CN105511130A - 显示基板的剥离装置及剥离方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显示基板的剥离装置及剥离方法。所述显示基板的剥离装置包括基台、粘结板、检测单元和分离单元;粘结板的数量至少为一个,其设置在基台的与显示基板的角或边对应的区域,粘结板与基台之间转动连接,使粘结板的上表面能由与基台的上表面共面状态转动至与基台的上表面非共面状态;检测单元用于检测显示基板的边缘区域是否被粘结在粘结板上;分离单元设置在基台和粘结板的上方,其包括可在竖直方向上移动的第一吸附端子、第二吸附端子,粘结板的上方对应设置有至少一个第一吸附端子,基台的上方对应设置有多个第二吸附端子;多个第二吸附端子在基台上的投影沿远离基台上设置粘结板的角或边的区域依次设置。

Description

显示基板的剥离装置及剥离方法
技术领域
本发明涉及显示技术,特别是柔性显示领域,具体地,涉及一种将(柔性)显示基板从(刚性)衬底上剥离的装置和方法。
背景技术
制备柔性显示基板的工艺一般要依托刚性衬底(一般为玻璃基板)来实现,所形成的柔性显示基板包括聚酰亚胺膜和形成在聚酰亚胺膜上的各种信号线及像素电极、薄膜晶体管等各种图形;因此,在将柔性显示基板制备完成之后,还需要将柔性显示基板与刚性衬底剥离。
现有的将柔性显示基板与玻璃基板剥离的技术方案中,以真空吸附的方式将贴附在一起的柔性显示基板和玻璃基板固定在基台上(柔性显示基板朝下,玻璃基板朝上),使用多个吸附端子(Pad),分别吸附住玻璃基板的多个区域,依次向上提拉玻璃基板,达到使玻璃基板与柔性显示基板分离的目的。
但由于柔性显示基板和玻璃基板之间还处在较大的贴附力,因此上述现有实现玻璃基板与柔性显示基板之间剥离的方法容易导致以下两种分离失败的情况:①吸附端子未能将玻璃基板吸起来,从而导致分离失败;②吸附端子直接把玻璃基板和柔性显示基板整体吸起来,也未能实现玻璃基板和柔性显示基板的分离,从而导致分离失败。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种显示基板的剥离装置及剥离方法,其在将显示基板和刚性衬底剥离时具有更高的分离成功率,而且所需施加的吸附力更小。
为实现本发明的目的而提供一种显示基板的剥离装置,其用于将显示基板与刚性衬底剥离,所述显示基板的剥离装置包括基台、粘结板、检测单元和分离单元;所述基台用于放置显示基板;所述粘结板设置在所述基台的与放置在其上的显示基板的角或边对应的区域,所述粘结板与基台之间转动连接,使粘结板的上表面能由与基台的上表面共面状态转动至与基台的上表面非共面状态;所述粘结板的上表面设置有粘结区,所述粘结区用于与放置在基台上的显示基板的边缘区域粘结在一起;所述检测单元用于在粘结板由与基台的上表面共面状态转动至非共面状态之间的过程中检测显示基板的边缘区域是否被粘结在粘结板上;所述分离单元设置在基台和粘结板的上方,其包括可在竖直方向上移动的第一吸附端子、第二吸附端子,所述粘结板的上方对应设置有第一吸附端子,所述基台的上方对应设置有多个第二吸附端子;所述多个第二吸附端子在所述基台上的投影沿远离所述基台上设置粘结板的角或边的区域依次设置。
其中,所述基台上设置有多个真空吸附孔,通过真空吸附将显示基板固定。
其中,所述显示基板的剥离装置还包括固定件,所述固定件在所述粘结板处于与基台上表面的非共面状态时,将粘结板固定,以维持与基台上表面之间的非共面状态。
其中,所述刚性衬底为玻璃基板。
其中,所述显示基板包括聚酰亚胺膜和形成在聚酰亚胺膜上的多种图形,所述聚酰亚胺膜在显示基板与刚性衬底分离前与刚性衬底接触。
其中,所述粘结板与显示基板之间的粘结力大于所述聚酰亚胺膜与刚性衬底之间的贴附力。
作为另一个技术方案,本发明还提供一种显示基板的剥离方法,其包括下述步骤:
S1,在粘结板和基台的上表面共面时,在显示基板的第一侧,以粘结的方式将其至少一个角或一条边固定在粘结板上,以真空吸附的方式将其他区域固定在基台上;
S2,转动粘结板,使粘结板上表面与基台上表面变为非共面状态;
S3,检测显示基板的边缘区域是否随粘结板粘结在一起同步转动,而与刚性衬底分离;若是,则执行步骤S4~S5,若否,则执行步骤S4’;
S4,在显示基板的边缘区域与刚性衬底分离时,利用第一吸附端子吸附住刚性衬底向上移动;
S5,沿远离被第一吸附端子的方向,各第二吸附端子依次吸附住刚性衬底,并带动其向上移动,使其与显示基板分离;
S4’,在显示基板的边缘区域未与刚性衬底分离时,转动粘结板,使其恢复与基台上表面共面的状态,再次将显示基板的对应角或边粘结,重复步骤S2~S3。
其中,在将显示基板与刚性衬底剥离后,向显示基板上贴附背膜。
其中,在将背膜贴附后,将显示基板的边缘区域切割掉。
本发明具有以下有益效果:
本发明提供的显示基板的剥离装置,其将显示基板的边缘区域粘结固定在粘结板上,其他区域则以真空吸附的方式固定在基台上;通过转动粘结板,使显示基板的边缘区域随粘结在一起的粘结板转动至与基台的上表面非共面的位置处,即:使显示基板整体上呈现弯折的形态,在该弯折处,显示基板与刚性衬底分离,而后沿该分离区域向未分离区域的方向通过第一吸附端子、第二吸附端子依次吸附住刚性衬底向上移动,使所述分离区域逐步扩大,最终实现显示基板与刚性衬底之间的分离。与现有技术相比,这样的首先形成一个分离区域,而后逐步扩大该分离区域,最终实现剥离的成功率更高,而且第一吸附端子、第二吸附端子所需施加的吸附力也能减小。
本发明提供的显示基板的剥离方法,其首先在显示基板的至少一个角或一条边形成一个与刚性衬底的分离区域,而后通过第一吸附端子、第二吸附端子依次吸附住刚性衬底,并向上提拉,扩大显示基板与刚性衬底之间的分离区域,最终实现显示基板和刚性衬底的分离。与现有的剥离方法相比,这样的分离成功率更高,而且,第一吸附端子、第二吸附端子所吸附刚性衬底的力还可以降低。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1为本发明实施方式中显示基板的剥离装置的示意图;
图2为第一吸附端子、第二吸附端子、粘结区在显示基板上的投影示意图;
图3为将贴附在一起的显示基板和刚性衬底置于基台和粘结板上的示意图;
图4为粘结板转动至粘结板与基台二者的上表面处于非共面状态的示意图;
图5为第一吸附端子、第二吸附端子吸附住刚性衬底的示意图;
图6为第一吸附端子、第二吸附端子依次吸附出刚性衬底向上移动的示意图;
图7为刚性衬底最终与显示基板分离的示意图;
图8为粘结区与显示基板的一个角对应的示意图;
图9为本发明提供的显示基板的剥离方法的流程图。
其中,附图标记:
10:基台;11:粘结板;12:检测单元;13:分离单元;14:显示基板;15:刚性衬底;16:固定件;
110:粘结区;130:第一吸附端子;131:第二吸附端子;132、133:驱动机构。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
本发明提供一种用于将(柔性)显示基板与(刚性)衬底剥离的显示基板的剥离装置,并给出其实施方式。在本发明给出的实施方式中,如图1所示,所示显示基板的剥离装置包括基台10、粘结板11、检测单元12和分离单元13。所述基台10用于放置显示基板14;具体地,在显示基板14与刚性衬底15分离前,其二者贴附在一起放置在基台10上;在显示基板14与刚性衬底15剥离后,显示基板14仍置于基台10上,而分离开的刚性衬底15被分离单元13移走。具体地,所述基台10上设置有多个真空吸附孔,通过真空吸附将显示基板14固定。
所述粘结板11的数量至少为一个,其设置在所述基台10的与放置在其上的显示基板14的角或边对应的区域,如图1所示,所述粘结板11的数量为1个,其所处位置与放置在基台10上的显示基板14的一条边对应。所述粘结板11与基台10之间转动连接,使粘结板11的上表面能由与基台10的上表面共面状态转动至与基台10的上表面非共面状态。所述粘结板11的上表面设置有粘结区110,所述粘结区110用于与放置在基台10上的显示基板14的边缘区域粘结在一起。如图2所示,显示基板14的一条边与所述粘结区110粘结。
具体地,在将显示基板14和刚性衬底15剥离前,使粘结板11的上表面与基台10的上表面处于共面状态,而后将贴附在一起的显示基板14和刚性衬底15放置在基台10和粘结板11上(显示基板14朝向基台10和粘结板11方向),如图3所示,其中,显示基板14的与基台10对应的区域被基台10以真空吸附的方式固定,与粘结板11对应的区域被所述粘结区110粘结在一起。进一步,转动粘结板11,使其上表面和基台10的上表面处于非共面状态,显示基板14的与粘结板11对应的区域会保持与粘结板11粘结,随粘结板11同步转动,而与刚性衬底15分离,如图4所示;在该过程中,显示基板14的边缘区域(即与粘结板11对应的区域)与其中心区域(即被基台10固定的区域)可能断裂为两截。
所述刚性衬底15一般为玻璃基板;所述显示基板14一般包括聚酰亚胺膜和形成在聚酰亚胺膜上的多种图形,所述聚酰亚胺膜在显示基板14与刚性衬底15分离前与刚性衬底15接触。而在实际中可以通过在粘结区110设置吸附力强的粘结剂等方式手段,使显示基板14与粘结板11粘结在一起时,其二者之间的粘结力大于显示基板14的聚酰亚胺膜与玻璃基板之间的贴附力,从而在粘结板11转动时,可以提高显示基板14保持粘结在粘结板11上,而与玻璃基板分离的几率。
所述检测单元12用于在粘结板11由与基台10的上表面共面状态转动至非共面状态之间的过程中检测显示基板的边缘区域是否被粘结在粘结板11上。所述检测单元12可以为红外传感器,其依据红外光在穿过粘结板11(粘结有显示基板14和未粘结显示基板14时)的透射率的不同,确定显示基板14是否被粘结在粘结板11上。当然,也可以采用其他类型的传感器依据其他的检测原理来进行检测。
如图1及图5所示,所述分离单元13设置在基台10和粘结板11的上方,其包括可在竖直方向上移动的第一吸附端子130、第二吸附端子131,所述粘结板11的上方对应设置有至少一个第一吸附端子130,所述基台10的上方对应设置有多个第二吸附端子131;所述多个第二吸附端子131在所述基台10上的投影沿远离所述基台10上设置粘结板11的角或边的区域依次设置。可以理解,第一吸附端子130、第二吸附端子131上设置有驱动机构132,以驱动其在竖直方向上移动;此外,所述分离单元13还可以包括一个单独的驱动机构133,用于同时驱动包括第一吸附端子130、第二吸附端子131在内的分离单元13整体同步在竖直方向上移动。
在显示基板14的与粘结板11对应的区域随粘结板11的转动而与刚性衬底15分离前,如图5所示,第一吸附端子130、第二吸附端子131分别吸附住刚性衬底15的不同区域。在显示基板14的与粘结板11对应的区域随粘结板11的转动而与刚性衬底15分离时,第一吸附端子130吸附住刚性衬底15并带动其向上移动,如图6所示;在该过程中,刚性衬底15呈现一定程度的弯曲,而显示基板14与刚性衬底15之间的分离区域逐步变大;之后,多个第二吸附端子131依次吸附住刚性衬底15,并带动其向上移动,具体地,靠近第一吸附端子130的第二吸附端子131先向上移动,远离第一吸附端子130的第二吸附端子131后向上移动,也就是说,在各吸附端子中(包括第一吸附端子130和第二吸附端子131),按照图中所标示的1、2、3、4的由小至大的次序,依次吸附住刚性衬底15向上移动,在此过程中逐步扩大刚性衬底15与显示基板14的分离区域,最终实现刚性衬底15与显示基板14分离,如图7所示。
需要说明的是,在该过程中,刚性衬底15会呈现一定程度的弯曲,因此,需要依据每个第二吸附端子131与第一吸附端子130之间在水平方向上的距离,根据刚性衬底的最大的曲率,控制第一吸附端子130和第二吸附端子131之间在竖直方向上的距离,使刚性衬底15的弯曲程度小于最大弯曲曲率,从而避免刚性衬底15因弯曲过大而发生折断。
具体地,如图1所示,所述显示基板的剥离装置还包括固定件16,所述固定件16在所述粘结板11处于与基台10上表面的非共面状态时,将粘结板11固定,以维持与基台10上表面之间的非共面状态,避免在显示基板14与刚性衬底15分离过程中,粘结板11以及与粘结板11粘结的显示基板14的部分区域产生负面影响。
在本实施方式中,粘结板11的粘结区110还可以与显示基板14的一个角对应,如图8所示,柔性显示面板14的一个角与该粘结区110粘结在一起,在此情况下,将显示基板14与刚性衬底15剥离时,各第二吸附端子131可以由该左下角向右上角方向,按所标示的2、3、4、5、6的次序依次吸附住刚性衬底15向上移动。当然,如前文所述,所述粘结板11的数量还可以为多个,例如,两个粘结板11分别设置在与放置在基台10上的显示基板的一对角或一对边对应的区域,这样在将显示基板14和刚性衬底15剥离时,可以在两个角或边相向同时进行分离,从而提高分离速度。
如前文所述,一方面由于粘结板11在转动至其上表面与基台10的上表面非共面的过程中带动显示基板14的边缘区域同步转动,可能会导致显示基板14断裂为两截,另一方面,显示基板14的边缘区域一般不制作用于显示的像素结构,因此,在将显示基板14与刚性衬底15分离后,还要对显示基板14进行切割,例如按照图8所述的切割线切割,将边缘区域切掉。
本发明提供的显示基板的剥离装置,其将显示基板14的边缘区域粘结固定在粘结板11上,其他区域则以真空吸附的方式固定在基台10上;通过转动粘结板11,使显示基板14的边缘区域随粘结在一起的粘结板11转动至与基台10的上表面非共面的位置处,即:使显示基板14整体上呈现弯折的形态,在该弯折处,显示基板14与刚性衬底15分离,而后沿该分离区域向未分离区域的方向通过第一吸附端子130、第二吸附端子131依次吸附住刚性衬底15向上移动,使所述分离区域逐步扩大,最终实现显示基板14与刚性衬底15之间的分离。与现有技术相比,这样的首先形成一个分离区域,而后逐步扩大该分离区域,最终实现剥离的成功率更高,而且第一吸附端子130、第二吸附端子131所需施加的吸附力也能减小。
本发明还提供一种显示基板的剥离方法,并给出其实施方式。在本发明给出的实施方式中,如图9所示,所述显示基板的剥离方法基于本发明提供的上述显示基板的剥离装置进行,其具体包括下述步骤S1~S5。所述显示基板具体可以为柔性显示基板。
S1,在粘结板11和基台10的上表面共面时,在显示基板14的第一侧,以粘结的方式将其至少一个角或一条边固定在粘结板上,以真空吸附的方式将其他区域固定在基台10上,如图3所示。
S2,转动粘结板11,使粘结板11上表面与基台10上表面变为非共面状态,如图4所示。
S3,检测显示基板14的边缘区域是否随粘结板11粘结在一起同步转动,而与刚性衬底15分离;若是,则执行步骤S4~S5,若否,则执行步骤S4’;。
S4,在显示基板14的边缘区域与刚性衬底15分离时,利用第一吸附端子130吸附住刚性衬底15向上移动,如图5和图6所示。
S5,沿远离被第一吸附端子130的方向,各第二吸附端子131依次吸附住刚性衬底15,并带动其向上移动,使其与显示基板14分离,如图6和图7所示。
S4’,在显示基板14的边缘区域未与刚性衬底15分离时,转动粘结板11,使其恢复与基台10上表面共面的状态,再次将显示基板14的对应角或边粘结,重复步骤S2~S3。
在步骤S4’中,转动粘结板11,使其再次与显示基板14的对应角或边粘结的目的在于使被粘结的显示基板14的角或边能够随粘结板11同步转动,在粘结板11转动使粘结板11与基台10二者的上表面非共面时,使显示基板14的该角或边相对于显示基板14的整体呈现弯折的状态,也即是在该弯折处实现显示基板14与刚性衬底15的分离。
优选地,在将显示基板14与刚性衬底15剥离后,向显示基板14上贴附背膜。所述被摸用于保护显示基板14。在将背膜贴附后,将显示基板14的边缘区域切割掉。
本发明提供的显示基板的剥离方法,其首先在显示基板14的至少一个角或一条边形成一个与刚性衬底15的分离区域,而后通过第一吸附端子130、第二吸附端子131依次吸附住刚性衬底15,并向上提拉,扩大显示基板14与刚性衬底15之间的分离区域,最终实现显示基板14和刚性衬底15的分离。与现有的剥离方法相比,这样的分离成功率更高,而且,第一吸附端子130、第二吸附端子131所吸附刚性衬底15的力还可以降低。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种显示基板的剥离装置,用于将显示基板与刚性衬底剥离,其特征在于,所述显示基板的剥离装置包括基台、粘结板、检测单元和分离单元;
所述基台用于放置显示基板;所述粘结板设置在所述基台的与放置在其上的显示基板的角或边对应的区域,所述粘结板与基台之间转动连接,使粘结板的上表面能由与基台的上表面共面状态转动至与基台的上表面非共面状态;所述粘结板的上表面设置有粘结区,所述粘结区用于与放置在基台上的显示基板的边缘区域粘结在一起;
所述检测单元用于在粘结板由与基台的上表面共面状态转动至非共面状态之间的过程中检测显示基板的边缘区域是否被粘结在粘结板上;
所述分离单元设置在基台和粘结板的上方,其包括可在竖直方向上移动的第一吸附端子、第二吸附端子,所述粘结板的上方对应设置有第一吸附端子,所述基台的上方对应设置有多个第二吸附端子;所述多个第二吸附端子在所述基台上的投影沿远离所述基台上设置粘结板的角或边的区域依次设置。
2.根据权利要求1所述的显示基板的剥离装置,其特征在于,所述基台上设置有多个真空吸附孔,通过真空吸附将显示基板固定。
3.根据权利要求1所述的显示基板的剥离装置,其特征在于,还包括固定件,所述固定件在所述粘结板处于与基台上表面的非共面状态时,将粘结板固定,以维持与基台上表面之间的非共面状态。
4.根据权利要求1所述的显示基板的剥离装置,其特征在于,所述刚性衬底为玻璃基板。
5.根据权利要求1所述的显示基板的剥离装置,其特征在于,所述显示基板包括聚酰亚胺膜和形成在聚酰亚胺膜上的多种图形,所述聚酰亚胺膜在显示基板与刚性衬底分离前与刚性衬底接触。
6.根据权利要求5所述的显示基板的剥离装置,其特征在于,所述粘结板与显示基板之间的粘结力大于所述聚酰亚胺膜与刚性衬底之间的贴附力。
7.一种显示基板的剥离方法,其特征在于,包括下述步骤:
S1,在粘结板和基台的上表面共面时,在显示基板的第一侧,以粘结的方式将其至少一个角或一条边固定在粘结板上,以真空吸附的方式将其他区域固定在基台上;
S2,转动粘结板,使粘结板上表面与基台上表面变为非共面状态;
S3,检测显示基板的边缘区域是否随粘结板粘结在一起同步转动,而与刚性衬底分离;若是,则执行步骤S4~S5,若否,则执行步骤S4’;
S4,在显示基板的边缘区域与刚性衬底分离时,利用第一吸附端子吸附住刚性衬底向上移动;
S5,沿远离被第一吸附端子的方向,各第二吸附端子依次吸附住刚性衬底,并带动其向上移动,使其与显示基板分离;
S4’,在显示基板的边缘区域未与刚性衬底分离时,转动粘结板,使其恢复与基台上表面共面的状态,再次将显示基板的对应角或边粘结,重复步骤S2~S3。
8.根据权利要求7所述的显示基板的剥离方法,其特征在于,在将显示基板与刚性衬底剥离后,向显示基板上贴附背膜。
9.根据权利要求8所述的显示基板的剥离方法,其特征在于,在将背膜贴附后,将显示基板的边缘区域切割掉。
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Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106887533A (zh) * 2017-03-17 2017-06-23 京东方科技集团股份有限公司 一种分离设备及分离方法
CN106952836A (zh) * 2017-05-12 2017-07-14 京东方科技集团股份有限公司 一种面板及其测试方法、显示装置
CN107121799A (zh) * 2017-06-28 2017-09-01 武汉华星光电技术有限公司 用于面板框胶剥离测试的定位治具
CN107686007A (zh) * 2017-08-16 2018-02-13 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 玻璃基板分离方法及玻璃基板分离装置
WO2019010607A1 (zh) * 2017-07-10 2019-01-17 深圳市柔宇科技有限公司 柔性基板的剥离方法和剥离设备
WO2019080230A1 (zh) * 2017-10-23 2019-05-02 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性显示面板的分离装置和分离方法
CN109901311A (zh) * 2017-12-08 2019-06-18 上海和辉光电有限公司 一种剥离装置
US10374161B2 (en) 2017-08-16 2019-08-06 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Glass substrate separation method and glass substrate separation device
CN110767592A (zh) * 2019-09-17 2020-02-07 云谷(固安)科技有限公司 柔性显示基板及其制备方法、剥离装置
CN111254408A (zh) * 2020-03-05 2020-06-09 光驰科技(上海)有限公司 一种镀膜基片的安装、拆卸的方法
CN111524860A (zh) * 2020-05-26 2020-08-11 信利半导体有限公司 一种柔性基板的机械剥离方法及装置
CN111976262A (zh) * 2020-09-29 2020-11-24 河南天扬光电科技有限公司 一种偏光板对角撕膜机构及撕膜方法
CN112477374A (zh) * 2020-11-24 2021-03-12 珠海市协正智能装备有限公司 膜纸分离装置
CN113135013A (zh) * 2020-01-19 2021-07-20 汉达精密电子(昆山)有限公司 一种撕离型膜机构

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020096815A1 (en) * 2000-12-04 2002-07-25 Siegfried Dachtler Lifter and separator for stacked flexible flat workpieces
CN102202994A (zh) * 2009-08-31 2011-09-28 旭硝子株式会社 剥离装置
CN102886966A (zh) * 2011-07-19 2013-01-23 日东电工株式会社 剥离方法和剥离装置
CN103963421A (zh) * 2013-01-30 2014-08-06 大日本网屏制造株式会社 剥离装置以及剥离方法
CN103972133A (zh) * 2013-01-25 2014-08-06 旭硝子株式会社 基板的剥离装置和剥离方法以及电子器件的制造方法
CN104900564A (zh) * 2015-05-12 2015-09-09 京东方科技集团股份有限公司 剥离设备
CN104950495A (zh) * 2015-05-28 2015-09-30 友达光电股份有限公司 板体分离设备及板体分离方法
CN105084085A (zh) * 2014-05-22 2015-11-25 旭硝子株式会社 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020096815A1 (en) * 2000-12-04 2002-07-25 Siegfried Dachtler Lifter and separator for stacked flexible flat workpieces
CN102202994A (zh) * 2009-08-31 2011-09-28 旭硝子株式会社 剥离装置
CN102886966A (zh) * 2011-07-19 2013-01-23 日东电工株式会社 剥离方法和剥离装置
CN103972133A (zh) * 2013-01-25 2014-08-06 旭硝子株式会社 基板的剥离装置和剥离方法以及电子器件的制造方法
CN103963421A (zh) * 2013-01-30 2014-08-06 大日本网屏制造株式会社 剥离装置以及剥离方法
CN105084085A (zh) * 2014-05-22 2015-11-25 旭硝子株式会社 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法
CN104900564A (zh) * 2015-05-12 2015-09-09 京东方科技集团股份有限公司 剥离设备
CN104950495A (zh) * 2015-05-28 2015-09-30 友达光电股份有限公司 板体分离设备及板体分离方法

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106887533B (zh) * 2017-03-17 2019-03-12 京东方科技集团股份有限公司 一种分离设备及分离方法
CN106887533A (zh) * 2017-03-17 2017-06-23 京东方科技集团股份有限公司 一种分离设备及分离方法
CN106952836A (zh) * 2017-05-12 2017-07-14 京东方科技集团股份有限公司 一种面板及其测试方法、显示装置
CN107121799A (zh) * 2017-06-28 2017-09-01 武汉华星光电技术有限公司 用于面板框胶剥离测试的定位治具
WO2019010607A1 (zh) * 2017-07-10 2019-01-17 深圳市柔宇科技有限公司 柔性基板的剥离方法和剥离设备
CN107686007B (zh) * 2017-08-16 2019-08-20 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 玻璃基板分离方法及玻璃基板分离装置
US10374161B2 (en) 2017-08-16 2019-08-06 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Glass substrate separation method and glass substrate separation device
CN107686007A (zh) * 2017-08-16 2018-02-13 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 玻璃基板分离方法及玻璃基板分离装置
WO2019033491A1 (zh) * 2017-08-16 2019-02-21 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 玻璃基板分离方法及玻璃基板分离装置
WO2019080230A1 (zh) * 2017-10-23 2019-05-02 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性显示面板的分离装置和分离方法
US10518521B2 (en) 2017-10-23 2019-12-31 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Separation apparatus and separation method for flexible display panel
CN109901311B (zh) * 2017-12-08 2021-07-27 上海和辉光电股份有限公司 一种剥离装置
CN109901311A (zh) * 2017-12-08 2019-06-18 上海和辉光电有限公司 一种剥离装置
CN110767592A (zh) * 2019-09-17 2020-02-07 云谷(固安)科技有限公司 柔性显示基板及其制备方法、剥离装置
CN113135013A (zh) * 2020-01-19 2021-07-20 汉达精密电子(昆山)有限公司 一种撕离型膜机构
CN111254408A (zh) * 2020-03-05 2020-06-09 光驰科技(上海)有限公司 一种镀膜基片的安装、拆卸的方法
CN111254408B (zh) * 2020-03-05 2022-06-07 光驰科技(上海)有限公司 一种镀膜基片的安装、拆卸的方法
CN111524860A (zh) * 2020-05-26 2020-08-11 信利半导体有限公司 一种柔性基板的机械剥离方法及装置
CN111976262A (zh) * 2020-09-29 2020-11-24 河南天扬光电科技有限公司 一种偏光板对角撕膜机构及撕膜方法
CN112477374A (zh) * 2020-11-24 2021-03-12 珠海市协正智能装备有限公司 膜纸分离装置

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