CN103398009B - 一种真空泵及真空泵的抽气调节*** - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种真空抽气技术领域,特别涉及一种真空泵及真空泵的抽气调节***;包括一管路,所述管路的两端分别设置有与待抽真空设备连接的第一接头、与真空泵的进气口连接的第二接头,所述管路上设置有蝶阀,还包括根据所述管路上的真空度调节所述蝶阀开启度的调节装置;在真空泵的进气口处增加了所述的抽气调节***,通过所述调节装置控制所述蝶阀的开启度,所述蝶阀的不同开启度可以控制进入到真空泵的抽气量,以达到抽气与需求的平衡状态,通过所述的抽气调节***对真空度的调节,使真空泵在长时间运行也能保持很好的稳定性,从而避免真空泵使用寿命过短的问题;由于本发明具有上述的特点和优点,为此可以应用到真空泵等产品中。
Description
技术领域
本发明涉及一种真空抽气技术领域,特别涉及一种真空泵及真空泵的抽气调节***。
背景技术
螺杆真空泵是一种利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此,螺杆真空泵工作时,两螺杆相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。
但是,在现有的螺杆真空泵中,缺乏对真空度调节,导致其长时间运行的稳定性差,从而使螺杆真空泵使用寿命过短。
发明内容
针对现有技术不足,本发明提出一种真空泵及真空泵的抽气调节***,旨在解决现有的螺杆真空泵中,缺乏对真空度调节,导致其长时间运行的稳定性差,从而使螺杆真空泵使用寿命过短的问题。
本发明提出的技术方案是:
一种真空泵的抽气调节***,包括一管路,所述管路的两端分别设置有与待抽真空设备连接的第一接头、与真空泵的进气口连接的第二接头,所述管路上设置有蝶阀,还包括根据所述管路上的真空度调节所述蝶阀开启度的调节装置。
进一步技术方案还可以是,所述调节装置包括具有左腔体和右腔体的进气调节器、根据所述左腔体与所述右腔体压力差而运动的薄膜式气缸及调节杠杆,所述薄膜式气缸设于所述进气调节器内,所述调节杠杆的两端分别与所述薄膜式气缸、所述蝶阀连接。
进一步技术方案还可以是,还包括真空调节阀、第一管道及第二管道,所述右腔体与大气连通,所述真空调节阀的一端通过第一管道与所述左腔体连接,所述真空调节阀的另一端与大气连通,所述第一管道上设置有分管口,所述分管口通过所述第二管道与所述管路连接。
进一步技术方案还可以是,所述真空调节阀上还设置有控制所述真空调节阀开启的自动开启器,所述自动开启器与所述管路连接。
进一步技术方案还可以是,还包括过滤器,所述真空调节阀通过所述过滤器与大气连通。
进一步技术方案还可以是,还包括拉簧,所述薄膜式气缸通过所述拉簧与所述调节杠杆连接。
进一步技术方案还可以是,所述第二管道上设置有节流阀。
进一步技术方案还可以是,所述管路上还设置有进气单向阀。
本发明还提出一种真空泵,包括具有进气口、排气口的真空泵本体,所述真空泵本体的进气口连接有上述的一种真空泵的抽气调节***。
进一步技术方案还可以是,所述真空泵本体为螺杆真空泵本体。
根据上述的技术方案,本发明有益效果:在真空泵的进气口处增加了所述的抽气调节***,通过所述调节装置控制所述蝶阀的开启度,所述蝶阀的不同开启度可以控制进入到真空泵的抽气量,以达到抽气与需求的平衡状态,通过所述的抽气调节***对真空度的调节,使真空泵在长时间运行也能保持很好的稳定性,从而避免真空泵使用寿命过短的问题。
由于本发明具有上述的特点和优点,为此可以应用到真空泵等产品中。
附图说明
图1是应用本发明技术方案的所述抽气调节***的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
如图1所示,本发明提出一种真空泵的抽气调节***,包括一管路1,管路1的两端分别设置有与待抽真空设备连接的第一接头11、与真空泵的进气口连接的第二接头12,管路1上设置有蝶阀2,还包括根据管路1上的真空度调节蝶阀2开启度的调节装置3。
其中,在真空泵的进气口处增加了所述的抽气调节***,通过调节装置3控制蝶阀2的开启度,蝶阀2的不同开启度可以控制进入到真空泵的抽气量,以达到抽气与需求的平衡状态,通过所述的抽气调节***对真空度的调节,使真空泵在长时间运行也能保持很好的稳定性,从而避免真空泵使用寿命过短的问题。
优选地,调节装置3包括具有左腔体(在图中未标注)和右腔体(在图中未标注)的进气调节器31、根据所述左腔体与所述右腔体压力差而运动的薄膜式气缸(在图中未标注)及调节杠杆32,所述薄膜式气缸设于进气调节器31内,调节杠杆32的两端分别与所述薄膜式气缸、蝶阀2连接。所述薄膜式气缸包括缸体、活塞杆、膜片及膜盘,当所述左腔体与所述右腔体之间存在压力差时,使所述薄膜式气缸运动从而带动调节杠杆32运动,调节杠杆32控制蝶阀2的开启度,从而控制进入到真空泵的抽气量。具体地,所述薄膜式气缸中的活塞杆与调节杠杆32连接。
进一步地,还包括真空调节阀4、第一管道5及第二管道6,所述右腔体与大气连通,真空调节阀4的一端通过第一管道5与所述左腔体连接,真空调节阀4的另一端与大气连通,第一管道5上设置有分管口(在图中未标注),所述分管口通过第二管道6与管路1连接。具体地,第二管道6与管路1的连接处位于蝶阀2与所述第二接头12之间,所述左腔体内的空气会经第一管道5及第二管道6被真空泵抽取,从而使所述左腔体与所述右腔体之间存在压力差,为了达到需要的压力差,通过开启并调节真空调节阀4,让大气通过真空调节阀4进入所述左腔体,从而调整所述左腔体内的压力,让所述左腔体与所述右腔体之间存在需要的压力差,进而,通过调节杠杆32控制蝶阀2的开启度。
优选地,真空调节阀4上还设置有控制真空调节阀4开启的自动开启器(在图中未标注),所述自动开启器与管路1连接。具体地,所述自动开启器与管路1中位于蝶阀2与第一接头11之间的部分连接,所述自动开启器控制真空调节阀4的开启及调节真空调节阀4开启大小,在所述自动开启器上设定所需的额定真空度,当管路1的真空度高于所述自动开启器设定值时,所述自动开启器驱使真空调节阀4打开,使大气进入到所述进气调节器31的所述左腔体,从而改变所述进气调节器31中所述左腔体与所述右腔体的压力差,使调节杠杆32动作控制蝶阀2的开启度。
进一步地,还包括过滤器7,真空调节阀4通过过滤器7与大气连通。过滤器7阻挡大气中的杂质,避免大气中的杂质进入真空调节阀4,对所述的抽气调节***造成不良的影响。
具体地,还包括拉簧8,所述薄膜式气缸通过拉簧8与调节杠杆32连接。拉簧8的两头分别与所述薄膜式气缸中的活塞杆、调节杠杆32连接。
进一步地,第二管道6上设置有节流阀61。调节节流阀61可使第二管道6内的气体流动稳定。
进一步地,管路1上还设置有进气单向阀9。具体地,进气单向阀9位于蝶阀2与第一接头11之间,在真空泵停机时,进气单向阀9能够阻止大气通过管路1进入待抽真空设备中。
综上所述,所述的抽气调节***富有极佳的真空度调节和稳定功能,能实现自动0~100%的进气调节;能够确保真空波动在±5mbar范围,可提供稳定无脉冲的真空,其真空度及抽气量能基本不受外界因素的影响,各项性能指标稳定可靠。真空泵运行过程中有三个阶段:起动、常规运行、容量调节;在三个阶段中分别可以通过所述的抽气调节***进行调节并达到抽气与需求的平衡状态。本实施例中选用一台额定真空度为20in.Hg(508mm汞柱)的真空泵来进行说明:
1、起动阶段:按下起动按钮后,该真空泵开始运转,管路1中处于蝶阀2与该真空泵之间的真空度迅速从0升到15in.Hg,随着真空度的上升,蝶阀2逐渐开启,当真空度升到15in.Hg时,蝶阀2全部打开,该真空泵开始满负荷运转。
2、常规运行阶段:所述的抽气调节***真空度超过15in.Hg后,蝶阀2全开,该真空泵满负荷运转,在此状态下,真空调节阀4一直关闭,进气调节器31也不动作。
3、容量调节阶段:若所需抽气量低于额定值,所述的抽气调节***真空度将不断上升,当超过20in.Hg(508mm汞柱)后,真空调节阀4将逐渐打开,空气进入进气调节器31内,使蝶阀2部分关闭,让抽气量与客户的需求相匹配,在所述的抽气调节***自身调节下,所述的抽气调节***真空度将保持在20至23in.Hg(508至584mm汞柱)之间。
如图1所示,本发明还提出一种真空泵,包括具有进气口(在图中未标注)、排气口101的真空泵本体100,真空泵本体100的进气口连接有上述的一种真空泵的抽气调节***。
优选地,真空泵本体100为螺杆真空泵本体。
以上仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种真空泵的抽气调节***,包括一管路,所述管路的两端分别设置有与待抽真空设备连接的第一接头、与真空泵的进气口连接的第二接头,其特征在于,所述管路上设置有蝶阀,还包括根据所述管路上的真空度调节所述蝶阀开启度的调节装置;
所述调节装置包括具有左腔体和右腔体的进气调节器、根据所述左腔体与所述右腔体压力差而运动的薄膜式气缸及调节杠杆,所述薄膜式气缸设于所述进气调节器内,所述调节杠杆的两端分别与所述薄膜式气缸、所述蝶阀连接;
所述真空泵的抽气调节***还包括真空调节阀、第一管道及第二管道,所述右腔体与大气连通,所述真空调节阀的一端通过第一管道与所述左腔体连接,所述真空调节阀的另一端与大气连通,所述第一管道上设置有分管口,所述分管口通过所述第二管道与所述管路连接;
所述第二管道与所述管路的连接处位于所述蝶阀与所述第二接头之间。
2.根据权利要求1所述的一种真空泵的抽气调节***,其特征在于,所述真空调节阀上还设置有控制所述真空调节阀开启的自动开启器,所述自动开启器与所述管路连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空泵的抽气调节***,其特征在于,还包括过滤器,所述真空调节阀通过所述过滤器与大气连通。
4.根据权利要求1所述的一种真空泵的抽气调节***,其特征在于,还包括拉簧,所述薄膜式气缸通过所述拉簧与所述调节杠杆连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空泵的抽气调节***,其特征在于,所述第二管道上设置有节流阀。
6.根据权利要求1至5任一所述的一种真空泵的抽气调节***,其特征在于,所述管路上还设置有进气单向阀。
7.一种真空泵,包括具有进气口、排气口的真空泵本体,其特征在于,所述真空泵本体的进气口连接有权利要求1至6任一所述的一种真空泵的抽气调节***。
8.根据权利要求7所述的一种真空泵,其特征在于,所述真空泵本体为螺杆真空泵本体。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2044867A (en) * | 1934-06-01 | 1936-06-23 | Ingersoll Rand Co | Regulating device for vacuum pumps |
GB2090946A (en) * | 1981-01-02 | 1982-07-21 | Dienes Werke | Butterfly valve |
GB2115110A (en) * | 1982-01-21 | 1983-09-01 | Hoerbiger Ventilwerke Ag | Improvements in or relating to arrangements for controlling starting of screw-type compressor |
GB2133585A (en) * | 1983-01-13 | 1984-07-25 | Hoerbiger Ventilwerke Ag | A screw compressor control arrangement |
CN201779018U (zh) * | 2010-07-30 | 2011-03-30 | 上海斯可络压缩机有限公司 | 无油螺杆压缩机用油压控制进气阀 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2044867A (en) * | 1934-06-01 | 1936-06-23 | Ingersoll Rand Co | Regulating device for vacuum pumps |
GB2090946A (en) * | 1981-01-02 | 1982-07-21 | Dienes Werke | Butterfly valve |
GB2115110A (en) * | 1982-01-21 | 1983-09-01 | Hoerbiger Ventilwerke Ag | Improvements in or relating to arrangements for controlling starting of screw-type compressor |
GB2133585A (en) * | 1983-01-13 | 1984-07-25 | Hoerbiger Ventilwerke Ag | A screw compressor control arrangement |
CN201779018U (zh) * | 2010-07-30 | 2011-03-30 | 上海斯可络压缩机有限公司 | 无油螺杆压缩机用油压控制进气阀 |
CN203430793U (zh) * | 2013-07-16 | 2014-02-12 | 深圳寿力亚洲实业有限公司 | 一种真空泵及真空泵的抽气调节*** |
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