相同的厚度。根据使在旋转环5的密封面5a产生的摩擦热迅速地移动至外周面5b的金刚石膜d2的观点，优选外周面5b的金刚石膜d2的膜厚大于或等于密封面5a的金刚石膜d1的膜厚。
在本实施方式中，在比形成于旋转环5的外周面5b的金刚石膜d2更靠外周处设置有导热环37。该导热环37例如由钛、SUS403等金属制作，烧结嵌合于所述金刚石膜d2的外周。钛以及SUS403的导热率分别为17.4W/m·k以及24.9～25.7W/m·k，小于金刚石、SiC的导热率，但通过将这种导热环37烧结嵌合于金刚石膜d2的外周，能够将从金刚石膜d1传导来的热在金刚石膜d2的基础上还经由该导热环37以及套筒4的第1保持部42而传导至旋转环5的背面5c，能够更有效地使旋转环5的密封面5a和背面5c之间的温差缓和。另外，金刚石膜d2为脆性膜，但通过将导热环37设置于金刚石膜d2的外周，能够针对传递至机械密封件M的机械振动而保护该金刚石膜d2。
[第2实施方式]
图3是本发明的第2实施方式所涉及的机械密封件的要部放大说明图。对于第2实施方式以及后述的第3实施方式所涉及的机械密封件、和第1实施方式所涉及的机械密封件M而言，只有旋转环的结构不同，其他的静止环、浮动环等的结构通用。因此，对通用的结构要素标注相同的参照标号，为了简便而省略它们的说明。
在本实施方式中，在旋转环5的相对于所述浮动环8滑动的密封面5a形成有金刚石膜d1，并且在该旋转环5的内周面5d以及背面5c分别形成有与所述密封面5a的金刚石膜d1连续的金刚石膜d4以及与金刚石膜d4连续的金刚石膜d3。因此，不仅提高了密封面5a的耐磨损性，而且还能够将在旋转环5的作为滑动面的密封面5a产生的摩擦热从密封面5a的金刚石膜d1迅速地经由在内周面5d形成的金刚石膜d4，传导至在旋转环5的背面5c形成的金刚石膜d3。由此，能够使旋转环5的密封面5a与背面5c之间的温差缓和，能够防止或抑制在旋转环5产生因所述温差而引起的热应变。换言之，经由导热率较大的金刚石膜而将在旋转环5的密封面5a产生的摩擦热迅速地传导至该旋转环5的背面5c，由此能够防止或抑制旋转环5的热平衡遭到破坏。其结果，能够确保旋转环5的密封面5a与浮动环8的密封面8a之间的平行性，即使在高负荷条件下也能够长期地发挥稳定的滑动特性。
另外，在本实施方式中，与旋转环5的背面5c、更详细而言为形成于该背面5c的金刚石膜d3抵接地配设有密封垫38。密封垫38由硬度Hs为40～90的材料制作。作为这样的材料的例子，例如能举出膨胀石墨、耐热硅胶等。通过将较为柔软的密封垫38配设于旋转环5的背面5c，能够使该密封垫38与在旋转环5的背面5c形成的金刚石膜d3紧贴。通常，金刚石膜的表面难以平坦地形成，但通过使用较为柔软的密封垫38，能够将金刚石膜的表面的粗糙度吸收。
[第3实施方式]
图4是本发明的第3实施方式所涉及的机械密封件的要部放大说明图。在本实施方式中，在旋转环5的密封面5a、外周面5b以及内周面5d分别形成有金刚石膜d1、d2以及d4。金刚石膜d1、d2以及d4相互连续地形成。在该情况下，能够将在旋转环5的作为滑动面的密封面5a产生的摩擦热迅速地经由在该旋转环5的内周面5d以及外周面5b形成的金刚石膜d4、d2，传导至旋转环5的内周侧以及外周侧，能够更有效地使旋转环5的密封面5a、外周面以及内周面的彼此间的温差缓和。
另外，在本实施方式中，与第1实施方式相同地，在比形成于旋转环5的外周面5b的金刚石膜d2更靠外周处设置有导热环37。通过将导热环37烧结嵌合于金刚石膜d2的外周，能够将从金刚石膜d1传导来的热在金刚石膜d2的基础上还经由该导热环37而传导至旋转环5的背面5c，能够更有效地使旋转环5的密封面5a与背面5c之间的温差缓和。另外，金刚石膜d2为脆性膜，但通过将导热环37设置于金刚石膜d2的外周，能够针对传导至机械密封件M的机械振动而保护该金刚石膜d2。
另外，在本实施方式中，与第2实施方式相同地，与旋转环5的背面5c、更详细而言为形成于该背面5c的金刚石膜d3抵接地配设有密封垫38。通过将这样的密封垫38配设于旋转环5的背面5c，能够使该密封垫38与旋转环5的背面5c紧贴。
[其他变形例]
此外，本发明的机械密封件并不限定于前述的实施方式，能够进行各种变更。
标号的说明
1：泵壳体
2：密封箱
3：旋转轴
4：套筒
5：旋转环
5a：密封面
5b：外周面
5c：背面
5d：内周面
6：静止环
6a：按压面
7：弹簧
8：浮动环
9：定位板
10：止动环
11a：第1定位螺钉
11b：第2定位螺钉
12：O型密封圈槽
13：O型密封圈
14：泵送环
15：盖螺栓
16：O型密封圈
17：O型密封圈
18：间隙
19：O型密封圈
20：驱动销
21：主体部
22：壁部
23：弹簧保持件
23a：静止环保持部
23b：弹簧保持部
24：供给路
25：排出路
26：排放路
31：卡合凹部
32：卡合凹部
33：驱动销
34：卡合孔
35：O型密封圈
36：贯通孔
37：散热环
38：密封垫
41：主体部
42：第1保持部
43：第2保持部
81：主体部
82：按压部
83：密封部
101：旋转轴
102：旋转环
103：密封箱
104：静止环
105：浮动环
106：弹簧保持件
107：凹部
108：弹簧
F：刷洗液
M：机械密封件
d1：金刚石膜
d2：金刚石膜
d3：金刚石膜
d4：金刚石膜

Claims (5)

1.一种浮动环型机械密封件，浮动环以相对于静止环的相对旋转受到阻止的状态，夹压保持于在旋转轴设置的旋转环、与在密封箱以能够沿轴线方向移动且被向所述旋转环方向预紧的状态设置的所述静止环之间，其中，
所述旋转环由SiC的烧结体或超硬合金制作，
在所述旋转环的相对于所述浮动环滑动的密封面形成有金刚石膜，并且，
在所述旋转环的外周面、以及所述旋转环的与所述密封面相反侧的面即背面，形成有与所述密封面的金刚石膜相连续、且将在所述旋转环的所述密封面的热传导至该旋转环的背面的金刚石膜。
2.一种浮动环型机械密封件，浮动环以相对于静止环的相对旋转受到阻止的状态，夹压保持于在旋转轴设置的旋转环、与在密封箱以能够沿轴线方向移动且被向所述旋转环方向预紧的状态设置的所述静止环之间，其中，
所述旋转环由SiC的烧结体或超硬合金制作，
在所述旋转环的相对于所述浮动环滑动的密封面形成有金刚石膜，并且，
在所述旋转环的内周面、以及所述旋转环的与所述密封面相反侧的面即背面，形成有与所述密封面的金刚石膜相连续、且将在所述旋转环的所述密封面的热传导至该旋转环的背面的金刚石膜。
3.一种浮动环型机械密封件，浮动环以相对于静止环的相对旋转受到阻止的状态，夹压保持于在旋转轴设置的旋转环、与在密封箱以能够沿轴线方向移动且被向所述旋转环方向预紧的状态设置的所述静止环之间，其中，
所述旋转环由SiC的烧结体或超硬合金制作，
在所述旋转环的相对于所述浮动环滑动的密封面形成有金刚石膜，并且，
在所述旋转环的内周面以及所述旋转环的外周面，形成有与所述密封面的金刚石膜相连续、且将在所述旋转环的所述密封面的热传导至该旋转环的外周面以及内周面的金刚石膜。
4.根据权利要求1或3所述的浮动环型机械密封件，其中，
在形成于所述外周面的金刚石膜的外周设置有导热环。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的浮动环型机械密封件，其中，
所述金刚石膜的导热率为1000～2000W/m·k。
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