CN105198445A - 氮化硼复相陶瓷侧封板及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
氮化硼复相陶瓷侧封板及其制备方法,它涉及一种复相陶瓷侧封板及其制备方法。本发明为了解决添加低熔点相残留降低氮化硼复相陶瓷材料高温抗弯强度和抗热蠕变性能的技术问题。氮化硼复相陶瓷侧封板由氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和添加剂组成,制备:一、称取原料;二、制备复合粉末;三、将复合粉末放入模具中,升温后,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。本发明所制备的氮化硼复相陶瓷侧封板的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到350MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。本发明属于陶瓷侧封板制备领域。
Description
技术领域
本发明涉及一种复相陶瓷侧封板及其制备方法。
背景技术
双辊薄带连铸技术是一种新型的薄带钢生产工艺,作为钢铁工业发展方向的前沿技术,可不经连铸、加热和热轧等生产工序,直接由液态钢水生产出厚度为1~5mm的薄带坯,在短时间内完成从液态金属到固态薄带的全部过程。另外,在获得特殊性能方面具有独特优势,可实现高性能钢材的减量化生产途径,得到了世界钢铁界的广泛重视,但仍需要不断完善以尽快实现工业化生产。
侧封板是在结晶辊两端添加的防漏部件,起到约束金属液体,促进薄带成型,保证薄带边缘质量等作用。但结晶辊的工况要求较为复杂,对侧封板材料的机械性能和理化性能稳定性均提出了较为苛刻的要求,需同时具备抗热震性能、抗钢水侵蚀性能、耐高温摩擦磨损性能和高温尺寸稳定性等要求,致使传统的耐火材料不能满足侧封板的工况要求,亟需新型耐火材料的出现。
六方氮化硼陶瓷材料,具有高温自润滑作用、热膨胀系数低、热导率高、抗热震性能好、高温化学稳定性良好、对凝固物的剥离性好、与熔融金属不浸润等优点,是先进陶瓷材料家族中重要的一员,可广泛应用于金属冶炼以及高温摩擦磨损等关键工程领域。但氮化硼具有高熔点、共价键强和自扩散系数低等物理特性,以及在烧结过程中易形成卡片房结构,即使施加外力也很难将其破坏。采用一般的常规热压烧结工艺,需在1800~2000℃,20~40MPa的高温热压条件下才能将其烧结致密,增加了氮化硼陶瓷材料的制备成本,阻碍了氮化硼材料在工程领域的广泛应用。
尽管添加低熔点相能有效的促进氮化硼复相陶瓷材料烧结致密化,但低熔点相的大量残留会导致热机械性能受到显著的影响,明显降低高温抗弯强度和抗热蠕变性能。此外,低熔点相向钢水中的溶解扩散,不仅降低了氮化硼复相陶瓷的抗钢水侵蚀性能,降低其使用寿命和使用安全性,还会对钢水造成污染,影响产品质量。因此,如何选择有效的烧结助剂和制备技术,一直是亟需解决的工程技术难题。因此,研制和开发出组分组成合理和相应的制备技术,从而制备出服役性能优异的侧封板材料对薄带连铸技术的发展和大规律工业化生产具有重要的意义。
发明内容
本发明是为了解决添加低熔点相残留降低氮化硼复相陶瓷材料高温抗弯强度和抗热蠕变性能的技术问题,提供了一种氮化硼复相陶瓷侧封板及其制备方法。
氮化硼复相陶瓷侧封板按重量份数由65份~85份的氮化硼、15份~35份的电熔氧化锆、5份~15份的碳化硅和5份~10份的添加剂组成;所述的添加剂为MAX相。
所述的MAX相为Nb2AlC、Zr2AlC、V2AlC、Ti2SnC、Zr2SnC、Ti2AlN、Ti3AlC2或Nb4AlC3。
所述的MAX相为Ti3Al(C0.5,N0.5)2,(Nb,Zr)2AlC,(Ti,V)2AlC,(Ti,Nb)2AlC,(Ti,Cr)2AlC,(Ti,Ta)2AlC,(V,Nb)2AlC,(V,Ta)2AlC,(V,Cr)2AlC或(Ti,Hf)2InC。
所述的MAX相为Nb2AlC-Zr2AlC、Zr2AlC-Zr2SnC或(Nb,Zr)2AlC-(V,Ta)2AlC。
氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取65份~85份的氮化硼、15份~35份的电熔氧化锆、5份~15份的碳化硅和5份~10份的添加剂;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和添加剂加入分散介质中,湿法球磨10~48小时后,在70℃~150℃下进行干燥10h~48h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以5℃/min~25℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1200℃~1400℃时加压至20MPa~40MPa,再升温至1400℃~1800℃,保温保压0.5~5h,再以5℃/min~25℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
步骤二中所述的分散介质为酒精、无水乙醇或乙醇质量浓度为55%~95%的乙醇水溶液。
本发明所提出的氮化硼基复相陶瓷侧封材料热压烧结制备方法,有利降低了氮化硼复相陶瓷的烧结温度,抑制生成的物相的颗粒大小与分布不均匀及气孔和局部组织偏聚等缺陷,所制备的材料晶粒细小,具有优异的综合力学性能。此外,在制备过程中没有添加低熔点的烧结助剂,改善了氮化硼基复相陶瓷侧封材料的高温服役性能。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.3,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀深度小于700μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
具体实施方式
本发明技术方案不局限于以下所列举具体实施方式,还包括各具体实施方式间的任意组合。
具体实施方式一:本实施方式氮化硼复相陶瓷侧封板按重量份数由65份~85份的氮化硼、15份~35份的电熔氧化锆、5份~15份的碳化硅和5份~10份的添加剂组成;所述的添加剂为MAX相
所述的MAX相为Nb2AlC、Zr2AlC、V2AlC、Ti2SnC、Zr2SnC、Ti2AlN、Ti3AlC2或Nb4AlC3。
具体实施方式二:本实施方式与具体实施方式一或二之一不同的是所述的MAX相为Ti3Al(C0.5,N0.5)2,(Nb,Zr)2AlC,(Ti,V)2AlC,(Ti,Nb)2AlC,(Ti,Cr)2AlC,(Ti,Ta)2AlC,(V,Nb)2AlC,(V,Ta)2AlC,(V,Cr)2AlC或(Ti,Hf)2InC。其它与具体实施方式一相同。
具体实施方式三:本实施方式与具体实施方式一至二之一不同的是所述的MAX相为Nb2AlC-Zr2AlC、Zr2AlC-Zr2SnC或(Nb,Zr)2AlC-(V,Ta)2AlC。其它与具体实施方式一至二之一相同。
具体实施方式四:具体实施方式一所述的氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取65份~85份的氮化硼、15份~35份的电熔氧化锆、5份~15份的碳化硅和5份~10份的添加剂,添加剂为MAX相为Nb2AlC、Zr2AlC、V2AlC、Ti2SnC、Zr2SnC、Ti2AlN、Ti3AlC2或Nb4AlC3;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和添加剂加入分散介质中,湿法球磨10~48小时后,在70℃~150℃下进行干燥10h~48h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以5℃/min~25℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1200℃~1400℃时加压至20MPa~40MPa,再升温至1400℃~1800℃,保温保压0.5~5h,再以5℃/min~25℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
具体实施方式五:本实施方式与具体实施方式四不同的是步骤二中所述的分散介质为无水乙醇或乙醇质量浓度为55%~95%的乙醇水溶液。其它与具体实施方式四相同。
具体实施方式六:本实施方式与具体实施方式四至五之一不同的是步骤一中所述的MAX相为Ti3Al(C0.5,N0.5)2,(Nb,Zr)2AlC,(Ti,V)2AlC,(Ti,Nb)2AlC,(Ti,Cr)2AlC,(Ti,Ta)2AlC,(V,Nb)2AlC,(V,Ta)2AlC,(V,Cr)2AlC或(Ti,Hf)2InC。其它与具体实施方式四至五之一相同。
具体实施方式七:本实施方式与具体实施方式四至六之一不同的是步骤一中所述的MAX相为Nb2AlC-Zr2AlC、Zr2AlC-Zr2SnC或(Nb,Zr)2AlC-(V,Ta)2AlC。其它与具体实施方式四至六之一相同。
具体实施方式八:本实施方式与具体实施方式四至七之一不同的是步骤三中以15℃/min升温速率,升至1500℃,并施加30MPa的压力,保温保压3h。其它与具体实施方式四至七之一相同。
采用下述实验验证本发明效果:
实验一:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取65份的氮化硼、15份的电熔氧化锆、10份的碳化硅和10份的Nb2AlC;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和Nb2AlC加入酒精分散介质中,湿法球磨10小时后,在80℃下进行干燥10h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以10℃/min升温速率,在800℃开始施加压力,在1200℃时加压至30MPa,并升温至1600℃,在1600℃温度条件下保温保压1小时,以15~20℃/min的降温速率降温至室温,并同时卸载压力,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。所制备的氮化硼复相陶瓷侧封板的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到350MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.26,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于700μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
实验二:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取75份的氮化硼、10份的电熔氧化锆、10份的碳化硅和5份的Ti2AlC;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和Ti2AlC加入酒精分散介质中,湿法球磨20小时后,在90℃下进行干燥20h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以15℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1400℃时加压至30MPa,再升温至1700℃,保温保压1h,再以8℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
所制备的氮化硼基陶瓷侧封板材料的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到300MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.3,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于700μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
实验三:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取75份的氮化硼、10份的电熔氧化锆、10份的碳化硅和5份的Ti3AlC2;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和Ti3AlC2加入酒精分散介质中,湿法球磨20小时后,在90℃下进行干燥20h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以15℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1400℃时加压至30MPa,再升温至1700℃,保温保压1h,再以8℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
所制备的氮化硼基陶瓷侧封板材料的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到320MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.28,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于700μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
实验四:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取75份的氮化硼、10份的电熔氧化锆、10份的碳化硅和5份的Nb4AlC3;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和Nb4AlC3加入酒精分散介质中,湿法球磨20小时后,在90℃下进行干燥20h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以15℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1400℃时加压至30MPa,再升温至1700℃,保温保压1h,再以8℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
所制备的氮化硼基陶瓷侧封板材料的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到340MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.26,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于700μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
实验五:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取75份的氮化硼、10份的电熔氧化锆、10份的碳化硅和5份的(Ti,Hf)2InC;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和(Ti,Hf)2InC加入酒精分散介质中,湿法球磨20小时后,在90℃下进行干燥20h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以15℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1400℃时加压至30MPa,再升温至1700℃,保温保压1h,再以8℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
所制备的氮化硼基陶瓷侧封板材料的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到350MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.25,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于650μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
实验六:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取75份的氮化硼、15份的电熔氧化锆、5份的碳化硅和5份的(Ti,Nb)2AlC;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和(Ti,Nb)2AlC加入酒精分散介质中,湿法球磨20小时后,在90℃下进行干燥20h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以15℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1400℃时加压至30MPa,再升温至1700℃,保温保压1h,再以8℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
所制备的氮化硼基陶瓷侧封板材料的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到350MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.3,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于600μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
实验七:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取75份的氮化硼、10份的电熔氧化锆、10份的碳化硅和5份的(Ti,Cr)2AlC;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和(Ti,Cr)2AlC加入酒精分散介质中,湿法球磨20小时后,在90℃下进行干燥20h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以15℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1400℃时加压至30MPa,再升温至1600℃,保温保压1h,再以8℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
所制备的氮化硼基陶瓷侧封板材料的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到330MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.3,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于580μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
实验八:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取65份的氮化硼、25份的电熔氧化锆、5份的碳化硅和5份的Nb2AlC-Zr2AlC;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和Nb2AlC-Zr2AlC加入酒精分散介质中,湿法球磨48小时后,在150℃下进行干燥40h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以15℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1400℃时加压至40MPa,再升温至1500℃,保温保压1h,再以15℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
所制备的氮化硼复相陶瓷侧封板的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到380MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.3,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于620μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
实验九:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取65份的氮化硼、20份的电熔氧化锆、5份的碳化硅和10份的Zr2AlC-Zr2SnC;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和Zr2AlC-Zr2SnC加入分散介质中,湿法球磨30小时后,在100℃下进行干燥20h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以9℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1400℃时加压至30MPa,再升温至1600℃,保温保压1h,再以15℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
所制备的氮化硼复相陶瓷侧封板的致密度可达到98%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到400MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。在侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.26,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于650μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
实验十:氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取65份的氮化硼、20份的电熔氧化锆、5份的碳化硅和10份的(Nb,Zr)2AlC-(V,Ta)2AlC;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和(Nb,Zr)2AlC-(V,Ta)2AlC加入酒精分散介质中,湿法球磨48小时后,在150℃下进行干燥40h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以20℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1400℃时加压至30MPa,再升温至1600℃,保温保压1h,再以20℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
所制备的氮化硼复相陶瓷侧封板的致密度可达到97%以上,使具有优异的综合力学性能,其抗弯强度值可达到350MPa,高温力学性能测试中没有出现明显的软化现象。侧封板经过1000℃热震温差热震后没有裂纹产生,经过800℃热震温差热循环热震20次不存在断裂现象,与结晶辊具有良好的摩擦磨损相容性,相互摩擦系数小于0.3,具有良好的抗钢水侵蚀性能,在1600℃侵蚀条件下,侵蚀40分钟侵蚀深度小于550μm,各项性能符合侧封板服役条件使用性。
Claims (10)
1.氮化硼复相陶瓷侧封板,其特征在于氮化硼复相陶瓷侧封板按重量份数由65份~85份的氮化硼、15份~35份的电熔氧化锆、5份~15份的碳化硅和5份~10份的添加剂组成;所述的添加剂为MAX相。
2.根据权利要求1所述氮化硼复相陶瓷侧封板,其特征在于所述的MAX相为Nb2AlC、Zr2AlC、V2AlC、Ti2SnC、Zr2SnC、Ti2AlN、Ti3AlC2或Nb4AlC3。
3.根据权利要求1所述氮化硼复相陶瓷侧封板,其特征在于所述的MAX相为Ti3Al(C0.5,N0.5)2,(Nb,Zr)2AlC,(Ti,V)2AlC,(Ti,Nb)2AlC,(Ti,Cr)2AlC,(Ti,Ta)2AlC,(V,Nb)2AlC,(V,Ta)2AlC,(V,Cr)2AlC或(Ti,Hf)2InC。
4.根据权利要求1所述氮化硼复相陶瓷侧封板,其特征在于所述的MAX相为Nb2AlC-Zr2AlC、Zr2AlC-Zr2SnC或(Nb,Zr)2AlC-(V,Ta)2AlC。
5.氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法,其特征在于氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法按照以下步骤进行:
一、按重量份数称取65份~85份的氮化硼、15份~35份的电熔氧化锆、5份~15份的碳化硅和5份~10份的添加剂;
二、将氮化硼、电熔氧化锆、碳化硅和添加剂加入分散介质中,湿法球磨10~48小时后,在70℃~150℃下进行干燥10h~48h,过200目筛,得到混合均匀的复合粉末;
三、将复合粉末放入模具中,在真空或惰性气氛保护的条件下,以5℃/min~25℃/min升温速率,升温至800℃开始施加压力,在1200℃~1400℃时加压至20MPa~40MPa,再升温至1400℃~1800℃,保温保压0.5~5h,再以5℃/min~25℃/min降温速率,降至室温,即得氮化硼复相陶瓷侧封板。
6.根据权利要求5所述氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法,其特征在于步骤二中所述的分散介质为酒精、无水乙醇或乙醇质量浓度为55%~95%的乙醇水溶液。
7.根据权利要求5或6所述氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法,其特征在于步骤一中所述的MAX相为Nb2AlC、Zr2AlC、V2AlC、Ti2SnC、Zr2SnC、Ti2AlN、Ti3AlC2或Nb4AlC3。
8.根据权利要求5或6所述氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法,其特征在于步骤一中所述的MAX相为Ti3Al(C0.5,N0.5)2,(Nb,Zr)2AlC,(Ti,V)2AlC,(Ti,Nb)2AlC,(Ti,Cr)2AlC,(Ti,Ta)2AlC,(V,Nb)2AlC,(V,Ta)2AlC,(V,Cr)2AlC或(Ti,Hf)2InC。
9.根据权利要求5或6所述氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法,其特征在于步骤一中所述的MAX相为Nb2AlC-Zr2AlC、Zr2AlC-Zr2SnC或(Nb,Zr)2AlC-(V,Ta)2AlC。
10.根据权利要求5或6所述氮化硼复相陶瓷侧封板的制备方法,其特征在于步骤三中以15℃/min升温速率,升至1500℃,并施加30MPa的压力,保温保压3h。
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