CN105008870B

CN105008870B - 热式流体计测装置

Info

Publication number: CN105008870B
Application number: CN201480012070.7A
Authority: CN
Inventors: 浅野哲; 松本昌大; 中野洋; 佐藤亮
Original assignee: Hitachi Automotive Systems Ltd
Current assignee: Hitachi Astemo Ltd
Priority date: 2013-03-05
Filing date: 2014-01-10
Publication date: 2019-10-01
Anticipated expiration: 2034-01-10
Also published as: US9939300B2; US20160011031A1; EP2966419A4; JP5914388B2; EP2966419A1; CN105008870A; JP2014169948A; EP2966419B1; WO2014136468A1

Abstract

本发明提供一种热式流体计测装置，其为了适当地修正计测误差而实现高精度的计测，包括：具有通道部和电路室的组件；配置于所述通道部的传感器元件；和配置于所述电路室的电路元件，所述电路元件具有修正部，该修正部根据流体的温度与所述组件的温度的温度差信息和所述流体的温度与所述组件的温度中的至少一者的温度来修正所述传感器元件检测出的流量信息。

Description

热式流体计测装置

技术领域

本发明涉及热式流体计测装置，特别涉及设置于汽车发动机的进气***来测定发动机的吸入空气流量的热式流体计测装置。

背景技术

近年来，为了降低汽车引起的环境负荷，需要先进的燃烧控制技术。因此，需要正确掌握向发动机的吸入空气量，搭载于汽车的热式流体计测装置优选进一步高精度化。与此相对，在大多设置于内燃机附近的热式流体计测装置中，汽车的内燃机的周围温度因各种的原因大大地波动，所以温度引起的计测误差降低技术是重要的技术。

例如，经验性地已知当传感器组件的温度通过由内燃机产生的热量而上升时，就会通过被吸入的空气的温度与传感器组件的温度之间的温度差而产生计测误差。作为控制该计测误差的现有技术，具有由专利文献1公开的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－216906号公报

发明内容

发明要解决的课题

另一方面，最近，受发动机的小型化或低怠速化的潮流的影响，热式流体计测装置被要求对应更低流量域。但是，本发明人的研究结果已判明：在热式流体计测装置的传感器元件附近的流场近似于层流的极低的流量域，由内燃机产生的热量引起的计测误差有时也依赖于被吸入的空气的温度与传感器组件的温度的温度差以外的因素。因此，在专利文献1中，关于降低由内燃机产生的热量引起的计测误差，且进行更高精度的计测还有研究的余地。

因此，本发明的目的在于提供一种高精度的热式流体计测装置。

用于解决课题的技术方案

为了实现上述目的，本发明的温度修正方法和利用温度修正方法的热式流体计测装置包括：具有通道部和电路室的组件；配置于所述通道部的传感器元件；和配置于所述电路室的电路元件，所述电路元件具有修正部，该修正部根据流体的温度与所述组件的温度的温度差信息和所述流体的温度与所述组件的温度中的至少一者的温度来修正所述传感器元件检测出的流量信息。

发明效果

根据本发明，能够提供一种高精度的热式流体计测装置。

附图说明

图1表示构成第一实施例的热式流体计测装置的构造。

图2a是构成第一实施例的热式流体计测装置的传感器元件100的剖面图。

图2b是构成第一实施例的热式流体计测装置的传感器元件100的俯视图。

图3表示构成第一实施例的热式流体计测装置的计测电路。

图4是构成第一实施例的热式流体计测装置的温度修正部500的框图。

图5表示构成第二实施例的热式流体计测装置的构造。

图6表示构成第二实施例的热式流体计测装置的传感器元件100的构造。

图7表示构成第二实施例的热式流体计测装置的计测电路。

图8表示构成第三实施例的热式流体计测装置的计测电路。

图9表示构成第四实施例的热式流体计测装置的芯片800的构造。

图10表示构成第四实施例的热式流体计测装置的计测电路。

图11表示由被吸入的空气与传感器组件的温度差引起的计测误差例。

图12表示被吸入的空气和传感器组件的温度差与计测误差之间的关系例。

具体实施方式

下面，利用附图对用于实施本发明的实施方式进行说明。

图1表示的是构成本发明的第一实施例的热式流体计测装置的构造。主流体3可在由配管1形成的主通道2中流通，为了测定该主流体3的流量，将壳体(casing)4***主通道2。在壳体4中形成将主流体3的一部分导入的通道5，以暴露于导入到通道5的支流体6的方式配置传感器元件100。传感器元件100由支承体7支承，在支承体7上搭载电路元件200。电路元件200将传感器元件100的输出信号转换为流量信息而输出到外部。

接着，图2a、图2b表示的是传感器元件100的构造。传感器元件100在硅衬底101的一面上形成绝缘膜102，从硅衬底101的另一面侧进行蚀刻处理，形成隔膜109。在隔膜109上形成发热电阻体103、用于检测流量的检测电阻体105、106、以及用于计测发热电阻体103的温度的测温电阻体104。另外，检测电阻体105相对于支流体6的主要流动方向配置在发热电阻体103的上游侧，检测电阻体106相对于支流体6的主要流动方向配置在发热电阻体103的下游侧，测温电阻体104配置在发热电阻体103的附近。进而，通过在上述电阻体的上部形成绝缘性的保护膜108，从支流体6所含的污染物等附着于传感器元件100造成的各电阻间的短路和电阻材料的腐蚀方面进行保护。另外，作为上述的各电阻体103～106，3优选使用电阻温度系数大的材料。作为电阻温度系数大的材料，具有例如：硅、铂、钨、钼、钽、钛等。

接着，图3表示的是热式流体计测装置的计测电路。计测电路具备流量检测电路300和发热控制电路400。流量检测电路300是检测流量的电路，具备：将检测电阻体105和检测电阻体106交替地连接而成的电桥电路(下称检测电桥电路)、AD转换器301、修正部500。检测电桥电路的中间电位Va、Vb输入到AD转换器301进行数字转换。修正部500基于Va、Vb所对应的数字值导出流量。

发热控制电路400是将发热电阻体103控制到规定温度的电路，具备：由电阻值随着支流体6的温度而变化的感温电阻体107和测温电阻104构成的电桥电路(下称测温电桥电路)、AD转换器401、控制部402、DA转换器403、驱动晶体管404、发热电阻103。测温电桥电路的中间电位Vc、Vd输入到AD转换器401进行数字转换。控制部402基于Vc、Vd所对应的数字值，生成发热电阻103的驱动量信息。该驱动量信息通过DA转换器403和驱动晶体管转换为驱动信号，施加到发热电阻103。

这里，利用图11、图12对被吸入的空气的温度Ta与传感器组件的温度Tm的温度差引起的计测误差(下称ΔT误差)进行说明。

图11表示的是在将被吸入的空气与传感器组件的温度差为一定的状态下Ta为Ta1时和比Ta1低的温度Ta2时的ΔT误差。此外，横轴表示流量，纵轴表示ΔT误差的大小E。图11表示的是在流场近似于层流的低流量域，即使被吸入的空气与传感器组件的温度差一定，当Ta变化时，误差的大小也变化的倾向，该倾向是流量越低越显著。

另外，图12表示的是图11所述的流量Q₁的ΔT误差的大小E、和被吸入的空气与传感器组件的温度差之间的关系。图12启示的是为求出某流量Q1的ΔT误差的大小E而利用(Ta－Tm)同时还利用Ta的必要性。此外，作为具有ΔT误差对Ta的依赖性的理由，可举出通过传感器元件100附近的支流体6a的流速梯度会影响到空气和检测电阻105、106的传热量这一点。

受此影响，本发明的热式流体计测装置将被吸入的空气的温度Ta和传感器组件的温度Tm导入修正部500，基于(Ta－Tm)且基于Ta，能够修正AD转换器301的输出。

被吸入的空气的温度Ta通过由使用支承部件9而以暴露于主流体3的方式配置在壳体4的外部的热敏电阻10、固定电阻13构成的第一温度传感器来检测，第一温度传感器的输出经由AD转换器302输入到修正部500。

此外，在第一实施例中，通过使用设为平板状并提高了散热性的支承部件9a和细长并提高了热电阻的支承部件9b，实现热敏电阻10的响应提高和来自壳体4的传热抑制。

另一方面，传感器组件的温度Tm通过由配置在支承体7上的热敏电阻11和固定电阻14构成的第二温度传感器来检测，第二温度传感器的输出经由AD转换器303输入到修正部500。

此外，固定电阻13、14的实现方法可以使用分立部件形成，也可以在电路元件200内部使用电阻温度系数小的材料形成。

接着，利用图4对修正部500的结构进行说明。修正部500具备：将用于修正ΔT误差的修正量导出的修正量导出部501、将用于修正仅与被吸入的空气和传感器组件中的任一方的温度与基准温度的温度差相应的特性波动误差的修正量导出的修正量导出部505、用于向各修正量导出部传输温度信息的运算器502、多路复用器506、用于反映由各修正量导出部导出的修正量的运算器504、507、DA转换器508。

接着，利用图4对修正部500的动作进行说明。首先，将AD转换器301输出的流量信号Q、AD转换器302输出的被吸入的空气的温度信号Ta和AD转换器303输出的传感器组件温度信号Tm输入到修正部500。修正量导出部501将用于修正ΔT误差的修正量导出。通过运算器502对AD转换器302、303的输出Ta、Tm进行减法运算，生成被吸入的空气与传感器组件的温度差所对应的信号X1。因为修正量导出部501要将用于修正ΔT误差的修正量导出，所以要将流量信号Q、由运算器502生成的温度差相应的信号X1、AD转换器302的输出Ta输入到修正量导出部501。修正量导出部501基于已输入的Q、X1、Ta导出修正量Y1。通过运算器504进行流量信号Q加上修正量Y1的加法运算，生成修正后信号Qr。

如上所述，ΔT误差的大小依赖于被吸入的空气与传感器组件的温度差，且依赖于被吸入的空气的温度，所以在修正量Y1的导出中，需要采用考虑到该依赖性的导出方法。本发明的第一实施例的修正量导出部501导出的修正量Y1满足下面的关系。这里，A(Q)和B(Q)是流量信号Q的函数。

[公式1]

此外，也可以向修正量导出部501输入传感器组件的温度信号Tm来代替被吸入的空气的温度信号Ta。其中，在那种情况下，需要在修正量导出部501的内部追加根据Tm和X1推算Ta的处理等，照顾到修正量Y1对被吸入的空气的温度具有依赖性。

接着，将信号Qr输入到修正量导出部505，修正量导出部505将用于修正仅与周围温度和基准温度的温度差相应的特性波动误差的修正量导出。因为修正量导出部505要将修正量导出，所以要将AD转换器302的输出Tm和AD转换器303的输出Ta中的任一方作为经由多路复用器506的温度信号T2输入到修正量导出部505。修正量导出部505基于已输入的Qr、T2导出修正量Y2，通过运算器507与信号Qr进行加法运算，生成修正后信号Qrr。

此外，特性波动误差的大小依赖于被吸入的空气或传感器组件中的任一方的温度与基准温度的温度差，修正量导出部505导出的修正量Y2满足下面的关系。其中，C(Qr)是Qr的函数。

[公式2]

然后，信号Qrr使用DA转换器508转换为模拟信号，输出到外部装置。

构成第一实施例的热式流体计测装置的优点是通过修正部500的动作能够高精度地修正ΔT误差这一点。由此，能够实现低流量的高精度的流量计测。

进而，在本实施例中，在壳体4内设有通道5，且在通道5内部配置有传感器元件100。由此，来抵制主流体3所含的异物的向传感器元件100的碰撞或附着，且产生对传感器元件100周围的流场进行整流的效果，提高了可靠性和计测精度。

进而，在通道5的比传感器元件100靠上游侧设有弯曲部5a。由此，产生对比弯曲部5a靠下游侧的流场进行整流的效果，提高了计测精度。

进而，作为热敏电阻10的支承部件，使用设为平板状并提高了散热性的支承部件9a和细长并提高了热电阻的支承部件9b。由此实现热敏电阻10的响应性提高和来自壳体4的传热抑制，提高了第一温度传感器的计测精度。

接着，利用图5～图7说明构成第二实施例的热式流体计测装置。

构成第二实施例的热式流体计测装置采取具备形成于传感器元件100上的感温电阻15和形成于电路元件200内的感温电阻16来代替构成第一实施例的热式流体计测装置的热敏电阻10、11的结构。关于它们以外的主要结构，包含其动作在内都与构成第一实施例的热式流体计测装置相同，所以省略说明。

图6表示的是具备感温电阻体15的传感器元件100的结构。在第二实施例中，根据支流体6的温度检测被吸入的空气的温度Ta。感温电阻体15是电阻值随着温度而变化的电阻体。为了检测支流体6的温度，将感温电阻体15以配置于通道5内的方式搭载在传感器元件100上。进而，为了检测支流体6的温度，将感温电阻体15配置在传感器元件100上的难以受到来自的发热电阻103的热影响的位置。例如，可以将感温电阻15配置在比发热电阻体103靠上游侧，进一步优选配置在相对于支流体6的行进方向不与发热电阻体103重叠的位置。在第二实施例中，以与感温电阻体107相邻的方式配置在传感器元件100上。另外，为了更高速地追踪支流体6的温度变化，也可以为将感温电阻体15和感温电阻体107都配置在隔膜109上的结构。

图7表示的是构成第二实施例的热式流体计测装置的计测电路。感温电阻体15与固定电阻17串联连接，且与上述的测温电桥电路并联连接。而且，将测温电阻体15和固定电阻17的中点电位Ve与测温电桥电路的输出Vd一起输入到AD转换器304。AD转换器304将Vd和Ve的电压差转换为数字信号。因为感温电阻体15、107b、107c的电阻值依赖于支流体6的温度，且固定电阻17的电阻值不变，所以AD转换器304的输出成为表示支流体6的温度的信号。

此外，固定电阻17的实现方法可以使用分立部件形成，也可以在电路元件200内部使用电阻温度系数小的材料形成。

另一方面，感温电阻体16变更了搭载位置，但电路动作与构成第一实施例的热式流体计测装置的热敏电阻11相同。感温电阻体16例如能够设为在电路元件200内使用多晶硅的电阻来实现。

构成第二实施例的热式流体计测装置的优点与构成第一实施例的热式流体计测装置同样，是通过修正部500的动作能够高精度地修正ΔT误差这一点。由此，能够实现低流量的高精度的流量计测。

进而，在第二实施例中，采用的是使用形成于传感器元件100上的感温电阻体15来计测被吸入的空气温度Ta的结构。通过上述结构，能够削减用于设置支承部件9和热敏电阻10的成本，并且通过使用热容量小的感温电阻15，能够提高对温度的响应性。

进而，采用的是使用形成于电路元件200上的感温电阻体16来计测传感器组件温度Tm的结构。由此，能够削减用于设置热敏电阻11的成本，并且通过使用热容量小的感温电阻16，能够提高对温度的响应性。

根据第二实施例，由于使用响应性高的感温电阻体来测定被吸入的空气温度Ta和传感器组件温度Tm，因此能够实现更高精度的流量检测。

接着，利用图8对构成第三实施例的热式流体计测装置进行说明。

构成第三实施例的热式流体计测装置采取将构成第一实施例的热式流体计测装置的修正部500设置于电子控制单元600(下称ECU600)的结构。

检测电桥电路的中间电位Va、Vb输入到差分放大器305，然后再输出到ECU600。差分放大器305的输出通过AD转换器601进行数字转换，输入到修正部500。另外，被吸入的空气的温度通过由热敏电阻18、固定电阻20构成的电桥电路来检测，经由AD转换器602输入到修正部500。同样，传感器组件的温度通过由热敏电阻19、固定电阻21构成的电桥电路来检测，经由AD转换器603输入到修正部500。然后，修正部500执行第一实施例所述的修正处理。

在第一实施例中，由热式流量计测装置进行流量信号Q的修正，将修正后的流量信号发送到外部(ECU600)，但在第三实施例中，向ECU600发送流量信号Q、被吸入的空气的温度信号Ta、组件温度信号Tm，在设置于ECU600的修正部500进行修正。此外，如第三实施例所示，不需要传感器元件100、电路元件200、修正部500、计测被吸入的空气的温度的单元、还有计测传感器组件的温度的单元其全部都装设于单一的装置。例如，也可以将传感器元件100、电路元件200、传感器组件的温度计测单元装设于流量传感器，以单体设置空气的温度计测单元，仅将使用这些单元检测的信号进行修正的修正部500设置于ECU600。

接着，利用图9、图10对构成第四实施例的热式流体计测装置进行说明。

如图9所示，第四实施例的流量检测元件是在由硅衬底构成的半导体芯片800上一体形成有流量检测部和电路部的结构。第四实施例的流量检测部与第一实施例的传感器元件100同样，具有：通过利用对硅衬底进行蚀刻处理而形成空洞部或凹部来制成局部薄膜状的隔板(第一实施例的隔膜)、设置在隔板上的发热体、设置在发热体的上游侧和下游侧的温度检测体。温度检测体是局部或整体形成于隔板上的结构。

构成第四实施例的热式流体计测装置成为将传感器元件100和电路元件200集成化在一个芯片800上的结构。并且，计测被吸入的空气与传感器组件的温度差的单元和计测传感器组件的温度的单元也采用设置于芯片800的结构。

图9表示的是芯片800的结构。芯片800具有：隔膜109、流量检测电路300、发热控制电路400、热电偶801、感温电阻体802、发送部701。此外，隔膜109、流量检测电路300、发热控制电路400的结构与第一实施例相同，所以省略说明。

热电偶801的一个连接点801a设置在隔膜109内，另一个连接点801b设置在隔膜109外。由此，连接点801a追踪在隔膜109上通过的支流体6的温度，连接点801b追踪芯片800的温度，即，追踪搭载有芯片800的传感器组件的温度。因为热电偶产生的是在两个连接点间产生的温度差所对应的电压，所以通过上述结构，能够计测空气与传感器组件的温度差。另外，连接点801b和感温电阻体802靠近配置。由此，能够使连接点801b与感温电阻体802的温度大致相等。

通过上述结构，能够计测空气与传感器组件的温度差和传感器组件的温度，进而能够从这些温度信息导出空气的温度。

图10表示的是构成第四实施例的热式流体计测装置的计测电路。流量检测电路300、热电偶801、感温电阻体802各自检测出的计测信息从发送部701输出，经由线束703传递到设置于ECU600的接收部702。然后，设置于ECU600的修正部500使用接收部702接收到的信息执行所述的修正动作。

此外，关于线束703，也可以对流量检测电路300、热电偶801、感温电阻体802各自检测出的每一个计测信息都准备专用线束。另外，通过使用规定的通信协议，也能够降低线束根数。进而，也可应用无线通信技术来削减线束。

此外，作为在向ECU600的信号传输上使用数字通信技术的其他优点，能够期待提高传输信息的可靠性的效果。车载线束会受到车载设备发出的各种各样的电磁噪声的影响，且具有重叠于线束的噪声给传输信息带来影响的危险性。与此相对，数字通信因为能够容易应用查错技术等，所以能够提高传输信息的可靠性。

另外，第一实施例的修正部500使用流量信号Q、被吸入的空气的温度Ta、被吸入的空气与传感器组件的温度差(Ta－Tm)作为用于导出修正量的参数。另一方面，第四实施例的修正部500将流量信号Q、传感器组件的温度Tm、被吸入的空气与传感器组件的温度差(Ta－Tm)输入。在本实施例中，通过从空气与传感器组件的温度差和传感器组件的温度导出空气的温度Ta，利用与第一实施例的修正部500同样的参数实现修正动作。

另外，作为第四实施例的变形例，也可以将修正部500集成化于芯片800。在这种情况下，能够实现芯片800的个别误差相应的修正处理，也可省略发送部701、接收部702。进而，也能够减轻ECU600的信号处理量。

在以上说明的各实施例中，修正量导出部501在导出修正量Y1时所使用的函数A(Q)和B(Q)可以作为曲线图数据存储于存储装置，也可以通过算术运算而求出，导出介质没有特别限定。另外，修正量导出部505在导出修正量Y2时所使用的函数C(Qr)也同样。

另外，在上述中，修正量导出部501和修正量导出部505成为串联地进行处理的结构，但也可以采用并联地进行处理的结构。

另外，上述的各实施例的热式流体计测装置在检测元件上使用电阻温度系数高的电阻体，但例如也可以使用热电偶。同样，在使用利用塞贝克效应、汤姆森效应、珀耳帖效应等热电转换效应的检测元件的情况下，也能够得到同样的效果。

附图标记说明

1：配管、2：主通道、3：主流体、4：壳体、5：通道、6：支流体、7：支承体、8：电路室、9：支承部件、10：热敏电阻、11：热敏电阻、12：连接器、13：固定电阻、14：固定电阻、15：电阻体、16：电阻体、17：固定电阻、18：热敏电阻、19：热敏电阻、20：固定电阻、21：固定电阻、100：传感器元件、101：硅衬底、102：绝缘膜、103：发热电阻体、104：测温电阻体、105：检测电阻体、106：检测电阻体、107：感温电阻体、108：保护膜、109：隔膜、200：电路元件、300：流量检测电路、301：AD转换器、302：AD转换器、303：AD转换器、304：AD转换器、305：放大器、400：发热控制电路、401：AD转换器、402：控制部、403：DA转换器、404：晶体管、500：修正部、501：修正量导出部、502：运算器、504：运算器、505：修正量导出部、506：多路复用器、507：运算器、508：DA转换器、600：ECU、601：AD转换器、602：AD转换器、603：AD转换器、700：通信单元、701：发送部、702：接收部、703：电缆、800：芯片、801：热电偶、802：电阻体。

Claims

1.一种热式流体计测装置，其特征在于，包括：

具有通道部和电路室的组件；

配置于所述通道部的传感器元件；和

配置于所述电路室的电路元件，

所述电路元件具有对流体的温度与所述组件的温度的温度差信息引起的计测误差进行修正的修正部，

所述修正部具备将用于修正所述计测误差的第一修正量导出的修正量导出部，

所述流体的流量信号、所述流体的温度与所述组件的温度的温度差信号和所述流体的温度信号被输入到所述修正量导出部，所述修正量导出部基于所述流体的流量信号、所述温度差信号和所述流体的温度信号导出用于对所述计测误差进行修正的所述第一修正量。

2.根据权利要求1所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述传感器元件具有构成于半导体衬底的隔膜、设置在所述隔膜上的发热电阻体和设置在所述隔膜上、且为所述发热电阻体的上游侧和下游侧的多个温度检测体，

具有测定所述流体的温度的第一温度传感器和测定所述组件的温度的第二温度传感器，

所述第二温度传感器设置在所述电路室内。

3.根据权利要求2所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述第一温度传感器设置在所述组件的外侧且暴露于所述流体的位置。

4.根据权利要求3所述的热式流体计测装置，其特征在于：

由从所述组件突出的支承部件支承所述第一温度传感器，所述支承部件具有抑制从所述组件向所述第一温度传感器传热的传热抑制部。

5.根据权利要求2所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述第一温度传感器设置在所述半导体衬底上。

6.根据权利要求2所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述半导体衬底具有电桥电路，所述电桥电路包括电阻值随着所述发热电阻体的温度而变化的第一感热电阻体、电阻值随着所述流体的温度而变化的第二感温电阻体、电阻值随着所述流体的温度而变化的第三感温电阻体和电阻值随着所述流体的温度而变化的第四感热电阻体，

所述电路元件具有使用所述电桥电路的输出来控制所述发热电阻体的发热量的控制部，

所述第一温度传感器包括所述第二感温电阻体、所述第三感温电阻体和所述第四感热电阻体中的至少一个以上的感热电阻体。

7.根据权利要求2所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述电路元件具有将来自所述传感器元件的信号输入并将所述流体的规定参数的计测结果输出的计测电路，所述计测电路和所述第二温度传感器集成在同一个半导体芯片上。

8.根据权利要求1所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述修正部具有第一修正存储数据和第二修正存储数据中的至少一者的存储数据，所述第一修正存储数据保存与所述流体的温度和所述组件的温度的温度差相应的所述第一修正量；所述第二修正存储数据保存与所述流体的温度和所述组件的温度中的至少一者的温度相应的第二修正量。

9.根据权利要求1所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述修正部具有计算单元，所述计算单元根据所述流体与所述组件的温度差和所述流体的温度与所述组件的温度中的至少一者的温度来计算出修正量。

10.根据权利要求1所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述传感器元件具有形成于半导体衬底的隔膜、设置在所述隔膜上的发热电阻体和设置在所述隔膜上、且为所述发热电阻体的上游侧和下游侧的多个温度检测体，

在同一个半导体衬底上集成所述传感器元件和所述电路元件，

所述半导体衬底具有测定所述组件温度的组件温度传感器，

所述电路元件具有将来自所述传感器元件的信号输入并将所述流体的规定参数的计测结果输出的计测电路。

11.根据权利要求10所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述半导体衬底包括多个热电偶，

所述多个温度检测体分别为所述热电偶的一个连接点。

12.根据权利要求11所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述多个热电偶中包括另一个连接点设置在隔膜外的热电偶，

通过所述另一个连接点设置在隔膜外的热电偶来测定所述流体的温度与所述组件的温度的所述温度差。

13.根据权利要求12所述的热式流体计测装置，其特征在于：

所述另一个连接点设置在隔膜外的热电偶的所述另一个连接点与所述组件温度传感器靠近配置。

14.一种流量检测***，其特征在于，包括：

检测在进气管中流动的流体的流量的流量检测单元；

检测在进气管中流动的流体的温度的流体温度检测单元；

检测所述流量检测单元的组件温度的组件温度测定单元；和

修正流量检测单元的计测结果的修正单元，

所述修正单元具备导出第一修正量的修正量导出部，该第一修正量用于修正由所述流体温度检测单元检测出的流体温度与由所述组件温度测定单元检测出的组件温度的温度差信息引起的计测误差，

所述流体的流量信号、所述流体温度与所述组件温度的温度差信号和所述流体的温度信号被输入到所述修正量导出部，所述修正量导出部基于所述流体的流量信号、所述温度差信号和所述流体的温度信号导出用于对所述计测误差进行修正的所述第一修正量。

15.一种流量检测***，其特征在于，包括：

检测在进气管中流动的流体的流量的流量检测单元；

检测所述流体的温度与组件温度的温度差的温度差检测单元；

检测所述组件温度的组件温度检测单元；和

修正单元，其对由所述温度差检测单元检测出的温度差信息引起的计测误差进行修正，

所述修正单元使用所述流体的流量和所述流体的温度对所述流体的温度与所述组件的温度的温度差信息引起的计测误差进行修正，

所述修正单元具备导出第一修正量的修正量导出部，该第一修正量用于修正所述计测误差，

所述流体的流量信号、所述温度差的信号和所述流体的温度信号被输入到所述修正量导出部，所述修正量导出部基于所述流体的流量信号、所述温度差的信号和所述流体的温度信号导出用于对所述计测误差进行修正的所述第一修正量。

16.根据权利要求14或15所述的流量检测***，其特征在于：

具有将由各所述检测单元检测出的信息发送到所述修正单元的通信单元。