CN104685325B - 用于操作共振测量***的方法及其相关共振测量*** - Google Patents

用于操作共振测量***的方法及其相关共振测量*** Download PDF

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Abstract

示出且描述了一种用于操作共振测量***(1)、尤其是科里奥利质量流量测量设备的方法，其中该共振测量***(1)包括至少一个调节器(2)、至少一个电伺服机构(3)、至少一个作为振荡发生器的电磁驱动器(4)、至少一个振荡元件(5)和至少一个振荡接收器(6)，其中调节器(2)产生用于操控电伺服机构(3)的调节器输出信号(u1)，电伺服机构(3)提供用于激励电磁驱动器(4)的电激励信号(u2)，电磁驱动器(4)激励振荡元件(5)以至少一个本征形式进行振荡并且其中振荡元件(5)的被激励的振荡由振荡接收器(6)获取并且作为至少一个输出信号(y)发出。对作为共振测量***的工作点的共振位置的快速且可靠的启动、停止和追踪能够通过如下方式来实现：在调节电路中，获取振荡接收器(6)的输出信号(y)与调节器输出信号(u1)之间的调节器‑振荡接收器‑相位差由预规定相位差和调节器‑振荡接收器‑相位差计算出调节偏差(e)并且将调节偏差(e)作为输入信号提供给调节器(2)。

Description

用于操作共振测量***的方法及其相关共振测量***
技术领域
本发明涉及一种用于操作共振测量***、尤其是科里奥利质量流量测量设备的方法，其中共振测量***包括至少一个调节器、至少一个电伺服机构、至少一个作为振荡发生器的电磁驱动器、至少一个振荡元件以及至少一个振荡接收器，其中所述调节器产生用于操控电伺服机构的调节器输出信号u1，所述电伺服机构提供用于激励电磁驱动器的电激励信号u2，所述电磁驱动器激励振荡元件以至少一个本征形式进行振荡并且其中振荡元件的被激励的振荡由振荡接收器获取并作为至少一个输出信号y发出。此外，本发明也涉及共振测量***，可利用该共振测量***执行上述方法。
背景技术
上述类型的共振测量***自从多年以来就已知，不仅是以科里奥利质量流量测量设备的形式，而且作为根据音叉-原理的液面观测设备或密度测量设备、作为石英轮和带粘度计等等。这些共振测量***与过程存在联系，其中过程和共振测量***互相影响。
接下来，以科里奥利质量流量测量设备为例来探讨共振测量***，这不必以限制性的方式来理解。在本文中，将其中以本征频率对有关待确定的过程量(测量量)的信息进行编码的***和/或其中将测量***的工作点放在本征频率上的***完全总称为共振测量***。对于所有落在该定义下的***，接下来的实施方式是适用的。对于科里奥利质量流量测量设备，量管对应于共振测量***的振荡元件；而且该振荡元件的特殊构型对于一般性地适用于共振测量***的教导没有限制。
构造为科里奥利质量流量测量设备的共振测量***首先应用于工业过程测量技术中必须以高精度来确定质量流的地方。科里奥利质量流量测量设备的作用原理基于：至少一个流有介质的量管-振荡元件-由振荡发生器激励进行振荡，其中该振荡发生器根据前提条件是电磁驱动器。对于这样的电磁驱动器，线圈通常由电流流过，其中，在振荡元件上的力效应与该线圈电流直接关联。对于科里奥利质量流量测量设备，作用原理基于：有质量的介质由于通过两个正交的运动 -流的运动和量管的运动-引起的科里奥利-惯性力而反作用于量管壁上。介质在量管上的该反作用导致量管振荡与量管的未通过流的振荡状态相比发生变化。通过获取通过流的科里奥利-量管的振荡的该特性，能够以高精度确定通过量管的质量流量。
科里奥利质量流量测量设备的本征频率和/或科里奥利质量流量测量设备的有振荡能力的部分的本征频率(即，主要是作为振荡元件的量管的本征频率)是特别重要的，原因在于：科里奥利质量流量测量设备的工作点通常放在量管的本征频率上，以便能够以最小的能量消耗施加感应科里奥利力所需要的振荡。因而，由量管执行的振荡具有确定的形式，该形式称为相应激励的本征形式。
由现有技术已知，为了激励振荡元件，由调节器以正弦状电压形式产生作为调节器输出信号的谐波的基础信号并且该正弦状电压操控电伺服机构，其中电伺服机构具有如下任务：在它的输出端提供对应的功率，以便能够以合适的方式并且有足够的功率来操控电磁驱动器，电伺服机构因此实际上是在调节器和共振测量***的电磁驱动器之间在功率方面的联系环节。
调节器用于共振中操作振荡元件，为此必须确定，共振测量***的输入量和输出量是否具有与共振对应的相位差。在科里奥利质量流量测量设备的情况下，这在输入侧是用于激励作为振荡元件的量管的力，而这在输出侧是量管的速度。由于该具有振荡能力的***所基于的关系，当输入侧的力效应和输出侧的量管速度具有为0°的相位差Δφ时，存在共振。如果满足该相位条件，则存在所期望的共振。因此，用于操作由现有技术已知并且这种类型的共振测量***的调节电路是相位调节电路。
基于在穿过电磁驱动器的电磁线圈的电流和由此引起的力效应之间的直接关系，带有电磁驱动器的共振测量***通常具有压控电流源，来作为电伺服机构和/或作为电伺服机构的部分，该压控电流源必须具有大的带宽且几乎不允许在频率工作区域内引起额外的相位偏移。因此，在伺服机构对相位差的影响和/或电磁驱动器本身对相位差的影响可被忽略的条件下，相位调节通常基于量管速度和电伺服机构的操控电压之间的相位测量。这在不同方面是有问题的。
在具有线圈的电磁驱动器中施加电流必然在驱动器线圈上导致过高且有噪声的电压，原因在于，调节器输出信号中的阶跃-并且其也只取决于数字/模拟-转换器的量化级-作为通过电磁驱动器的电流中的阶跃而出现并且在此通过驱动器线圈“微分”(u＝L*di/dt)；这尤其适用于带有高转换速率的伺服机构，即，适用于电流上升速度高的伺服机构。这在电磁兼容方面是有问题的，并且也导致信噪比的减少，因而导致测量不同过程量-在科里奥利质量流量测量设备情况下的质量流量-时以及在确定共振测量***的不同参数-在科里奥利质量流量测量设备情况下例如量管的刚性-时测量不可靠性的增大。基于这些事实，驱动器电流的快速测量也是不可能的，这是因为相比而言小驱动器电流是噪声非常大的，这使得直到获得足够平滑信号的长平均时间是必要的。
发明内容
本发明的任务是，提供用于操作共振测量***的方法，所述方法使得作为共振测量***的工作点的共振位置的快速且可靠的启动、停止和追踪能够实现。
根据该发明用于操作共振测量***的方法(在该方法中之前推导出且示出的任务得以解决)-首先且主要特征在于，在调节电路中获取在振荡接收器的输出信号y和调节器输出信号u1之间的调节器-振荡接收器-相位差Δφ(y,u1)，由预规定相位差ΔφS1和调节器-振荡接收器-相位差Δφ(y,u1)计算出调节偏差e并且调节偏差e作为输入信号提供给调节器。通过选择合适的预规定相位差ΔφS1，对振荡元件的输入信号和输出信号之间经常被忽视的相位偏移进行修正。
根据本发明的方法首先有意地完全放弃以有问题的方式对电磁驱动器状态量-如线圈电流-的获取，而是代之用熟知的调节器输出信号工作，所述调节器输出信号已知的原因是它由调节器来产生，所述调节器通常在微处理器或者微控制器中通过数字调节算法和接下来的信号发生器来实施，并且因此是用户可以得到的。
根据本发明的方法是快速的，这是因为能够避免在低通滤波和平滑化的范围中具有比较大时间常数的测量时间，为此考虑到，调节结果可能在共振点上达不到如同共振测量***的与共振点关联的量直接通过测量技术获取时那样精确。可能的不精确性尤其是起因于：调节器和电磁驱动器之间的传递环节的传递行为仍被忽略，因而调节器和电磁驱动器之间的传递环节的相位影响也仍被忽略。
为了能够进行适宜的修正并且尤其是为了能够在振荡元件的输入信号和输出信号之间以尽可能快的方式来实现预规定的相位偏移，在一种优选的方法扩展方案中，调节电路的除了振荡元件的元件之外的全部元件的相位偏移根据频率来获取并且在用仪器实现该方法的计算单元(例如DSP)中存放所述相位偏移(频率特性)。于是，优选首先从中推导出静态修正，所述静态修正能够在技术上以不同方式实现。一方面，例如通过在调节电路中补充额外的传递环节-其进行对应的相位修正，或者通过针对调节器的输出信号u1和振荡接收器的输出信号y之间的相位偏移预规定对应额定值。
根据共振测量***的传递行为以及调节器输出信号u1和振荡接收器的输出信号y的比例选出预规定相位差ΔφS1。对于起初描述的科里奥利质量流量测量设备作为共振测量***-其利用作为电伺服机构的压控电流源来工作，预规定相位差ΔφS1在第一次逼近时设为零，以便于所获取的调节器-振荡接收器-相位差实际上能够直接作为调节偏差返回到调节器中。
如果此外还已知电伺服机构在工作点中引起特定的平均相位偏移，则在根据本发明的方法的第一次优化中，为了引起对相位偏移的对应补偿，能够精确地将预规定相位差ΔφS1设为该值。已表明，根据本发明的方法基于调节器-振荡接收器-相位差在共振工作点中和/ 或在共振工作点附近以能量上完全可接受的偏差导致良好的调节结果。
在正常情况下，预规定相位差ΔφS1被选择成使得激励振荡元件以至少一个本征形式在共振中或者在共振点附近进行振荡。然而，出于诊断目的，也能够绝对被期望的是，相位差ΔφS1以完全不同的方式选出，例如出于选择性的参数标识目的，在此例如为+/-45°的值。
在根据本发明的方法的一种特别优选的实施方案中规定：构成额外的调节器-驱动器-相位差Δφ(iS,u1)，也就是电磁驱动器的状态量iS和调节器输出信号之间的相位差，其中，该调节器-驱动器-相位差于是用作预规定相位差ΔφS1。通过该额外的措施，有可能获得有关如下传递元件的相位偏移的信息，所述传递元件位于调节器和电磁驱动器之间，其中这些元件、当前是电伺服机构为了实施之前描述的快速但是有意保持稍微不准确的调节电路而有意地被忽略。
在之前描述的方法的变型方案中规定：同样再次确定在电磁驱动器的状态量iS和调节器输出信号之间的调节器-驱动器-相位差Δφ (iS,u1)，其中预规定相位差ΔφS1这次由调节器-驱动器-相位差Δφ (iS,u1)和另一个预规定相位差ΔφS2算出。通过该措施又能够对于该相位调节电路实现从外部预规定与“正常的”工作点有偏差的相位位置，例如用于诊断目的。
在其中确定调节器-驱动器-相位差的方法变型中，已证明了有利的是，当调节器-驱动器-相位差利用低通滤波器经过滤波并且因而经过平滑时，其中尤其是在科里奥利质量流量测量设备作为共振测量***的情况下，能够针对低通滤波器选出秒范围中的时间常数。根据经验，在该应用示例中调节器-驱动器-相位差改变不是如此快以至于显著更短的时间常数是必需的。
根据本发明的方法具有优异的其他优点。根据调节器-振荡接收器-相位差对共振测量***的调节、尤其是利用通过确定调节器-驱动器-相位差而进行的额外修正运转得如此好，以至于将调节电路设计到高带宽上、尤其是将电伺服机构设计到高带宽上不再是必需的，因此电伺服机构不再需要以快速并且相对昂贵的构件来实现，这是因为根据本发明的调节足够快速地保证：频率工作范围中的相位偏移保持在预定值之下。对于由现有技术已知的方法，调节品质很大程度上依赖于取决于电伺服机构的相位偏移，其中在此要考虑的是，在相位偏移较高的情况下，尤其是直接反馈的共振测量***趋于振荡。因此，在现有技术中，共振测量***必须设计成使得取决于电伺服机构-例如压控电流源-的、工作频率范围中的相位偏移例如保持在5°以下，这导致对较昂贵的参考构件以及模拟修正电路的使用。通过根据本发明的方法，不再给出如下需求，该方法带有基于调节器-振荡接收器- 相位差的快速调节电路以及基于调节器-驱动器-相位差对修正值的更慢计算。
此外，对于起初描述的共振测量***，之前推导的任务通过以下方式来解决：在此调节电路设立成使得之前阐述的、用于操作共振测量***的方法可以由共振测量***具体执行并且在调节操作中-对共振操作点的调准、停止和追踪中被执行。因此，“可执行”表明:该方法在共振测量***上实施以便执行并且原则上能够并非简单地只是在共振测量***上实施。
附图说明
详细地说，现在存在设置和扩展根据本发明的方法和根据本发明的共振测量***的不同可能性。为此参考结合附图对优选实施例的描述。在附图中:
图1示意性地示出由现有技术已知、以科里奥利质量流量测量设备形式的共振测量***的结构，然而，其也能够对于根据本发明的方法来应用，
图2示出包含在电磁驱动器中、带有电伺服机构的线圈的等效图，
图3以框图示图示出根据本发明的、用于操作共振测量***的方法，
图4以框图示图示出根据本发明的、用于操作共振测量***的方法的扩展实施例，
图5以框图示图示出根据本发明、用于操作共振测量***的方法的进一步扩展实施例，以及
图6以带有组件图的框图示图示出根据本发明、用于操作共振测量***的方法的最终扩展实施例。
具体实施方式
图1示出以科里奥利质量流量测量设备形式的共振测量***1，其中共振测量***1具有用数字信号处理器实施的调节器2、电伺服机构3和作为振荡发生器的电磁驱动器4.
电磁驱动器4具有如下任务：激励振荡元件5、当前是可流有介质的量管以本征形式进行振荡。此外，根据本征形式的类型，仅仅需要唯一的电磁驱动器4，如果还要激励更高的模式，则可能还需要两个或者更多的电磁驱动器4。
在图1中分成两部分示出以科里奥利质量流量测量设备形式的共振测量***1。构成一个单元的科里奥利质量流量测量设备一半终止于该附图的右图边缘并且出于清楚示出的原因而对于另一半又在该附图的左图边缘开始。此处看到：共振测量***1此外还具有振荡接收器6，所述振荡接收器6发出输出信号y、当前以速度信号的形式，所述速度信号提供关于量管运动速度的信息，即提供关于振荡元件5速度的信息。调节器2产生调节器输出信号u1用于操控电伺服机构3，并且电伺服机构3接下来产生电激励信号u2用于激励电磁驱动器4。在振荡接收器6上连接多个传递元件，所述多个传递元件主要用于信号传播，其例如是由放大器组成的匹配电子器件7a、用于实现可切换的不同测量通道的硬件复用器7b、另外的匹配电子器件7c 以及再次以数字信号的形式将模拟测量信号输送给调节器2的模拟/数字-转换器7d。
在现有技术中，这样实施的调节电路构成相位调节电路并且基于电流iS到电磁驱动器4的线圈8中的施加。为了加以说明，该概念在图 2中再次被示出：电磁驱动器4在此具有驱动器线圈8，在根据图2的等效图中，所述驱动器线圈8具有线圈电感LS、欧姆线圈电阻RS和所感应的、与速度成比例的电压源uiS(uS＝iSRS+L*diS/dt+k*dv/dt)。电伺服机构3利用压控电流源9工作，所述压控电流源9获得由数字/模拟 -转换器10量化的电压信号，所述电压信号在压控电流源9的输出端处导致线圈电流iS的阶跃式变化。所述电流施加必然导致在线圈8上还要更不稳定的端电压uS变化，因而总体上得到在线圈8上有很大噪声的端电压uS,这也导致基于不同影响而有噪声的电流信号iS。
对于电磁驱动器4-其如图2中示出的那样具有线圈8，线圈电流 iS特别重要，这是因为线圈电流iS是该电磁驱动器4的、与电磁驱动器 4在振荡元件5上的力效应成比例的状态量。在共振测量***1设计为科里奥利质量流量测量设备的情况下，在共振情况下，在振荡元件5 上作用的力与所获取的量管运动速度y之间的相位差为零，并且因而在线圈电流iS和所获取的量管运动速度y之间的相位差也为零。为了在将线圈电流iS用作电磁驱动器的输入量和状态量的情况下以及将速度信号用作振荡接收器6的输出信号y的情况下实现到共振工作点上的相位调节，如下是有问题的：对所应用电构件的要求因而很高，原因在于必须以低的相位偏差在工作点中使用宽带工作的构件，这使得解决方案总体昂贵。
在图3中示出、即以框图的形式示出根据本发明、用于操作共振测量***1的方法。调节器2经由调节器输出信号u1操控电伺服机构3，其中所述电伺服机构3通过发出电激励信号u2操控电磁驱动器4，所述电磁驱动器4在其侧作为振荡发生器使振荡元件5偏转，振荡元件5在此作为科里奥利质量流量测量设备的量管存在。电磁驱动器4由示意性示出的、带有永磁体作为芯的线圈8组成，其中未示出的永磁体在线圈8通电流时执行往复运动并且因而能够激励振荡元件5进行振荡。振荡元件5的振荡由振荡接收器6获取，所述振荡接收器6在当前情况下同样具有永磁体和线圈，其中在线圈8中所感应的电压用于分析振荡元件5的位置变化。速度信号作为振荡接收器6的输出信号y存在。
根据本发明的方法规定：首先获取在振荡接收器6的输出信号y 和调节器输出信号u1之间的调节器-振荡接收器-相位差Δφ(y,u1)，并且由预规定相位差ΔφS1和该调节器-振荡接收器-相位差Δφ (y,u1)计算出调节偏差e，其中该调节偏差e作为输入信号提供给调节器2。由此实施如下调节电路，其根据调节器-振荡接收器-相位差Δφ(y,u1)调节并且不根据如下相位差调节：其对于到共振测量***的共振点上的调节而言实际上是决定性的，当前即线圈电流iS和振荡接收器6输出端处的速度信号y之间的相位差。由此容忍误差，即被忽略的、通过电伺服机构3引起的相位偏移。错误地-但是有意地-将该相位偏移加入共振测量***1的核心，即加入电磁驱动器4、振荡元件5和振荡接收器6。根据本发明的方法的优点在于：以带有相比较而言没有噪声的信号、根据调节器-振荡接收器-相位差Δφ(y,u1)进行的调节，能够实施到如下工作点上非常快速的调节，所述工作点相当接近共振测量***1的共振点，因此以在共振相位位置方面小的限制能够实现明显快速的调节，不再为此需要使用具有高宽带的构件以及在工作频率范围中电伺服机构的只是相当小的相位偏移。
当电伺服机构3实际上不引起相位偏移以及调准共振情况时，预规定相位差ΔφS1在最简单的情况下设定为如下值，所述值在理想情况下作为相位位置和/或作为调节器输出信号u1和振荡接收器6的输出信号y之间的相位差得出。在所示出的科里奥利质量流量测量设备的情况下，这对应于预规定相位差ΔφS1的零设定；对于该设计，激励振荡元件5在共振中或者在共振点附近以本征形式进行振荡。
在图4中示出之前阐述的方法的扩展实施方式，在此确定电磁驱动器4的状态量iS和调节器输出信号u1之间的调节器-驱动器-相位差Δφ(iS,u1)，其中，然后调节器-驱动器-相位差Δφ(iS,u1)用作预规定相位差ΔφS1。通过该措施，之前在相位调节中允许的误差再次得到补偿。
对于图5中示出的方法扩展，首先也要额外地确定在电磁驱动器4 的状态量iS和调节器输出信号u1之间的调节器-驱动器-相位差Δφ (iS,u1)，其中，然后由调节器-驱动器-相位差Δφ(iS,u1)并且由另外的预规定相位差ΔφS2计算出预规定相位差ΔφS1，这也使得其他的相位预规定成为可能，并且因而使得其他的操作模式也成为可能，例如在ΔφS2＝+/-45°的相位预规定下以相位选择性的方式激励科里奥利质量流量测量设备。
对于图4和图5中示出的两个方法变型，在此所应用的驱动器线圈 8中的电流作为电磁驱动器4的状态量iS而被获取。
迄今为止描述的方法允许压控电流源用作电伺服机构3，也允许如下压控电流源，其仅仅满足比那些由现有技术已知的、在针对共振路程(Resonanzstrecke)的直接输入量和直接输出量的相位调节时的要求更低的要求。这使得使用便宜的标准构件成为可能。
特别有利的是，当电伺服机构3提供电压uS作为电激励信号u2用于激励电磁驱动器4时-在根据图3到图6的实施例中是这种情况，于是当然可以使用该方法，在此电压uS作为电磁驱动器4的驱动器线圈8的输入电压施加。这不仅对于根据振荡接收器6的输出信号y与调节器输出信号u1之间的调节器-振荡接收器-相位差Δφ(y,u1)的唯一-快速- 相位调节是有意义的，恰恰如同对于如下情况也是有意义的：通过确定电磁驱动器4的状态量iS和调节器输出信号u1之间的调节器-驱动器 -相位差Δφ(iS,u1)对预规定相位差ΔφS1进行额外的修正。由此，在每种情况下都避免了电流施加以及随之而来的且在之前描述的干扰。
图6再一次更具体地示出以科里奥利质量流量测量设备形式的共振测量***1，其中该共振测量***1具有用数字信号处理器(DSP) 实施的调节器2、带有数字/模拟-转换器3a的电伺服机构3以及作为功率部件的压控电压源3b。如同对于前面的示例那样，电磁驱动器4具有线圈8来作为振荡发生器。
在下面的信号分支中，实施快速调节电路，所述调节电路基于振荡接收器6的输出信号y和调节器输出信号u1之间的调节器-振荡接收器-相位差Δφ(y,u1)。在上面的信号分支中实施对相位差修正值的 -较慢的-计算，其基于电磁驱动器4的状态量iS和调节器输出信号u1之间的调节器-驱动器-相位差Δφ(iS,u1)。所获取的电流信号也如同所获取的速度信号y那样通过模拟/数字-转换器11、12数字化并且供应给DSP。解调器13、14借助于正交基础信号将测量量iS和y分解成信号分量，所述信号分量允许参考基础信号u1来确定信号的相位位置，其中调节器-驱动器-相位差Δφ(iS,u1)还经由低通滤波器15 滤波以及其中该低通滤波器有大约两秒的时间常数。
电伺服机构3实现为压控电压转换器还具有如下未预料到的优势：压控电压转换器小的输出电阻作为有关于驱动器线圈8的“短路”起作用并且因而获得量管的依赖于量管速度的振荡衰减。因此，以对自身仅微弱衰减的***进行衰减为目的，能够省却在电磁驱动器4中构建短路环路。

Claims (14)

1.用于操作共振测量***（1）的方法，其中所述共振测量***（1）包括至少一个调节器（2）、至少一个电伺服机构（3）、至少一个作为振荡发生器的电磁驱动器（4）、至少一个振荡元件（5）和至少一个振荡接收器（6），其中所述调节器（2）产生用于操控所述电伺服机构（3）的调节器输出信号，所述电伺服机构（3）提供用于激励所述电磁驱动器（4）的电激励信号，所述电磁驱动器（4）激励所述振荡元件（5）以至少一个本征形式进行振荡并且其中所述振荡元件（5）的被激励的振荡由所述振荡接收器（6）获取并且作为至少一个输出信号发出，
其特征在于，
在调节电路中, 获取所述振荡接收器（6）的输出信号与所述调节器输出信号之间的调节器-振荡接收器-相位差，由预规定相位差和所述调节器-振荡接收器-相位差计算出调节偏差并且将所述调节偏差作为输入信号提供给所述调节器（2）。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预规定相位差选择成使得激励所述振荡元件（5）以至少一个本征形式在共振中或者在共振点附近进行振荡。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，确定电磁驱动器（4）的状态量与所述调节器输出信号之间的调节器-驱动器-相位差并且将所述调节器-驱动器-相位差用作预规定相位差。
4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，确定所述电磁驱动器（4）的状态量与所述调节器输出信号之间的调节器-驱动器-相位差并且由所述调节器-驱动器-相位差且由另外的预规定相位差计算出所述预规定相位差。
5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，驱动器线圈（8）的电流作为所述电磁驱动器的状态量被获取。
6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述电伺服机构（3）提供电压作为用于激励所述电磁驱动器（4）的电激励信号。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，将所述电压应用为所述电磁驱动器（4）的驱动器线圈（8）的端电压。
8.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，利用低通滤波器（11）对所确定的调节器-驱动器-相位差进行滤波。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述低通滤波器（11）具有秒范围中的时间常数。
10.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，为了确定所述调节器-振荡接收器-相位差和/或所述调节器-驱动器-相位差，由所述调节器（2）产生谐波的基础信号作为调节器输入信号，其中相应的相位差通过利用谐波的基础信号和由所述调节器（2）提供的与其正交的其他谐波的基础信号对振荡接收器（6）的输出信号和电磁驱动器（4）的状态量进行解调来确定。
11.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述共振测量***（1）是科里奥利质量流量测量设备。
12.共振测量***（1），其中所述共振测量***（1）具有至少一个调节器（2）、至少一个电伺服机构（3）、至少一个作为振荡发生器的电磁驱动器（4）、至少一个振荡元件（5）以及至少一个振荡接收器（6），其中在所述共振测量***（1）的操作中，所述调节器（2）产生用于操控所述电伺服机构（3）的调节器输出信号，所述电伺服机构（3）提供用于激励所述电磁驱动器（4）的电激励信号，所述电磁驱动器（4）激励所述振荡元件（5）以至少一个本征形式进行振荡并且其中，所述振荡元件（5）的被激励的振荡由所述振荡接收器（6）获取并且作为至少一个输出信号发出,
其特征在于，
调节电路实施成使得根据权利要求1到11中的任一项所述的方法能由所述共振测量***执行。
13.根据权利要求12所述的共振测量***（1），其特征在于，所述电伺服机构（3）是压控的电压转换器。
14.根据权利要求12或13所述的共振测量***（1），其特征在于，所述共振测量***（1）是科里奥利质量流量测量设备。
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